超精密压电陶瓷纳米定位产品综合样本【2021版】

超精密压电陶瓷纳米定位产品 —— 综合样本 —— www.nanomotions.com PS 压电纳米台 PK 压电扫描台 PF 压电物镜台 PT 压电偏转镜 PT 压电偏摆台 PT 压电旋转台 PA 压电促动器 PC 压电播刷噪，需皆－ PD 压电㐑助噪，异皆－上海纳动纳米位移技术有限公司 Shanghai Nano Motions Technology CO.LTD 2021版压电 · 定位 · 系统超精密压电陶瓷纳米定位产品 2021版 —— 综合样本 —— 此目录未显示我们所有的产品！详情请登录如下官方网站： www.nanomotions.com 中国·上海 Revision 210319 Revision 2021031 品牌宣言超精密压电纳米定位系统专业制造商。压电 Piezo ● 定位 Positioning ● 系统 Systems 品牌承诺先进科技的价值在于实践与应用，对压电纳米定位而言，涉及的行业类别与需求复杂多样，技术应用具有了更广泛的意义。只有深入理解客户面临的挑战与困难，才能在关键时刻发挥更大的作用，创造更大的价值。纳动纳米致力于将最先进的成熟技术灵活运用于解决客户的问题，促进各领域的整合。我们并不急于把产品推给您，而是首先深刻理解您问题背后的问题，努力寻找真正切实有效，能够覆盖现在和未来的需求，保持发展弹性的解决方案。纳动纳米持续增长的研发投入，始终掌握成熟的领先技术；专业倾听的团队，更准确、更深入的洞察和理解您的需求；灵活调整和整合各种资源，恰如所需的应用创新；持续跟进的全程服务，快速应对您的各种问题，与您共同成长。自公司成立以来，我们一直为科研型研究院所及工业客户提供纳米定位和纳米运动控制方面的专业技术，我们的纳米定位系统在纳米级领域提供速度，精度和准确性得到了公认。我们以满足客户性能目标的最新设计为前提，无论目标是由我们的工程团队设计的单个产品，还是需要数百个相同单元的项目，我们都将帮助您实现高精度，高分辨率和高速运动的目标。关于我们上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的高科技企业，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等高端设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制的需求，填补国内技术空白，打破国外对中国的技术壁垒和国外产品垄断中国市场的局面。上海纳动纳米位移技术有限公司本着“创新引领，立足高端，精益打造纳米定位与运动控制的中国制造国际品牌“的目标，为中国智能装备产业和科研领域提供尖端运动和测控解决方案及关键技术打造坚实基础。为提供更优良的产品、更优质的服务，公司以超前的战略眼光，将科学化、精细化、标准化作为公司各项管理的基础并通过了国际ISO9001:2015质量管理体系认证。上海纳动纳米位移技术有限公司在纳米定位及运动控制技术方面拥有近20年的产品研发技术经验团队，并具有完全的自主知识产权。产品涵盖叠堆压电陶瓷、机械封装型压电促动器、压电纳米定位台、压电纳米扫描台、压电平移台、压电偏摆台、压电Tip/Tilt平台、压电光束偏转镜、压电旋转台、压电升降台、压电显微镜样品扫描台、压电物镜聚焦定位器、压电陶瓷驱动/控制器、机床微进给压电平台、超精密加工压电平台、多自由度并联机构、压电微调千分尺、高精度微位移测量系统等系列产品。纳动纳米的压电纳米定位产品使用有限元法（FEM）设计的，这与我们数十年的经验相结合，保证了产品在稳定的性能下具有更出色的使用精度和寿命周期。我们除了其丰富的压电平台产品线外，NanoMotions还可为用户定制单个特殊产品以及为 OEM厂商定制大批量产品。NanoMotions拥有极其丰富的实践和经验，可根据客户的独特需求开发定制压电纳米位移台的解决方案。我们的压电纳米定系统基于柔性设计平台提供了高水平的纳米运动控制，成为高速、高分辨率、高性能产品的领先供应商。同时，公司的灵活的管理结构可与客户更高效、更精准的进行产品沟通，可使用户以最高的效率最低的成本实现最佳的产品性能。主要技术指标已达到国际先进水平，在国内处于领先地位。上海纳动纳米位移技术有限公司研发生产的产品广泛适用于原子力显微镜、自动聚焦系统、自动光学检测系统、光束定位及扫描、干涉仪、纳米光刻、光学捕获、显微与成像、生物科技与生命技术、新药设计与医疗技术、纳米技术、纳米制造与纳米自动化、测量/激光技术/光学检测、光电子/通信与集成光学、航天/图像处理/低温与高温环境、天文、自适应光学等，广泛应用于各种纳米级、亚微米级的科学研究和工业设备，并服务于国内各高校、研究所及高端科研等领域从事前沿科学研究，产品得到用户的一致好评。上海纳动纳米位移技术有限公司团队时刻为新的技术要求和具有挑战性的应用做好了充分准备。目录.1 ADD.：上海市徐汇区虹梅路2008号3幢 TEL：021-54668263 E-MAIL：service@nanomotions.com WEB：www.nanomo tions.com REV. 210319 NOTE ADD.：上海市徐汇区虹梅路2008号3幢 TEL：021-54668263 E-MAI L：service@nanomotions.com WEB：www.nanomo tions.com REV. 210319 目录.2 使用注意事项产品质量保证・压电产品设备在出厂时附有“检测报告”文件。・保修期为发货后的 12 个月。如果在正常使用期间内发生故障，我们将免费维修。・如果满足以下任一条件，则即使在此期间内，保修也将无效： ①.在不正确的环境中使用和处理不当的情况。 ②.由于火灾，自然灾害，污染，电压异常或使用未指定的电源/信号等外部因素而导致的情况。 ③.因本公司以外的人员进行改装或维修而导致的故障或损坏。 ④.违反操作《用户手册》中的使用说明和注意事项使用本产品。・在请求维修压电产品设备时，请出示产品上印刷的序列号以及产品规格型号。・对于我们的产品有关以下故障和损坏，我们概不负责： ①.因使用我们的产品或无法使用我们的产品而导致的间接障碍。 ②.不可抗力造成的损坏或损失。 ③.与专利权，工业产权和第三方拥有的其他权利的侵害有关，损害和损失。 ④.由于处理出口限制而造成的障碍，损害和损失。・如果对产品参数有任何异议，可进行第三方检测，由此产生的额外费用我们不会承担。使用环境与存储环境请将产品安装在满足以下温度和湿度条件的位置工作环境：10-40°C，20-80％RH（无凝结）存储环境：0-50°C，10-90％RH（无凝结）请安装在以下位置・没有腐蚀性气体或可燃气体的环境。・振动和冲击不会被传播到压电平台主体的环境。・铁粉，灰尘，油雾，切削液，水分，盐和有机溶剂等电介质粉末不会散布的环境。・没有阳光直射或辐射热的环境。・不会产生强电场和磁场的环境。・没有脉冲噪声源的环境。・易于检查和清洁的地方。警告：※ 如果您在特殊环境中使用产品，请与我们联系，例如在持续振动，真空，低温或高温的环境。 ※ 如果您需要定制相关类型应用产品，请与我们联系，例如大承载、高动态、侧立/倒立使用等应用环境。目录.3 规格参数说明关于规格参数的说明规格型号指产品的规格型号，尾缀带“-S/-C”的为闭环产品，运动轴位移台运动的方向，水平方向为 X 轴、Y 轴，垂直方向为 Z 轴；绕 X、Y、Z 轴转动分别记做θxθyθz 轴。集成传感器闭环采用的位置传感器，开环无位置传感器。标称行程范围（@0~+120V）开环/闭环控制时的标称移动量。以开环控制时的标称移动量为代表值。最大行程范围（@-20~+150V）开环/闭环控制时的最大移动量。以开环控制时的最大移动量为代表值。分辨率因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。最小移动步长可重复执行的最小移动称为最小位移或典型分辨率，并通过测量决定，作为代表值。线性误差闭环控制期时的线性度，作为典型值。重复定位精度（全行程）在闭环控制时的重复定位精度。角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）通过开环控制可以移动的整个运动范围内的最大角度差。承载能力水平安装平台时的最大垂直负载能力。纳米位移台可以正常运行的负载，作为代表值列出。谐振频率（0g）指定重量的负载时的机械共振频率，作为代表值。运动方向刚度移动台在位移运动方向上的刚度，作为代表值。运动方向推力/拉力纳米位移台在位移运动方向上的推力/拉力，作为代表值。驱动机构纳米位移台的内部执行驱动元件。工作温度范围纳米位移台正常工作温度范围。线缆长度压电驱动及位置传感器线缆的长度，作为标称值。中空尺寸/螺纹适配中空尺寸：位移平台移动面上的通光孔尺寸（仅 PK/PFR 系列）；螺纹适配：物镜螺纹接口（仅 PF 系列）。外形尺寸（长×宽×高）纳米位移台的外部包络尺寸。重量纳米位移台的重量，不包括电缆或连接器的重量。 PZT&Sensor 连接器纳米位移台与压电控制器间的接口形式，默认接口为 LEMO，最终于所选控制器有关。本体材质纳米位移台主体使用的材料。关于外形尺寸的说明 ①.外形尺寸线的颜色设计为蓝青色“ ”，易于阅读。 ②.压电位移台的移动面颜色设计为浅红色“ ”，便于观察与识别。 ③.通过施加驱动电压、箭头所指示方向“→”为位移台桔黄色移动面的位移运动方向。 ④.产品多种视图“TOP VIEW、SIDE VIEW、3D VIEW”，便于参考。 ⑤.产品样本上的外形图是自由比例尺寸的，真实大小请参考尺寸数据。警告：※ 为了应对质量改进，我们保留不事先通知而改进样本内容，包括外观、技术指标、产品描述和价格等的权利。 ※ 我们声明，我们不对源于产品样本中的编辑错误，包括文字数字错误或遗漏等而引起的任何损害负任何责任。 ※ 本目录中的图片和照片可能与实际产品有所不同，如获取最新产品信息，请与我们联系。目录.4 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PS 压电纳米台（移动面为平面）产品特点 PS 系列压电产品移动面为平面型，PS 系列标准直线平台为压电产品的基本系列，产品种类齐全。其范围从 1 轴 3 轴类型。紧凑的尺寸，具有多种行程产品。由于柔性铰链结构而执行高速响应和高精度定位的类型。可以根据应用从丰富的产品中进行选择，例如单轴、多轴、集成类型、长行程、小体积、OEM 形式等。高速，高精度定位压电陶瓷元件的高响应性和内置位移传感器的闭环控制可实现高速，高分辨率和高度可重复的定位。产品丰富 PS 系列产品包括 1 轴（X/Z），2 轴（XY/XZ）和 3 轴（XYZ）系列产品。可以选择直接驱动结构或者位移放大类型结构形式的压电位移台，两种结构特点如下：直接驱动机构：可以获得出色的高速响应和高分辨率。位移放大机构：通过扩大压电陶瓷的微小位移，最大可达到 1800μm 的行程范围。柔性铰链机构使用柔性铰链导向机构适用于纳米级定位，因为没有间隙或摩擦。使用柔性铰链的压电平台可以在保持高分辨率的同时实现高重复度。型号配置 1 PS 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商产品系列 X 轴压电纳米台机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 PS1H 5～80 参考页面 ▶P. 3 位移放大机构 PS1L 30 ～1800 ▶P.11 Z 轴压电纳米台机构类型型号编号行程[μm] 参考页面直接驱动机构 PSVH 5～10 ▶P. 25 位移放大机构 PSVL 30 ～1800 ▶P.29 XY 轴压电纳米台机构类型型号编号行程[μm] 参考页面直接驱动机构 PS2H 5～80 ▶P.39 位移放大机构 PS2L 30 ～1800 ▶P.47 XZ 轴压电纳米台机构类型型号编号行程[μm] 参考页面直接驱动机构 PSWH 5～30 ▶P. 59 位移放大机构 PSWL 30 ～1800 ▶P.63 参考页面 XYZ 轴压电纳米台机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 PS3H 5～30 ▶P. 65 位移放大机构 PS3L 30 ～1800 ▶P.67 ※ 图像上的箭头表示移动方向。请检查每个产品的外形尺寸图，以了解实际的移动方向。产品特性注： ①直接驱动机构允许以短行程为代价对最小动量进行精细控制。注）规格表中的分辨率值包括位移传感器。 ②由于压电平台采用了精密位置反馈控制，两种机构形式都具有很高的定位精度。 ③直接驱动机构具有较高的机械共振频率，并且可以缩短定位完成时间。响应时间取决于负载质量的大小，且与 PID 调节有关。参数表中并未给出响应时间参数，详情请联系销售技术工程师。控制方式选择您可以选择在目录中列出的所有压电平台上进行选择，压电平台均可内置传感器可实现闭环控制，并实现高精度定位，而不受迟滞或蠕变的影响。如果只需要压电平台的响应能力，则可以在没有传感器的情况下将其与开环控制一起使用。（请参阅闭环和开环产品的技术数据。）是否内置位移传感器由传感器型号的末尾（-S/-C）指定。当选择内置位移传感器的压电平台，则控制板，驱动器板和传感器放大器板均安装在一个控制器上。根据轴的数量有两种类型的控制器，单轴类型和多轴类型，多轴最多可以扩展到 6 个轴。当未选择位移传感器时，它直接连接到驱动程进行驱动。根据输出电流的大小，可以从标准标准产品中选择压电驱动器。我司研发生产的所有压电驱动及压电控制器均可控制本系列 PS 压电纳米平台，有关压电驱动/控制器的详细资料，请参见其详细章节。 service@nanomotions.com PS 2 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1H45 系列高动态稳定型压电陶瓷纳米台、12~60μm 产品描述产品特性 X 轴纳米定位线性位移台是基于压电控制的线性位移台，行程包括 12/30/45/60μm 及可定制其他行程版本，本系列产品包含 X、XY 可供用户选择。该压电纳米定位器是我们高速产品线的一部分（可提供大功率控制器，进行高速运动）。二维产品型号为 PS2H45-xx。 PS1H45 系列压电纳米位移台采用高可靠多层低压压 — 高速运动、直接驱动 — 设计小巧紧凑 — 闭环控制 — 可堆叠进行 XY 运动选配功能电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的固态挠性导 — 可定制转接工装向系统可确保完美的平移运动。平台采用了无摩擦柔性机 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿， — 可组维、可定制其他行程跟踪，快速步进或连续扫描等。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。应用领域 — 扫描显微镜、光纤端面检测压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现 — 干涉仪、测量技术、3D 锡膏检测的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上， — 光子、光纤定位、干涉请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载 — 纳米光刻、纳米定位、电化学加工荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。结构原理 3 PS 高速响应 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1H45 系列技术参数规格型号 1 PS1H45-012U-S 运动轴 PS1H45-030U-S PS1H45-045U-S PS1H45-060U-S 公差 8 - X X X X SGS SGS SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 12 μm 30 μm 45 μm 60 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V）集成传感器 20 μm 40 μm 60 μm 80 μm ±20% 3 0.1 nm 0.3 nm 0.4 nm 0.5 nm typ. 最小移动步长 4 0.4 nm 1.0 nm 1.5 nm 2.0 nm typ. 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% typ. 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad 10 μrad 10 μrad typ. 50 N 50 N 5N 5N Max. 分辨率线性误差重复定位精度（全行程）角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 3000 Hz 2500 Hz 2000 Hz 1500 Hz ±20% 运动方向刚度 40 N/μm 40 N/μm 40 N/μm 40 N/μm ±20% 450N / 100N 450N / 100N 450N / 100N 450N / 100N ±20% PZT PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - - - 45 ×45 ×15 mm 45 ×63 ×15 mm 45 ×81 ×15 mm 45 ×99 ×15 mm - 65 g 100 g 150 g 200 g ±5% LEMO LEMO LEMO LEMO - 铝铝铝铝 - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。闭环分辨率为传感器噪声，驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1H45 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 4 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1H60-024U 系列高负载、高动态压电驱动纳米级定位系统产品描述产品特性 PS1H60-024U 是一款多功能的紧凑型纳米定位器，可以配置以适应多种应用。可以将各个单轴平台组合起来以形成多轴系统。通过转接转可组成 XY 二维运动平台。方便用户升级与维护。PS1H60-024U 压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱机构的一维运动的压电位移平台，无摩擦、高精度柔性铰链导向系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定 — 高速直接驱动 — 大承载 8Kg — 闭环控制 — 可堆叠 XY 运动选配功能位控制。本产品的运动范围为 30μm（开环）。其他行程可以根据要求进行定制。PS1H60-024U 本体由铝材质构成，用户可选择殷钢或钛制成，并可以进行定制以适应独特的要求，但是参数表中给出的为铝材质条件下测得数据。 — 可定制转接工装 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可组维、可定制其他行程压电平台负载能力高达 8kg，该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。应用领域 — 半导体技术、精密加工压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现 — 干涉仪、测量技术的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上， — 光纤定位、高速镜头聚焦请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载 — 测试程序、质量保证荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。结构原理 5 PS 高速响应 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1H60 系列技术参数规格型号 1 PS1H60-024U PS1H60-024U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 24 μm 24 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 30 μm 30 μm ±20% 3 0.2 nm 0.4 nm typ. 最小移动步长 4 0.8 nm 0.8 nm typ. 线性误差 - 0.05%~0.1 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05 % typ. 10 μrad 10 μrad typ. 80 N 80 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 6000 Hz 6000 Hz ±20% 4.4 N/μm 4.4 N/μm ±20% 450N / 100N 450N / 100N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 60 × 60 × 16 mm 60 × 60 × 16 mm - 重量 7 120 g 120 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。