Evolução da Espessura de Óxido: Húmida (WET H2O) (Si <100>)
1.2
1.1
1.0
Espessura de Óxido ( m)
0.9
Temperaturas
800°C
850°C
900°C
950°C
1000°C
1050°C
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0.0
0.0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
Tempo (horas)
3.0
3.5
4.0
4.5
5.0