闭环分辨率为传感器噪声，驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1H60 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 6 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1H30-005U 系列用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统产品描述产品特性 PS1H30-005U 系列 X 向一维压电纳米定位台，设计用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具。 — 高速直接驱动 — 紧凑型超小体积设计本系列具有纳米级定位分辨率的高速，可多轴，精密 — SGS 闭环控制纳米定位系统。提供最大的多功能性，可以配置 XY/XZ 或 — 可堆叠 XY/XZ/XYZ 运动 XYZ 运动。紧凑的尺寸，非常易于集成到任何扫描仪器中。超低选配功能的噪声特性和高谐振频率使其非常适合要求噪声水平低的 — 可定制转接装置高速性能的计量应用。 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 定制其他材质压电平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电位移台内置精密位移传感器进行全闭应用领域环的位置反馈，确保了位移台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 高速、高分辨率定位 — 扫描、筛选 — 表面分析、计量学压电纳米定位台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电扫描台特点体积小、结构紧凑、易于集成。最小步长 7 PS 高速响应 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1H30 系列技术参数规格型号 1 PS1H30-005U PS1H30-005U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 5 μm 5 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 7 μm 7 μm ±20% 3 0.05 nm 0.1 nm typ. 最小移动步长 4 0.2 nm 0.2 nm typ. 线性误差 - 0.2 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.1 % typ. 5 μrad 5 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 2000 Hz 2000 Hz ±20% 运动方向刚度 1.5 N/μm 1.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 10N / 2N 10N / 2N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 30 × 30 × 21 mm 30 × 30 × 21 mm - 70 g 70 g ±5% LEMO LEMO - 铝铝 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1H30-005U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 8 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1H40-015U 系列用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统产品描述产品特性 PS1H40-015U 系列 X 向一维压电纳米定位台，设计用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具。 — 高速直接驱动 — 紧凑型超小体积设计本系列具有纳米级定位分辨率的高速，可多轴，精密 — SGS 闭环控制纳米定位系统。提供最大的多功能性，可以配置 XY/XZ 或 — 可堆叠 XY/XZ/XYZ 运动 XYZ 运动。紧凑的尺寸，非常易于集成到任何扫描仪器中。超低选配功能的噪声特性和高谐振频率使其非常适合要求噪声水平低的 — 可定制转接装置高速性能的计量应用。 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 定制其他材质压电平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电位移台内置精密位移传感器进行全闭应用领域环的位置反馈，确保了位移台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 高速、高分辨率定位 — 扫描、筛选 — 表面分析、计量学压电纳米定位台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电扫描台特点体积小、结构紧凑、易于集成。最小步长 9 PS 高速响应 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1H40-015U 系列技术参数规格型号 1 PS1H40-015U PS1H40-015U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 15 μm 15 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 20 μm 20 μm ±20% 3 0.15 nm 0.45 nm typ. 最小移动步长 4 0.5 nm 0.5 nm typ. 线性误差 - 0.2 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.2 % typ. 5 μrad 5 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 2000 Hz 2000 Hz ±20% 运动方向刚度 1.5 N/μm 1.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 10N / 2N 10N / 2N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 40 × 40 × 21 mm 40 × 40 × 21 mm - 85 g 85 g ±5% LEMO LEMO - 铝铝 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1H40-015U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 10 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1L40-080U 系列大行程、高精度、紧凑型线性压电定位系统产品描述产品特性 PS1L40-080U 紧凑型线性纳米定位台，沿 X 方向可提供 80μm（闭环）或更大行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。X 轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台，本系列产品包含 Z、XY、XZ、XYZ 产品可供用户选择。该系列纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷 — 紧凑型超薄设计：移动面为 40x40mm — 超高定位及线性误差 — SGS 闭环控制 — 可提供 Z 向位移台、XY、XZ 和 XYZ 版本选配功能作为驱动元件，利用有限元优化的集成态挠性导向系统可 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪， — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系快速步进或连续扫描。闭环版本具有高分辨率应变片式位 — 定制安装转配孔确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在应用领域开环或闭环控制中运行。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会 — 显微镜、生物技术 — 纳米定位、测试应用 — MR 头部测试、高级读写头研究 — 摩擦学研究 — 光纤定位损坏位移台。结构原理 11 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1L40-080U 系列技术参数规格型号 1 PS1L40-080U PS1L40-080U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 80 μm 80 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 110 μm 110 μm ±20% 3 0.8 nm 1.6 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.02%~0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 300 Hz 300 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 40 × 40 × 22 mm 40 × 40 × 22 mm - 重量 7 100 g 100 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1L40-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 12 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1L27-030U 系列紧凑型线性压电定位系统产品描述产品特性 PS1L27-030U 紧凑型线性纳米定位台，沿 X 方向可提供 30μm 行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。 X 轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的 — 高柔性铰链确保高可靠性 — 运动可达 30μm（闭环） — 设备寿命长 — 可提供 Z 向位移台、XY、XZ 和 XYZ 版本线性位移台，本系列产品包含 Z、XY、XZ、XYZ 产品可供选配功能用户选择。 PS1L27-030U 系列位移台可以轻松地与 XY 和压电偏转旋转系统结合使用，以提供所有自由度的定位。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 定制安装转配孔高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。 — 光纤定位，激光光学 PS1L27-030U 非常适用于小部件（例如反射镜和激光 — 扫描系统、激光直写二极管）的纳米级精确定位，特别是在需要长期稳定性的 — 显微操作、3D 打印应用中。 — 光子聚合、光纤定位结构原理 13 应用领域 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1L27-030U 系列技术参数规格型号 1 PS1L27-030U PS1L27-030U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm 30 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 38 μm 38 μm ±20% 3 0.3 nm 0.6 nm typ. 最小移动步长 4 1.0 nm 1.0 nm typ. 线性误差 - 0.02%~0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 350 Hz 350 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 27 × 27 × 20 mm 27 × 27 × 20 mm - 40 g 40 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1L27-030U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 14 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1L54-200U 系列大行程型线性压电定位系统产品描述产品特性 PS1L54-200U 紧凑型线性纳米定位台，沿 X 方向可提供 200μm 行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。 X 轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的 — 高柔性铰链确保高可靠性 — 运动可达 200μm（闭环） — 集成式杠杆传动 — 可提供 Z 向位移台、XY、XZ 和 XYZ 版本线性位移台，由于固态弯曲和平行四边形结构，这些压电平台可以在 X 和 Z 方向上移动而没有任何机械间隙。它们选配功能可提供比机械或机电系统更高的分辨率。本系列产品包含 Z、XY、XZ、XYZ 产品可供用户选择。 PS1L54-200U 系列位移台可以轻松地与 XY 和压电偏转旋转系统结合使用，以提供所有自由度的定位。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 定制安装转配孔应用领域传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。更高精度可选电容传感器闭环，型号为 PS1L54-200U-C。 — 光纤定位，激光光学 — 表面测量技术 — 半导体计量学 — 光子聚合、光纤定位 PS1L54-200U 非常适用于小部件（例如反射镜和激光二极管）的纳米级精确定位，特别是在需要长期稳定性的应用中。结构原理 15 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1L54-200U 系列技术参数规格型号 1 PS1L54-200U PS1L54-200U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm 200 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 240 μm 240 μm ±20% 3 1.8 nm 3.6 nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 7.0 nm typ. 线性误差 - 0.02%~0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 420 Hz 420 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 54 × 54 × 25 mm 54 × 54 × 25 mm - 95 g 95 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1L54-200U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 16 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1L100-200U/300U 系列高负载压电定位器系列产品描述产品特性 PS1L100-200U/300U 紧凑型线性纳米定位台，沿 X 方向可提供 200μm/300U 行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。其中 PS1L100-300U 具有更高的动态特性。压电纳米台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电纳米台内置精密位移传感器进行全闭 — 高柔性铰链确保高可靠性 — 运动可达 300μm（闭环） — 承重达 3.5kg — 可提供 XY 版本选配功能环的位置反馈，确保了压电纳米台具有极佳的运动控制精 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度高负载压电定位器是我们超快速和高负载能力系列产 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系品线中的一部分。它提供了高达 300μm 的定位和扫描范 — 定制安装转配孔度，定位精度、分辨率和稳定性。围。当将它们堆叠为 XY 配置时，这也是可能的。由于 FEA 的优化这款平台提供了最高的动态性能和出色的引导精应用领域度。即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。本系列系列专为半导体，激光和光学以及测试与测量领域中的纳米定位任务而设计我们压电平台优化了出色的温度补偿特性。固态挠性 — 激光光学、迈克尔逊干涉 — 扫描系统、工件疲劳测试 — 生命科学、高速物镜聚焦 — 机械工具、纳米定位铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械间隙和摩擦力，我们所有压电平台和纳米定位器均具有这一功能。结构原理 17 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1L100-200U/300U 系列技术参数规格型号 1 PS1L100-200U-S 运动轴 PS1L100-300U-S 公差 8 - X X SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm 300 μm（±150μm） ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V）集成传感器 280 μm 370 μm（±185μm） ±20% 3 1.8 nm 2.7 nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 10 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.03% 0.03% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 35 N 35 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 500 Hz 600 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 60N / 20N 150N / 150N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 100 × 100 × 17.5 mm 100 × 100 × 17.5 mm - 重量 7 270 g 280 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1L100-200U/300U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 18 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1Lxx-050U~1500U 多种行程范围和两轴配置系列产品描述产品特性本系列压电台其最大行程范围 50µm~1500µm。其体积紧凑、高度超薄且位移输出大，可选位移范围宽特点，适用于承载力要求低的场合应用。本系列具有 X、XY、Z 版本；可提供组合。相对于其 — 单轴运动 — 行程范围从 50 µm 到 1500 µm（闭环） — 最大承载 1kg — 高精度，无摩擦的挠曲导向系统他位移台而言压电位移台位移越大，相对于整体尺寸越大。而本系列压电纳米平台尺采用机械放大的方式进行设计、选配功能保证输出位移大且尺寸小的有点，特别适合于系统集成。结构基于固态铰链，该铰链提供了压电元件的杠杆传递。压电平台具有非常紧凑的尺寸。可以使用其自身配备的孔位将元件安装到固定装置上。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏本系列压电位移台。 19 PS 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈 — 可提供 XY 和 XYZ 版本应用领域请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载结构原理 — 位移特性 021-54668263 — 长行程扫描检测 — 质量控制、测试计量 — 精密光学反射镜对准 — 高分辨率探头定位二维组合 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1Lxx-500U~1500U 系列技术参数规格型号 1 PS1L30-050U-S PS1L40-100U-S PS1L50-200U-S PS1L60-500U-S PS1L80-800U-S PS1L100-1500-S 公差 8 - X X X X X X SGS SGS SGS SGS SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 50 μm 100 μm 200 μm 500 μm 800 μm 1500 μm ±5% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 60 μm 120 μm 250 μm 600 μm 950 μm 1800 μm ±20% 分辨率 3 0.5 nm 1.0 nm 1.8 nm 4.5 nm 7 nm 13.5 nm typ. 最小移动步长 4 2.0 nm 3.5 nm 7.0 nm 17 nm 28 nm 50 nm typ. 运动轴集成传感器线性误差重复定位精度（全行程）角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 0.2% 0.2% 0.2% 0.2% 0.2% 0.25% typ. 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad 10 μrad 10 μrad 15 μrad 20 μrad typ. 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N Max. 900 Hz 800 Hz 400 Hz 200 Hz 125 Hz 125 Hz ±20% 运动方向刚度 0.2 N/μm 0.2 N/μm 0.1 N/μm 0.1 N/μm 0.05 N/μm 0.05 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 10N / 8N 10N / 8N 10N / 8N 10N / 8N 10N / 8N 10N / 8N ±20% 驱动机构压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm 谐振频率（0g）工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器本体材质 - - - - - - - 30x30x12 40x40x15 50x50x15 60x60x15 80x80x17 100x100x22.5 - 120 g 180 g 210 g 250 g 400 g 1200 g ±5% LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO - 铝铝铝铝铝铝 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1Lxx-500U~1500U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 20 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1L17-030U/080U OEM 纳米位移台、垂直精密 Z/X 向定位器产品描述产品特性 PS1L17 系列专为空间有限的应用而设计的，它外形紧凑、体积小巧，且配备有闭环传感器，非常适于高精度、空间有限的应用，如光纤端面检测仪器。压电平台采用平行运动机械机构原理，具有零摩擦高 — 单轴运动 — 运动可达 80μm（闭环） — 最大承载 700g — 紧凑超小体积设计柔性精度。压电平台移动面设计留有 M4 或者 M3 的螺纹孔，通选配功能过光学镜片安装到工装上面，便于操作与更换。（光学镜 — 可定制孔位及转接装置片与工装用户提供） — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制螺纹尺寸压电平台底部通过两个 M3 螺纹孔与设备进行固定连接。本设计拥有两款产品行程分别为 30μm 为 80μm，可供用户选择。应用领域 — 光纤端面检测 — 干涉、纳米移相器 — 微扫描、聚焦定位 — 表面测量技术光纤端面检测结构原理 21 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1L17-030U/080U 系列技术参数规格型号 1 PS1L17-030U-S PS1L17-080U-S 公差 8 运动轴 X/Z X/Z - 集成传感器 SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm 80 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 38 μm 110 μm ±20% 3 0.3 nm 0.7 nm typ. 最小移动步长 4 1.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 0.02% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.03% 0.03% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 7N 7N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 650 Hz 650 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 17 × 17.5 × 27 mm 17 × 17.5 × 36mm - 60 g 70 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1L17-030U/080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 22 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS1L73-100U/200U 系列重载紧凑型线性压电定位系统产品描述产品特性 PS1L730-100U/200U 紧凑型线性纳米定位台，沿 X 方向可提供 100μm/200U 行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。其中 PS1L100-300U 具有更高的动态特性。压电纳米台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、 — 超紧凑设计：73x73mm — 超高定位及线性误差 — SGS 闭环控制 — 可提供 XY 版本选配功能免维护等特点，压电纳米台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电纳米台具有极佳的运动控制精 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度高负载压电定位器是我们超快速和高负载能力系列产 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系品线中的一部分。它提供了高达 200μm 的定位和扫描范 — 定制安装转配孔度，定位精度、分辨率和稳定性。围。当将它们堆叠为 XY 配置时，这也是可能的。由于 FEA 应用领域的优化这款平台提供了最高的动态性能和出色的引导精度。即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。本系列系列专为带载一组或多组显微物镜进行高速聚焦。我们压电平台优化了出色的温度补偿特性。固态挠性铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械间隙和 — 显微镜、生物技术 — 纳米定位、测试应用 — MR 头部测试、高级读写头研究 — 摩擦学研究 — 光纤定位摩擦力，我们所有压电平台和纳米定位器均具有这一功能。高速聚焦 200μm@600g 响应时间 30ms 结构原理 23 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS1L73-100U/200U 系列技术参数规格型号 1 PS1L73-100U-S 运动轴 PS1L40-200U-S 公差 8 - X X SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 100 μm 200 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V）集成传感器 130 μm 240 μm ±20% 3 1.0 nm 1.8 nm typ. 最小移动步长 4 3.5 nm 7.0 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 30 N 30 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 500 Hz 500 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 50N / 20N 50N / 50N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 73 × 73 × 17.5 mm 73 × 73 × 17.5 mm - 重量 7 187 g 187 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS1L73-100U/200U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 24 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSVH30-005U Z 轴、小体积纳米位移台产品描述产品特性 PSVH30-005U 为 Z 向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。底部平台固定安装孔可选择 M3 螺纹孔，便于用户方 — 单轴运动 — 运动可达 5μm（闭环） — 最大承载 0.8kg — Z 轴紧凑型设计选配功能便安装，订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径 2.2 通孔。本系列产品形行程范围为 5μm（闭环）。 — 可定制安装、负载固定孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XZ、XY 和 XYZ 版本应用领域 — 纳米压印、纳米计量、纳米光刻 — 原子力显微镜、扫描电镜 — 生物技术、干涉测量 — 表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术原子力探针显微镜结构原理 25 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSVH30-005U 系列技术参数规格型号 1 PSVH30-005U PSVH30-005U-S 公差 8 - 运动轴 Z Z 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 5 μm 5 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 7 μm 7 μm ±20% 3 0.05 nm 0.1 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.2% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.1% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 8N 8N Max. 谐振频率（0g） 2500 Hz 2500 Hz ±20% 运动方向刚度 2 N/μm 2 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 12N / 2N 12N / 2N ±20% 驱动机构压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 30 × 30 × 24 mm 30 × 30 × 24 mm - 70 g 70 g ±5% LEMO LEMO - 铝铝 - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSVH30-005U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 26 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSVH30-010U Z 轴、小体积纳米位移台产品描述产品特性 PSVH30-010U 为 Z 向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。压电位移台可提供 SGS 传感器反馈或无反馈（开环）。 — 单轴运动 — 运动可达 10μm（闭环） — 最大承载 0.8kg — 紧凑型设计选配功能对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率， — 可定制安装、负载固定孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系使用开环设计版本。 — 可提供 XZ、XY 和 XYZ 版本但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视本系列产品形行程范围为 5μm（闭环）。应用领域 — 纳米压印、纳米计量、纳米光刻 — 原子力显微镜、扫描电镜 — 生物技术、干涉测量 — 表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术原子力探针显微镜结构原理 27 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSVH30-010U 系列技术参数规格型号 1 PSVH30-010U PSVH30-010U-S 公差 8 - 运动轴 Z Z 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 10 μm 10 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 12 μm 12 μm ±20% 3 0.1 nm 0.2 nm typ. 最小移动步长 4 0.4 nm 0.4 nm typ. 分辨率线性误差 - 0.2% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.15% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 8N 8N Max. 谐振频率（0g） 2300 Hz 2300 Hz ±20% 运动方向刚度 2 N/μm 2 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 12N / 2N 12N / 2N ±20% 驱动机构压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 30 × 30 × 29.2mm 30 × 30 × 29.2mm - 80 g 80 g ±5% LEMO LEMO - 铝铝 - 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSVH30-010U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 28 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSVL27-030U 系列小体积、紧凑型线性压电定位系统产品描述产品特性 PSVL27-030U 紧凑型线性纳米定位台，采用平行运动学机械设计结构，其位移沿 Z 方向可提供 30μm 行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。 — 高柔性铰链确保高可靠性 — 运动可达 30μm（闭环） — 设备寿命长 — 可提供 X 向位移台、XY、XZ 和 XYZ 版本 Z 轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台，本系列产品包含 X、XY、XZ、XYZ 产品可供选配功能用户选择。 PSVL27-030U 系列位移台可以轻松地与 XY 和压电偏转旋转系统结合使用，以提供所有自由度的定位。 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 定制安装转配孔闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中应用领域 — 光纤定位，激光光学 — 扫描系统、激光直写 PSVL27-030U 非常适用于小部件（例如反射镜和激光 — 显微操作、3D 打印二极管）的纳米级精确定位，特别是在需要长期稳定性的 — 光子聚合、光纤定位运行。应用中。结构原理 29 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSVL27-030U 系列技术参数规格型号 1 PSVL27-030U PSVL27-030U-S 公差 8 - 运动轴 Z Z 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm 30 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 38 μm 38 μm ±20% 3 0.3 nm 0.6 nm typ. 最小移动步长 4 1.0 nm 1.0 nm typ. 线性误差 - 0.02%~0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 350 Hz 350 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 27 × 27 × 20 mm 27 × 27 × 20 mm - 40 g 40 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSVL27-030U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 30 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSVL40-080U 系列 Z 轴、高精度、紧凑型线性压电定位系统产品描述产品特性 PSVL40-080U 紧凑型线性纳米定位台，沿 Z 方向可提供 100μm 或更大行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z 轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台，本系列产品包含 X、XY、XZ、XYZ 产品可供用户选择。该系列纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷 — 紧凑型超薄设计：移动面为 40x40mm — 超高定位及线性误差 — SGS 闭环控制 — 可提供 X 向位移台、可升级 XY、XZ 和 XYZ 版本选配功能作为驱动元件，利用有限元优化的集成态挠性导向系统可 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪， — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系快速步进或连续扫描。闭环版本具有高分辨率应变片式位 — 定制安装转配孔确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在应用领域开环或闭环控制中运行。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载 — 显微镜、生物技术 — 纳米定位、测试应用 — 半导体技术 — 光子、光纤定位荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。光学系统--迈克尔逊激光干涉仪结构原理 31 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSVL40-080U 系列技术参数规格型号 1 PSVL40-080U PSVL40-080U-S 公差 8 - 运动轴 Z Z 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 80 μm 80 μm ±5% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 110 μm 110 μm ±20% 3 0.8 nm 1.6 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.02%~0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 300 Hz 300 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 40 × 40 × 22 mm 40 × 40 × 22 mm - 重量 7 100 g 100 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSVL40-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 32 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSVL40-160U/240U 系列大行程、高精度、紧凑型线性压电定位系统产品描述产品特性 PSVL40-160U/240U 紧凑型线性纳米定位台，沿 Z 方向可提供 160μm/240U(闭环)或更大行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z 轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台，本系列产品包含 X、XY、XZ、XYZ 产品可供用户选择。该系列纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的集成态挠性导向 — 紧凑型超薄设计：移动面为 40x40mm — 超高定位及线性误差 — SGS 闭环控制 — 可提供 X 向位移台、可升级 XY、XZ 和 XYZ 版本选配功能系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描。 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 定制安装转配孔闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。应用领域传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会 — 微加工、精密定位 — 光纤定位、光学扫描 — 纳米计量、质量保证 — 干涉、扫描电镜损坏位移台。结构原理 33 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSVL40-160U/240U 系列技术参数规格型号 1 PSVL40-160U-S 运动轴 PSVL40-240U-S 公差 8 - Z Z SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 160 μm 240 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）集成传感器 200 μm 320 μm ±20% 3 1.5 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 6.0 nm 8.0 nm typ. 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% typ. 0.02% 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 4N Max. 分辨率线性误差重复定位精度（全行程）角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 180 Hz 120 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 70N / 6N 50N / 5N ±20% 驱动机构压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 40 × 40 × 36.5 mm 40 × 40 × 36.5 mm - 重量 7 170 g 220 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSVL40-160U/240U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 34 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSVL50-300U 系列大行程、垂直精密 Z 向定位器产品描述产品特性 PSVL50-300U 紧凑型线性纳米定位台，沿 X 方向可提供 100μm 或更大行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z 轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台。 — 紧凑型超薄设计 — 超大型城：300μm（闭环） — SGS 闭环控制 — 可叠堆成 XYZ 产品该系列纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的集成态挠性导向系统可选配功能确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于定位控制，例如步进或连续扫描。压电陶瓷促动器为树脂绝缘。这可以防潮，避免漏电 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 定制安装转配孔流增大造成故障。其使用寿命被证明可实现无故障运行应用领域 1000 亿个循环。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。结构原理 35 PS 响应特性 021-54668263 — 显微镜、生物技术 — 纳米定位、测试应用 — 半导体技术 — 光子、光纤定位典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSVL50-300U 系列技术参数规格型号 1 PSVL50-300U PSVL50-300U-S 公差 8 - 运动轴 Z Z 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 300 μm 300 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 350 μm 350 μm ±20% 3 3.0 nm 6.0 nm typ. 最小移动步长 4 10 nm 10 nm typ. 线性误差 - 0.2% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.1% typ. 50 μrad 50 μrad typ. 10 N 10 N Max. 360 Hz 360 Hz ±20% 0.25 N/μm 0.25 N/μm ±20% 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力 10N /8N 10N /8N ±20% 驱动机构压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 50 × 50 × 17.5 mm 50 × 50 × 17.5 mm - 重量 7 250 g 250 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSVL50-300U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 36 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSVL54-200U 系列大行程型线性压电定位系统产品描述产品特性 PSVL54-200U 紧凑型线性纳米定位台，沿 Z 方向可提供 200μm 行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。 Z 轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的 — 高柔性铰链确保高可靠性 — 运动可达 200μm（闭环） — 集成式杠杆传动 — 可提供 X 向位移台、版本包含 XY、XZ 和 XYZ 版本线性位移台，由于固态弯曲和平行结构，这些压电平台可以在 X 和 Z 方向上移动而没有任何机械间隙。它们可提供选配功能比机械或机电系统更高的分辨率。本系列产品包含 X、XY、 XZ、XYZ 产品可供用户选择。 PSVL54-200U 系列位移台可以轻松地与 XY 和压电偏转旋转系统结合使用，以提供所有自由度的定位。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制固定及负载安装孔位应用领域传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。 PSVL54-200U 非常适用于小部件（例如反射镜和激光 — 光纤定位，激光光学 — 表面测量技术 — 半导体计量学 — 光子聚合、光纤定位二极管）的纳米级精确定位，特别是在需要长期稳定性的应用中。结构原理 37 PS 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSVL54-200U 系列技术参数规格型号 1 PSVL54-200U PSVL54-200U-S 公差 8 - 运动轴 Z Z 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm 200 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 240 μm 240 μm ±20% 3 1.8 nm 3.6 nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 7.0 nm typ. 线性误差 - 0.02%~0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 420 Hz 420 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% 压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 54 × 54 × 25 mm 54 × 54 × 25 mm - 95 g 95 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSVL54-200U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 38 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2H30-005U XY 轴小体积压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2H30-005U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动，并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有 30x30x30mm，具有高谐振频 — 高速 1ms 响应，多轴定位 — 最短的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。 PS2H30-005U 系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XYZ 版本应用领域 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 微流体技术 AFM 结构原理 39 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2H30-005U 系列技术参数规格型号 1 PS2H30-005U PS2H30-005U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 5 μm x 5 μm 5 μm x 5 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 7 μm x 7 μm 7 μm x 7 μm ±20% 3 0.05 nm 0.1 nm typ. 最小移动步长 4 0.2 nm 0.2 nm typ. 线性误差 - 0.2 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.2 % typ. 5 μrad 5 μrad typ. 5N 5N Max. （X）1300 Hz、（Y）2000 Hz （X）1300 Hz、（Y）2000 Hz ±20% 1.4 N/μm 1.4 N/μm ±20% 8N / 2N 8N / 2N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 30 × 30 × 30 mm 30 × 30 × 30 mm - 重量 7 120 g 120 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2H30-005U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 40 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2H40-015U XY 轴小体积压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2H40-015U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动，并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有 40x40x30mm，具有高谐振频 — 高速响应，多轴定位 — 最短的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。 PS2H40-015U 系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XYZ 版本应用领域结构原理 41 PS 位移特性 021-54668263 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 微流体技术典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2H30-015U 系列技术参数规格型号 1 PS2H40-015U PS2H40-015U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 15 μm x 15 μm 15 μm x 15 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 20 μm x 20 μm 20 μm x 20 μm ±20% 3 0.15 nm 0.3 nm typ. 最小移动步长 4 0.5 nm 0.5 nm typ. 线性误差 - 0.3 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.2 % typ. 5 μrad 5 μrad typ. 5N 5N Max. （X）2000 Hz、（Y）1800 Hz （X）2000 Hz、（Y）1800 Hz ±20% 1.4 N/μm 1.4 N/μm ±20% 8N / 2N 8N / 2N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 40 × 40 × 30 mm 40 × 40 × 30 mm - 重量 7 150 g 150 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2H30-015U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 42 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2H45-012U XY 轴小体积高速运动压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2H45 系列由两维 X 轴叠加组合，沿 X，Y 轴提供 12、30、50、70 或 100 µm 的运动范围。（标准产品行程为 12μm，其它行程均可定制）。 PS2H45 系列纳米定位器是我们高速产品线的一部 — 高速 1ms 响应，多轴定位 — 超快的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能分，可提供大功率控制器，使其进行超高速驱动运动。 PS2H45-012U 系列是具有纳米级定位分辨率的高选配功能速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多 — 可定制固定、负载安装孔位及转接装置功能性。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XZ/XYZ 版本位置测量。体积小，具有超高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。参数可根据客户要求定制。应用领域 PS2H45-012U 系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。结构原理 43 PS 位移特性 021-54668263 — 高运动平面度和直线度的纳米定位 — 测量、计量 — 掩模/晶圆定位 — 表面测量技术典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2H45-012U 系列技术参数规格型号 1 PS2H45-012U PS2H45-012U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 12 μm x 12 μm 12 μm x 12 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 18 μm x 18 μm 18 μm x 18 μm ±20% 3 0.1 nm 0.2 nm typ. 最小移动步长 4 0.4 nm 0.4 nm typ. 线性误差 - 0.05 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05 % typ. 5 μrad 5 μrad typ. 30 N 30 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 3000 Hz 3000 Hz ±20% 运动方向刚度 30 N/μm 30 N/μm ±20% 450N / 100N 450N / 100N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 45 × 45 × 30.5 mm 45 × 45 × 30.5 mm - 重量 7 200 g 200 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2H45-012U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 44 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2H60-024U XY 轴超高速运动压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2H60 系列由两维 X 轴叠加组合，沿 X，Y 轴提供 24µm 的运动范围。（其它行程均可定制）。 PS2H60-024U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。 PS2H60-024U 提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置 — 高速响应，多轴定位 — 最短的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度本系列产品采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系体积小、无摩擦、响应速度快等特点，高谐振频率，高稳 — 可提供 XYZ 版本定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。应用领域 PS2H60-024U 系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。 — 硬盘测试 — 光纤对接 — 电化学加工 — 3D 锡膏检测 AFM 显微镜结构原理 45 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2H60-024U 系列技术参数规格型号 1 PS2H60-024U PS2H60-024U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 24 μm x 24 μm 24 μm x 24 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 30 μm x 30 μm 30 μm x 30 μm ±20% 3 0.2 nm 0.4 nm typ. 最小移动步长 4 0.8 nm 0.8 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 50 N 50 N Max. （X）1100Hz、（Y）1800Hz （X）1100Hz、（Y）1800Hz ±20% 4 N/μm 4 N/μm ±20% 150N / 15N 150N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 60 ×60 × 32 mm 60 ×60 × 32 mm - 重量 7 260 g 260 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2H60-024U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 46 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2L40-080U XY 轴紧凑型压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2L40-080U 系列经过优化设计，可提供 110µm 行 — 程范围，同时保持其紧凑的外观。该平台也可用于 2 轴版本 XZ 轴，也可用于带有 X 轴或 Z 轴的 1 轴版本。 PS2L40-080U 可与 Z 轴组合升级为 XYZ 产品，型号为 PS3L40-080U-S。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度，多轴定位 — XY 轴位移行程 80μm — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高精度柔性铰链系统选配功能高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。该产品可呆在一定的负载进行步进扫描动态使用。由于其高性价比和高性能参数，该平台在光纤对准和 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XYZ 版本激光写入应用中获得了极大的成功。应用领域结构原理 47 PS 位移特性 021-54668263 — 共聚焦显微镜 — 激光写入 — 光子聚合 — 光线对准 — 3D 打印典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2L40-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V）最大行程范围 2（@-20~+150V） PS2L40-080U PS2L40-080U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 7N 7N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（X）400 Hz、（Y）350 Hz （X）400 Hz、（Y）350 Hz ±20% 运动方向刚度 0.25 N/μm 0.25 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 20N / 10N 20N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 40 ×40 × 36.5 mm 40 ×40 × 36.5 mm - 重量 7 180 g 180 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2L40-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 48 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2L45-030U XY 轴小体积压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2L45-030U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。压电位移台由经过电火花线切割和精密 CNC 加工的 — 高速 1ms 响应，多轴定位 — 最短的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能固态金属棒制成。可移动平面部分挂在弹性铰链上，并由压电执行器驱动。我们设计提供了出色的线性度和平整度。此外，平面平行扫描仪具有更高的机械强度。多轴纳米台配备了用于闭环控制的 SGS 式位移传感 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XYZ 版本器。它提供了很高的运动精度和线性度，并消除了压电陶应用领域瓷的蠕变效应。体积小，外形尺寸仅有 45x45x23.5mm，具有高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。参数也可根据客户要求定制。 — 物镜对准 — 磁盘驱动器测试 — 半导体晶片接合 — 光学探针、光学扫描 — 光束对准物镜移动聚焦结构原理 49 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2L45-030U 系列技术参数规格型号 1 PS2L45-030U PS2L45-030U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm x 30 μm 30 μm x 30 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 40 μm x 40 μm 40 μm x 40 μm ±20% 3 0.3 nm 0.6 nm typ. 最小移动步长 4 1.0 nm 1.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 5N 5N Max. （XY）350 Hz、400 Hz （XY）350 Hz、400 Hz ±20% 0.15 N/μm 0.15 N/μm ±20% 30N / 5N 30N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 45 × 45× 23.5 mm 45 × 45× 23.5 mm - 重量 7 120 g 120 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2L45-030U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 50 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2L70-200U XY 轴小体积压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2H30-005U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有 70x70x28mm，具有更高的位 — 高速 1ms 响应，多轴定位 — 最短的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能移行程，其高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度压电平移台是以压电陶瓷为驱动，以柔性铰链为导向， — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系通过压电陶瓷的形变精确控制平台的移动。该平台可提供 — 可提供 XYZ 版本稳定性能的计量应用。参数可根据客户要求定制。 X、XY 及 XYZ 等不同维度平台。采用高精度位移传感器闭环反馈，使平台拥有毫秒级响应速度，亚纳米级的分辨率，并且拥有低底噪。被广泛应用于，超分辨显微、光镊系统、应用领域原子力显微镜、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、ccd 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。结构原理 51 PS 位移特性 021-54668263 — 光学镜面移动对准 — 纳米定位，计量学 — 生物学研究 — 微电子学，显微操作典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2L70-200U 系列技术参数规格型号 1 PS2L70-200U PS2L70-200U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm x 200 μm 200 μm x 200 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 240 μm x 240 μm 240 μm x 240 μm ±20% 3 1.8 nm 3.6 nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 7.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 20 μrad 20 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XY）200 Hz、230 Hz （XY）200 Hz、230 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 5N 30N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 70 × 70 × 28 mm 70 × 70 × 28 mm - 重量 7 400 g 400 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2L70-200U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 52 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2L150-300U XY 轴重载型压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2L150-300U 系列的设计平台将压电定位系统的高精度和高速与特殊的致动设计相结合，以实现长行程运动。此外，本产品设计用于大负载承载下的高速运动。压电陶瓷纳米平台的超扁平设计以及将平台与xy 扫描 — XY 轴双向高速运动 — 承载物体 50N — 双向驱动结构设计 — XY 行程 300μm 系统结合的简便方法，使该系统适用于多种应用。基于独特的压电双向致动设计，该系列可移动分辨率为 3 nm 的选配功能高负载质量运动。压电平台的双向驱动设计还确保了出色的柔性导向精度，而不会产生寄生运动，并以主动方式缩短了建立时间。 — 可定制安装孔位、固定孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 X 版本该平台可配备高分辨率反馈系统，用于闭环控制。应用领域包括高分辨率计量，x 和 xy 扫描以及动态定位。这些平台也有低温和真空版本。 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜推荐的压电控制器为基于双向驱动方式，所需的压电 — 干涉测量、计量控制器单元需要支持双向驱动原理，具体请联系销售工程 — 光学探针、光学扫描、光束对准师。 — 微流体技术结构原理 53 应用领域 PS 位移特性 021-54668263 堆叠形式 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2L150-300U 系列技术参数规格型号 1 PS2L150-300U PS2L150-300U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 300 x 300 μm（±150 x ±150 μm ） 300 x 300 μm（±150 x ±150 μm ） ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 370 x 370 μm（±185 x ±185 μm ） 370 x 370 μm（±185 x ±185 μm ） ±20% 3 3.0 nm 6.0 nm typ. 最小移动步长 4 10 nm 10 nm typ. 线性误差 - 0.10% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 50 N 50 N Max. （X）450Hz、（Y）350 Hz （X）450Hz、（Y）350 Hz ±20% 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 150N / 150N 150N / 150N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 150 ×150 × 36.6 mm 150 ×150 × 36.6 mm - 重量 7 450 g 450 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2L150-300U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 54 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2Lxx-050U~1500U 多种行程范围和两轴配置系列产品描述产品特性本系列压电台其最大行程范围 50µm~1500µm。其体积紧凑、高度超薄且位移输出大，可选位移范围宽特点，适用于承载力要求低的场合应用。本系列具有 X、XY、Z 版本；可提供组合。相对于其 — XY 轴运动 — 运动可达 1500μm（闭环） — 最大承载 1kg — 紧凑型设计他位移台而言压电位移台位移越大，相对于整体尺寸越大。而本系列压电纳米平台尺采用机械放大的方式进行设计、选配功能保证输出位移大且尺寸小的有点，特别适合于系统集成。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度压电平台具有非常紧凑的尺寸。可以使用其自身配备 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系的孔位将元件安装到固定装置上。本系列压电纳米定位平 — 可提供 X 和 XYZ 版本结构基于固态铰链，该铰链提供了压电元件的杠杆传递。台具有紧凑，高刚度的封装，可提供亚纳米级的性能。多种行程范围（50 µm 至 1500 µm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。应用领域压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载 — 长行程扫描检测 — 质量控制、测试计量 — 精密光学反射镜对准 — 高分辨率探头定位荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏本系列压电位移台。结构原理 55 PS 位移特性 021-54668263 堆叠形式 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2Lxx-500U~1500U 系列技术参数规格型号 1 PS2L30-050U-S PS2L40-100U-S PS2L50-200U-S PS2L60-500U-S PS2L80-800U-S PS2L100-1500-S 公差 8 X、Y X、Y X、Y X、Y X、Y X、Y - 运动轴集成传感器 SGS SGS SGS SGS SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 50 μm 100 μm 200 μm 500 μm 800 μm 1500 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 60 μm 120 μm 250 μm 600 μm 950 μm 1800 μm ±20% 分辨率 3 0.5 nm 1.0 nm 1.8 nm 4.5 nm 7 nm 13.5 nm typ. 2.0 nm 3.5 nm 7.0 nm 17 nm 28 nm 50 nm typ. 0.2% 0.2% 0.2% 0.2% 0.2% 0.25% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% typ. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转） 5 μrad 5 μrad 5 μrad 5 μrad 5 μrad 10 μrad typ. 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N Max. 最小移动步长 4 线性误差承载能力 5 （X）500Hz （X）420Hz （X）220Hz （X）130Hz （X）75Hz （X）60Hz （Y）750 Hz （Y）500 Hz （Y）300 Hz （Y）190 Hz （Y）105 Hz （Y）100 Hz 运动方向刚度 0.2 N/μm 0.2 N/μm 0.1 N/μm 0.1 N/μm 0.05 N/μm 0.05 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 10N / 5N 10N / 5N 10N / 8N 10N / 8N 10N / 5N 10N / 5N ±20% 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（A 长×A 宽×高 B）重量 7 ±20% 压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷 - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - - - - - 30x30x21.5 40x40x25 50x50x25 60x60x25 80x80x25 100x100x40 - 200 g 300 g 350 g 450 g 700 g 1400 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢铝、钢铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2Lxx-500U~1500U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 56 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS2L14/17 系列 OEM 式 XY 轴运动压电纳米位移台产品描述产品特性 PS2L14/17 系列设计为 OEM 版本，具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。纳米定位平台系列 XY 由集成到挠性铰链系统中的压电致动器组成。因此，使压电系统能够在动态条件下以纳米精度工作。该系列压电纳米台的每个轴的行进范围最大为 200 微米。这些压电定位器可以配备集成的反馈控制，以实现长期稳定性和亚纳米精度。2D 压电纳米台非常适合动态地移动镜头， CCD 按照压电技术精确的移位，通过组合采集到的图片来极短的建立时间优化功能。这款纳米定位器针对两个轴上的高共振频率和高刚度进行了优化。该设计是在典型的线扫描应用中获得最佳结果的，在这种应用中，需要快速而是这些产品设计和开发过程中的关键点。基于压电的电动高谐振频率 — XY 最大运放范围为 200μm — OEM 版本设计 — 紧凑的设计带来卓越的性能选配功能提高分辨率，可移动光学器件和其他大尺寸组件，并具有精确的线移动和定位。尤其是在位置改变后的短建立时间 — — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制设计 Z 轴运动版本，组合成为 XYZ 应用领域执行器和压电机械位移台以高分辨率运动和长期定位稳定性而闻名。对于特殊应用，可以对纳米定位器进行优化，以使其在 x 方向和 y 方向移动时在 z 方向上的偏差最小。可选版本 — 扫描系统 — STM 和 AFM 显微镜 — 晶圆处理 — 电子与机器人 XY 方向上的运动分别为 200µm 或 80 µm。这些平台可以配备用于闭环控制的定位反馈传感器。也提供真空和低温版本。超高分辨率像素移位技术结构原理 57 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS2L17-200U / PS2L14-080U 系列技术参数规格型号 1 PS2L17-200U-S PS2L14-080U-S 公差 8 运动轴 X、Y X、Y - 集成传感器 SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 x 200 μm 80 x 80 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 240 x 240 μm 110 x 110 μm ±20% 3 1.8 nm 0.7 nm typ. 最小移动步长 4 7 nm 3.0 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸（X）400 Hz、（Y）600 Hz （X）700 Hz、（Y）900 Hz ±20% （X）0.3N/μm、（Y）0.2N/μm （X）0.6N/μm、（Y）0.5N/μm ±20% 60N / 6N 60N / 6N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 70 × 70 × 18 mm 44 × 44 × 15 mm - 重量 7 150 g 85 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 外形尺寸（长×宽×高）注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS2L17-200U / PS2L14-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] PS2L17-200U PS2L14-080U service@nanomotions.com PS 58 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSWH30-005U XZ 轴小体积压电纳米位移台产品描述产品特性 PSWH30-005U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动，并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有 30x30x33mm，具有高谐振频 — 高速 1ms 响应，多轴定位 — 最短的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。 PSWH30-005U 系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XYZ 版本应用领域结构原理 59 PS 堆叠形式 021-54668263 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 微流体技术典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSWH30-005U 系列技术参数规格型号 1 PSWH30-005U PSWH30-005U-S 公差 8 X、Z X、Z - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 5 μm x 5 μm 5 μm x 5 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 7 μm x 7 μm 7 μm x 7 μm ±20% 3 0.05 nm 0.1 nm typ. 最小移动步长 4 0.2 nm 0.2 nm typ. 线性误差 - 0.2 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.2 % typ. 5 μrad 5 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度（X）1500 Hz、（Z）1600 Hz （X）1500 Hz、（Z）1600 Hz ±20% （X）1.2 N/μm、（Z）1.5 N/μm （X）1.2 N/μm、（Z）1.5 N/μm ±20% 9N / 2N 9N / 2N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 30 × 30 × 30 mm 30 × 30 × 30 mm - 重量 7 120 g 120 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSWH30-005U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 60 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSWH40-015U XZ 轴小体积压电纳米位移台产品描述产品特性 PSWH40-015U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动，并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有 30x30x33mm，具有高谐振频 — 高速 1ms 响应，多轴定位 — 最短的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。 PSWH40-015U 系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XYZ 版本应用领域 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 微流体技术纳米压痕结构原理 61 PS 堆叠形式性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSWH30-015U 系列技术参数规格型号 1 PSWH40-015U PSWH40-015U-S 公差 8 X、Z X、Z - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 15 μm x 5 μm 15 μm x 5 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 20 μm x 9 μm 20 μm x 9 μm ±20% 3 0.15 nm 0.3 nm typ. 最小移动步长 4 0.5 nm 0.5 nm typ. 线性误差 - 0.3 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.2 % typ. 5 μrad 5 μrad typ. 5N 5N Max. （X）2000 Hz、（Z）1800 Hz （X）2000 Hz、（Z）1800 Hz ±20% 1.4 N/μm 1.4 N/μm ±20% 8N / 2N 8N / 2N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 40 × 40 × 30 mm 40 × 40 × 30 mm - 重量 7 150 g 150 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSWH40-015U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 62 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PSWL40-080U XZ 轴小体积压电纳米位移台产品描述产品特性 PSWL40-080U 系列经过优化设计，可提供 110µm 行程范围，同时保持其紧凑的外观。该平台也可用于 2 轴版本 XZ 轴，也可用于带有 X 轴或 Z 轴的 1 轴版本。 PS2L40-080U 可与 Z 轴组合升级为 XYZ 产品，型号为 PS3L40-080U-S。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现 — 高速响应，多轴定位 — 700g 承载重量 — 亚纳米范围内的高分辨率 — XZ 轴双向运动选配功能高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。该产品可呆在一定的负载进行步进扫描动态使用。由于其高性价比和高性能参数，该平台在光纤对准和 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XYZ 版本激光写入应用中获得了极大的成功。 PSWL40-080U 系列的元件由集成在带有内部杠杆传应用领域动装置的壳体中的执行器组成。压电平台通过四个对角孔固定在基板上。纳米台可以通过两个对角螺孔安装在顶板上，由于杠杆传动在两个方向上均起作用，因此需要避免壳体和顶板之间的作用力，因为它们可能会损坏压电纳米 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 微流体技术位移平台。样品定位结构原理 63 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PSWL40-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V）最大行程范围 2（@-20~+150V） PSWL40-080U PSWL40-080U-S 公差 8 X、Z X、Z - - SGS - 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 7N 7N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（X）250 Hz、（Z）300 Hz （X）250 Hz、（Z）300 Hz ±20% 运动方向刚度 0.25 N/μm 0.25 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 20N / 10N 20N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 40 ×40 × 36.5 mm 40 ×40 × 36.5 mm - 重量 7 180 g 180 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PSWL40-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 64 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS3H30-005U 原子力专用型纳米位移台产品描述产品特性 PS3H30-005U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动，并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有 30x30x42mm，具有高谐振频 — 高速 1ms 响应，多轴定位 — 超快的响应时间 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。 PS3H30-005U 系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 XYZ 版本应用领域 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 微流体技术扫描电化学腐蚀结构原理 65 PS 步进图像 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS3H30-005U 系列技术参数规格型号 1 PS3H30-005U PS3H30-005U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 5 μm x 5 μm x 5 μm 5 μm x 5 μm x 5 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 7 μm x 7 μm x 7 μm 7 μm x 7 μm x 7 μm ±20% 3 0.05 nm 0.1 nm typ. 最小移动步长 4 0.2 nm 0.2 nm typ. 线性误差 - 0.2 % typ. 重复定位精度（全行程） - 0.2 % typ. 5 μrad 5 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）150 Hz、200 Hz、230 Hz （XYZ）150 Hz、200 Hz、230 Hz ±20% 运动方向刚度 1 N/μm 1 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 7N / 2N 7N / 2N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 30 × 30 × 42 mm 30 × 30 × 42 mm - 重量 7 160 g 160 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS3H30-005U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 66 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS3L40-080U 用于纳米定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统产品描述产品特性 PS3L40-080U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。 XYZ 产品利用先进的平行运动原理，这意味着所有促 — XYZ 轴纳米定位 — 运动范围 80μm/轴 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 超紧凑的设计，具有卓越精度性能选配功能动器直接作用在移动平台上。与具有诸如单级叠堆串联运动学的其他压电系统不同，压电叠堆线性平移台形状系数更小、惯性更低，因而可以实现更快的运动。紧凑型设计，外形尺寸仅有 40x40x36.5mm，具有体 — 可定制安装孔、固定孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制转接装置积小巧，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。适用于空间需求的多轴运动定位场合。参数可根据客户要求定制。应用领域 PS3L40-080U 压电纳米采用独特的 SGS 式传感器设计，具有闭环反馈选项，可实现亚纳米级分辨率和高线性度。SGS 传感器直接测量位置反馈，从而实现出色的定位 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 光纤对接、量子通信技术精度和可重复性。光轴调整结构原理 67 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS3L40-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V）最大行程范围 2（@-20~+150V） PS3L40-080U PS3L40-080U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 80 μm x 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 7N 7N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）300 Hz、200 Hz、180 Hz （XYZ）300 Hz、200 Hz、180 Hz ±20% 运动方向刚度 0.2 N/μm 0.2 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 5N 30N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 40 ×40 × 36.5 mm 40 ×40 × 36.5 mm - 重量 7 220 g 220 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS3L40-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 68 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS3L45-030U 紧凑型压电纳米位移台产品描述产品特性 PS3L45-030U 系列是具有纳米级定位分辨率的高速， — 多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置 XY 或 XYZ 运动并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。超薄型设计，外形尺寸仅有 45x45x23.5mm，具有体 XYZ 位移 30μm — 多种负载安装孔位 — 亚纳米范围内的高分辨率 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能积小巧，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。适用于空间需求的多轴运动定位场合。参数可根据客户要求定制。 PS3L45-030U 系列纳米位移台内部可集成 SGS 位置 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可提供 X/XY/XZ 版本传感器，闭环采用全闭环设计，高精度柔性系统，具有零应用领域摩擦等特点，使其具有更高的定位精度及线性精度。压电位移台可提供 SGS 传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 微流体技术觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。结构原理 69 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS3L45-030U 系列技术参数规格型号 1 PS3L45-030U PS3L45-030U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm x 30 μm x 30 μm 30 μm x 30 μm x 30 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）运动轴集成传感器 38 μm x 38 μm x 38 μm 38 μm x 38 μm x 38 μm ±20% 3 0.3 nm 0.6 nm typ. 最小移动步长 4 1.0 nm 1.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 5N Max. （XYZ）350 Hz、400 Hz、500 Hz （XYZ）350 Hz、400 Hz、500 Hz ±20% 0.15 N/μm 0.15 N/μm ±20% 30N / 5N 30N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 45 × 45× 23.5 mm 45 × 45× 23.5 mm - 重量 7 132 g 132 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS3L45-030U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 70 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS3L90-100UA 无磁材质、紧凑型含 Z 轴大行程压电纳米位移台产品描述产品特性 PS3L90-100UA 系列为 XYZ 轴运动纳米位移台。Z 轴设计为 500 微米大行程运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。压电位移台可提供 SGS 传感器反馈或无反馈（开环）。 — XY 位移 100μmx100μm — 多种负载安装孔位 — 500 微米 Z 轴大行程设计 — 无磁材质对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供选配功能了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制其他材质应用领域 — 原子力显微镜、扫描探针显微镜 — 测量、计量 — 光学探针、光学扫描、光束对准 — 光通信技术通过光镊实现对捕获对象精度为纳米级别的操控结构原理 71 PS 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS3L90-100UA 系列技术参数规格型号 1 PS3L90-100UA PS3L90-100UA-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 100 μm x 100 μm x 500 μm 100 μm x 100 μm x 500 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 110 μm x 110 μm x 540 μm 110 μm x 110 μm x 540 μm ±20% 运动轴集成传感器 3 （XY）1 nm、（Z）4.5nm （XY）3 nm、（Z）14nm typ. 最小移动步长 4 （XY）3.5 nm、（Z）17 nm （XY）3.5 nm、（Z）17 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 20 μrad 20 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）300 Hz、260 Hz、250 Hz （XYZ）300 Hz、260 Hz、250 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 20N / 3N 20N / 3N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 90 × 90 × 30 mm 90 × 90 × 30 mm - 重量 7 390 g 390 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS3L90-100UA 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。]动 service@nanomotions.com PS 72 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商标准线性平移台压电陶瓷纳米台 PS3L100-300UA XY 高动态大行程+Z 向压电纳米位移台产品描述产品特性 PS3100-300UA 系列为 XYZ 轴运动纳米位移台。XYZ 轴设计为 300 微米大行程运动双向运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。由于 FEA 的优化这款平台提供了最高的动态性能和出 — XYZ 位移 300μmx300μmx80μm（闭环） — 多种负载安装孔位 — 大承载设计 — XY 双向驱动带来更高动态特性色的引导精度。即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。本系列系列专为大承载动态应用选配功能领域设计。 — 可定制孔位及转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度执行器组成。压电平台通过四个对角孔固定在基板上。特 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系别注意因平台为 XY 叠加结构，压电平台的固定孔为最下端 — 4 通道驱动控制压电平台由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的的压电平台，切勿锁定上方的运动平台，否则导致柔性机应用领域构的损坏。结构原理 73 PS 堆叠形式 021-54668263 — 精密加工领域 — 测量、计量 — 光学镜片调整与对准 — 图像处理与扫描典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PS3L100-300UA 系列技术参数规格型号 1 PS3L100-300UA PS3L100-300UA-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 300 μm x 300 μm x 80 μm 300 μm x 300 μm x 80 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 370 μm x 370 μm x 110 μm 370 μm x 370 μm x 110 μm ±20% 运动轴集成传感器 3 （XY）3 nm、（Z）0.7nm （XY）6 nm、（Z）2nm typ. 最小移动步长 4 （XY）10 nm、（Z）3 nm （XY）10 nm、（Z）3 nm typ. 分辨率线性误差 - 0.1% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 20 μrad 20 μrad typ. 5N 5N Max. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）300 Hz、250 Hz、230 Hz （XYZ）300 Hz、250 Hz、230 Hz ±20% 运动方向刚度 0.2 N/μm 0.2 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 60N / 20N 60N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 100 × 100 × 34.5 mm 100 × 100 × 34.5 mm - 重量 7 480 g 480 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PS3L100-300UA 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PS 74 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PK 压电扫描台（移动面为中空型）产品特点 PK 系列压电扫描台在移动台面的中央或上面有一个通孔。本系列提供三种类型的 1 轴（X），2 轴（XY/XZ）和 3 轴（XYZ）， PK 系列压电扫描台是结合显微镜和分析仪器进行精细观察和高精度映射测量的理想选择。移动孔径可根据要求进行定制。高速，高精度的扫描操作 PK 系列由于压电陶瓷元件的高速响应特性和内置位移传感器的闭环控制，因此可以高速，高分辨率和高重现性进行定位。除了在点之间移动之外，还可以进行连续扫描操作。与步进电机类型的位移台相比，在较小的范围内可以获得更快、更可靠的操作。多轴集成一体结构，使串扰最小本系列多数产品 X、XY 和 XYZ 采用集成并联结构设计，可以抑制两个或多个单轴堆叠组合时容易出现的非正交性。此外，每个轴的传感器被固定到相同的基准，并且不断地监测和校正移动台偏离每个正交轴的运动。复合轴类型的 XY 和 XYZ 轴位移台的压电陶瓷元件布置在两侧并具有对称的开口。换句话说，其中一个轴由两个左右压电陶瓷元件支撑和驱动的结构（并联结构），即使同时驱动两个和三个轴也可以获得稳定的操作。 PK 系列机构形式分为两种直接驱动机构：可以获得出色的高速响应和高分辨率。位移放大机构：通过扩大压电陶瓷的微小位移，可达到更大的位移。型号配置 75 PK 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商产品系列 X 轴压电扫描台机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 PK1H 30 参考页面 ▶P. 77 位移放大机构 PK1L 80 ～300 ▶P.79 参考页面 Z 轴压电扫描台机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 - - - 位移放大机构 PKVL 80 ～400 ▶P.91 XY 轴压电扫描台机构类型型号编号行程[μm] 参考页面直接驱动机构 PK2H 12 ～30 ▶P.103 位移放大机构 PK2L 80 ～300 ▶P.109 参考页面 XZ 轴压电扫描台机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 PKWH - - 位移放大机构 PKWL 80 ▶P.127 参考页面 XYZ 轴压电扫描台机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 PK3H - - 位移放大机构 PK3L 80 ～300 ▶P.133 ※ 图像上的箭头表示移动方向。请检查每个产品的外形尺寸图，以了解实际的移动方向。产品特性注： ①在多轴并联系统中，所有压电陶瓷元件直接作用于单一运动平台。这意味着可以为所有轴设计相同的动态特性，从而大幅降低移动质量。 ②运动方向的刚度由于并联较低移动质量，对所有运动轴来说都较高、且具有相同的刚度特性。 ②并联结构中的载荷能力为移动面加上负载，在串行堆叠系统中，最低轴不仅移动大部分的有效负载，同时也移动所有其他下方驱动器，且需要进行相应的结构设计。控制方式选择您可以选择在目录中列出的所有压电平台上进行选择，压电平台均可内置传感器可实现闭环控制，并实现高精度定位，而不受迟滞或蠕变的影响。如果只需要压电平台的响应能力，则可以在没有传感器的情况下将其与开环控制一起使用。（请参阅闭环和开环产品的技术数据。）是否内置位移传感器由传感器型号的末尾（-S/-C）指定。当选择内置位移传感器的压电平台，则控制板，压电驱动器板和位置传感器放大器板均安装在一个控制器上。根据轴的数量有两种类型的控制器，单轴类型和多轴类型，多轴闭环系统最多可以扩展到 6 个轴。当未选择位移传感器时，它直接连接到驱动程进行驱动。根据输出电流的大小，可以从标准标准产品中选择压电驱动器。。我司研发生产的所有压电驱动及压电控制器均可控制本系列 PK 压电纳米平台，有关压电驱动/控制器的详细资料，请参见其详细章 service@nanomotions.com PS 76 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK1H100-030U 高速响应、高动态应用产品描述产品特性 PK1H100-030U 系列X 向压电扫描台是采用压电陶瓷驱动的一维并联压电纳米定位扫描台，压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 — X 位移：30μm（闭环） — 中孔尺寸：50mmx50mm — 并联直驱结构设计 — 超快响应时间、超高动态应用选配功能压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性。压电扫描台内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所 — 可定制转接装置、可定制中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选配 XY 轴运动有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。具有更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好应用领域的适用于显微及扫描系统中。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微纳米操纵透射光学对准结构原理 77 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK1H100-030U 系列技术参数规格型号 1 PK1H100-030U PK1H100-030U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm 30 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 40 μm 40 μm ±20% 3 0.3 nm 0.7nm typ. 最小移动步长 4 1 nm 1 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 50 N 50 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 2200 Hz 2200 Hz ±20% 运动方向刚度 20 N/μm 20 N/μm ±20% 50N / 20N 50N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 50 x 50 mm 50 x 50 mm - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 100 ×100 ×20 mm 100 ×100 ×20 mm - 重量 7 600 g 600 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK1H100-030U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 78 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK1L60-080U 紧凑型、X 轴方向运动产品描述产品特性显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间 — X 位移：80μm（闭环）（例如，用于光线通过），PK1L60-080U 压电扫描台（带 — 中孔尺寸：Φ25mm 有 25mm 的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在 X 运动轴 — 柔性铰链确保高可靠性上的运动可达 80µm（闭环），并且由于柔性机械设计而 — 纳米和亚纳米范围内的高分辨率实现了无间隙的平行运动。选配功能可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，并且 PK1L60-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PK1L60-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 Z、XZ、XY、XYZ 轴版本 PK1L60-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统应用领域的各种应用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。 — 光纤定位 — 镜头聚焦 — 掩模、晶圆定位 — 干涉法测量技术 — 纳米操纵透射光学对准结构原理 79 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK1L60-080U 系列技术参数规格型号 1 PK1L60-080U PK1L60-080U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 80 μm 80 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 110 μm 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 240 Hz 240 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø25 mm Ø25 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 60×60×24 mm 60×60×24 mm - 重量 7 220 g 220 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK1L60-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 80 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK1L70-080U 高速响应、高动态应用产品描述产品特性此产品为 PK1L60-080U 升级产品，具有起相同的功 — X 位移：80μm（闭环）能。显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心孔（例 — 中孔尺寸：Φ35mm 如，用于光线通过），PK1L70-080U 压电扫描台（带有 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能 35mm 的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经 — 柔性铰链确保高可靠性过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在 X 运动轴上 — 纳米和亚纳米范围内的高分辨率的运动可达 80µm（闭环），并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。选配功能 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 PK1L70-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系统结合使用。 — 可选择 Z、XZ、XY、XYZ 轴版本可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，并且 PK1L70-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PK1L70-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统的各种应用。应用领域本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。 — 光纤定位 — 镜头聚焦 — 掩模、晶圆定位 — 干涉法测量技术 — 纳米操纵透射光学对准结构原理 81 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK1L70-080U 系列技术参数规格型号 1 PK1L70-080U PK1L70-080U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 80 μm 80 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 110 μm 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 240 Hz 240 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 70 × 70 × 24 mm 70 × 70 × 24 mm - 重量 7 150 g 150 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK1L70-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 82 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK1L80-080U 高速响应、高动态应用产品描述产品特性显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的方形中心孔 — X 位移：80μm（闭环）径，PK1L80-080U 压电扫描台（带有 45x45mm 的中心 — 中孔尺寸：45x45mm 孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经过机械预加载。 — 高度紧凑的设计带来卓越的性能独特的产品设计非常紧凑，在 X 运动轴上的运动可达 80µm — 柔性铰链确保高可靠性（闭环），并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行 — 纳米和亚纳米范围内的高分辨率运动。选配功能可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，并且 PK1L80-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PK1L80-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 Z、XZ、XY、XYZ 轴版本 PK1L80-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统应用领域的各种应用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。结构原理 83 PK 堆叠形式 021-54668263 — 超分辨率（SR）显微镜 — 高分辨率探头扫描 — 荧光扫描成像 — 光学对准和反射镜定位 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK1L80-080U 系列技术参数规格型号 1 PK1L80-080U PK1L80-080U-S 公差 8 - 运动轴 X X 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 80 μm 80 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 110 μm 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 8N 8N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 240 Hz 240 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 45 × 45 mm 45 × 45 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 80 × 80 × 24 mm 80 × 80 × 24 mm - 重量 7 240 g 240 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK1L80-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 84 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK1L100-200U/300U 35mm 中心孔径、超薄型重载型设计产品描述产品特性 PK1L100-200U/300U 紧凑型线性纳米定位台，沿 X — X 位移：200μm/300μm（闭环）方向可提供 200μm/300U 行程的运动。其紧凑的设计使其 — 中孔尺寸：Φ35mm 成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。其中 — 超薄型并联结构设计 PK1L100-300U 具有更高的动态特性。压电纳米台内部使 — 柔性铰链确保高可靠性用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统 — 更佳的响应时间具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电纳米台内置精密位移传感器进行全闭选配功能环的位置反馈，确保了压电纳米台具有极佳的运动控制精 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 PK1L100-300U 它提供了高达 300μm 的定位和扫描 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系范围。两个 X 轴可堆叠为 XY 配置。由于 FEA 的优化这款 — 可选择 XY 轴版本度，定位精度、分辨率和稳定性。平台提供了最高的动态性能和出色的导向精度。即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。本应用领域系列系列专为半导体，激光和光学以及测试与测量领域中的纳米定位任务而设计我们压电平台优化了出色的温度补偿特性。固态挠性铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械间隙和摩擦力，我们所有压电平台和纳米定位器均具有这一功能。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵曝光设备的光掩模基板对准紫外线压电扫描台被感光基板在 XY 中空平台上安装掩膜，在控制掩膜的同时，通过曝光转印成所希望的图案。结构原理 85 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK1L100-200U/ 300U 系列技术参数规格型号 1 PK1L100-200U-S 运动轴 PK1L100-300U-S 公差 8 - X X SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm 300 μm（±150μm） ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）集成传感器 280 μm 370 μm（±185μm） ±20% 3 3.0 nm 6.0 nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 10 nm typ. 分辨率线性误差重复定位精度（全行程）角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 0.1% 0.05% typ. 0.02% 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 20 N 35 N Max. 500 Hz 600 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 60N / 20N 150N / 150N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 100 × 100 × 15 mm 100 × 100 × 15 mm - 重量 7 210 g 220 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK1L100-200U/ 300U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 86 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK1L130-050U/100U 可定制中心孔径、并联结构重载型设计产品描述产品特性 PK1L130-050U/100U 产品利用精密并联运动设计。 — X 位移：50μm/100μm（闭环）及压电位移台采用平行运动学的弯曲和计量设计，可确保 — 中孔尺寸：定制型最高水平的多轴精度，并通过经 FEA 优化的精密弯曲来确 — 承载能力：2Kg 保高刚度和较长的设备寿命，PK1L130-050U/100U 位移 — 高刚度和动态特性台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实 — 高精度，无摩擦的柔性导向现高精度和快速的闭环响应。选配功能本产品具有亚纳米性能。PK1L130-050U/100U 压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于 0.02％的精度和重复性。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XY 轴版本 PK1L130-050U/100U 压电平台可直接安装到英制或公制面包板光学平台上，也可提供定制工装转接件选项；压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。应用领域异形孔版本 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵高分辨显微镜系统压电扫描台采用压电陶瓷扫描台在全范围正交移动时，可实现精确的样品纳米级扫描。结构原理 87 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK1L130-050U/ 100U 系列技术参数规格型号 1 PK1L130-050U-S 运动轴 PK1L130-100U-S 公差 8 - X X SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 50 μm 100 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 65 μm 130 μm ±20% 集成传感器 3 1.0 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 2.0 nm 3.5 nm typ. 线性误差 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 20 N 20 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 680 Hz 630 Hz ±20% 运动方向刚度 3 N/μm 3 N/μm ±20% 150N / 15N 150N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø30 mm（标准型、可定制） Ø30 mm（标准型、可定制） - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 130 × 130 × 30 mm 130 × 130 ×30 mm - 重量 7 900 g 900 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK1L130-050U/ 100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 88 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK1L130-050U/100U 定制超薄型设计、可放置样品培养皿产品描述产品特性 PK1L130-050U/100U 为定制型产品，专为有空间限 — X 位移：50μm/100μm（闭环）制应用而设计的，超薄的尺寸便于安装在显微镜下，可与 — 中孔尺寸：45x45mm 电动平台进行配合使用，移动面设计为可以放置样品的培 — 承载能力：1Kg 养皿，便于用户操作产品。 — 高刚度和高动态特性 — 高精度，无摩擦的柔性导向利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK1L130-050U/100U 位移选配功能台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度本产品具有亚纳米性能。PK1L130-050U/100U 压电 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特 — 可选择 XY 轴版本现高精度和快速的闭环响应。的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚应用领域纳米分辨率，线性误差低于 0.02％的精度和重复性。 PK1L130-050U/100U 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。结构原理 89 PK 堆叠形式 021-54668263 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK1L130-050U/ 100U 系列技术参数规格型号 1 PK1L130-050U-S（定制）运动轴 PK1L130-100U-S（定制）公差 8 - X X SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 50 μm 100 μm ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 65 μm 130 μm ±20% 集成传感器 3 1.0 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 2.0 nm 3.5 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 10 N 10 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 550 Hz 500 Hz ±20% 运动方向刚度 1 N/μm 1 N/μm ±20% 150N / 15N 150N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 45 x 45 mm 45 x 45 mm - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 130 × 130 × 18 mm 130 × 130 × 18 mm - 重量 7 630 g 640 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK1L130-050U/ 100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 90 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKVL60-080U~240U 圆形孔设计、体积小巧紧凑、低外形设计产品描述产品特性 PKVL60-080U/160U/240U 为定制型产品，专为有空 — Z 位移：80μm/160μm/240μm（闭环）间限制应用而设计的，超紧凑尺寸、超低外形结构，便于 — 中孔尺寸：Ø25mm 安装集成在设备中。多种规格产品行程便于用户在不同应 — 最大承载能力：800g 用场合进行选择对应产品。 — 平行运动机械结构设计 — 高精度柔性导向系统压电扫描台移动面可放置物镜进行Z 轴物镜聚焦操作，可提高图像分辨率。移动面可以预定制多种安装接口尺寸，选配功能方便各种转接工装的集成。 — 可定制转接装置及中心孔径大小，可定制内螺纹孔径接口显微镜中的探头对准通常需要一个开放的中心空间 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度（例如，用于通过光），针对此类应用开发了该系列扫描 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系台，该平台具有 25 mm 的中心孔。该压电系统非常适合 — 可选择 XZ/XY/XYZ 轴版本（仅 80μm）于动态应用，可以使用集成的位置传感测量系统来克服光应用领域刻的影响。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 PKVL60-080U/160U/240U 压电陶瓷扫描台可选择 — 干涉测量、测量技术位置反馈闭环控制的版本，闭环版本品无迟滞和蠕变特性 — 显微操纵压电扫描台可轻松与其他机械定位系统结合使用，非常适合从光学研究到 OEM 系统的各种应用。具有更高的位置线性精度和重复定位精度。结构原理 91 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKVL60-080U/ 160U/240U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PKVL60-080U-S PKVL60-160U-S PKVL60-240U-S 公差 8 - Z Z Z SGS SGS SGS - 80 μm 160 μm 240 μm ±10% 110 μm 220 μm 320 μm ±20% 3 1.5 nm 3.0 nm 4.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 6.0 nm 8.0 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad 10 μrad typ. 8N 6N 4N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 220 Hz 160 Hz 110 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.2 N/μm 0.1 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø25 mm Ø25 mm Ø25 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 60 × 60 × 24 mm 60 × 60 × 24 mm 60 × 60 × 24 mm - 重量 7 150 g 200 g 250 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKVL60-080U/ 160U/240U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 92 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKVL70-080U~240U Ø35mm 中孔设计、低外形版本产品描述产品特性 PKVL70-080U/160U/240U 为定制型产品，专为有空 — Z 位移：80μm/160μm/240μm（闭环）间限制应用而设计的，超紧凑尺寸、超低外形结构，便于 — 中孔尺寸：Ø35mm 安装集成在设备中。多种规格产品行程便于用户在不同应 — 最大承载能力：800g 用场合进行选择对应产品。 — 紧凑型设计 — 高精度柔性导向压电扫描台移动面可放置物镜进行Z 轴物镜聚焦操作，可提高图像分辨率。移动面可以预定制多种安装接口尺寸，选配功能方便各种转接工装的集成。 — 可定制转接装置及中心孔径大小显微镜中的探头对准通常需要一个开放的中心空间 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度（例如，用于通过光），针对此类应用开发了该系列扫描 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系台，该平台具有 35 mm 的中心孔。该压电系统非常适合 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm）于动态应用，可以使用集成的位置传感测量系统来克服光应用领域刻的影响。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 PKVL70-080U/160U/240U 压电陶瓷扫描台可选择 — 干涉测量、测量技术位置反馈闭环控制的版本，闭环版本品无迟滞和蠕变特性 — 显微操纵压电扫描台可轻松与其他机械定位系统结合使用，非常适合从光学研究到 OEM 系统的各种应用。具有更高的位置线性精度和重复定位精度。结构原理 93 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKVL70-080U/ 160U/240U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PKVL70-080U-S PKVL70-160U-S PKVL70-240U-S 公差 8 - Z Z Z SGS SGS SGS - 80 μm 160 μm 240 μm ±10% 110 μm 220 μm 320 μm ±20% 3 1.5 nm 3.0 nm 4.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 6.0 nm 8.0 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad 10 μrad typ. 8N 6N 4N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 220 Hz 160 Hz 110 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.2 N/μm 0.1 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 70 × 70 × 24 mm 70 × 70 × 24 mm 70 × 70 × 24 mm - 重量 7 180 g 230 g 280 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKVL70-080U/ 160U/240U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 94 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKVL80-080U~240U 方形孔设计、超薄型设计、可放置样品培养皿产品描述产品特性 PKVL80-080U/160U/240U 为定制型产品，专为有空 — Z 位移：80μm/160μm/240μm（闭环）间限制应用而设计的，超紧凑尺寸、超低外形结构，便于 — 中孔尺寸：45x45mm 安装集成在设备中。多种规格产品行程便于用户在不同应 — 最大承载能力：800g 用场合进行选择对应产品。 — 紧凑型平行运动机械结构设计 — 高精度柔性铰链导向压电扫描台移动面可放置载玻片/样品，与倒置/正立显微镜配合使用，进行 Z 轴样本扫描定位操作，可提高图选配功能像分辨率。因移动面设计为大中空型，便于物镜转换器的可调换空间，及可方便各种转接工装的集成。压电扫描台可轻松与其他机械定位系统结合使用，非常适合从光学研究到 OEM 系统的各种应用。 PKVL80-080U/160U/240U 压电陶瓷扫描台可选择位置反馈闭环控制的版本，闭环版本品无迟滞和蠕变特性 95 PK 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm）应用领域具有更高的位置线性精度和重复定位精度。结构原理 — 堆叠形式 021-54668263 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKVL80-080U/ 160U/240U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PKVL80-080U-S PKVL80-160U-S PKVL80-240U-S 公差 8 - Z Z Z SGS SGS SGS - 80 μm 160 μm 240 μm ±10% 110 μm 220 μm 320 μm ±20% 3 1.5 nm 3.0 nm 4.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 6.0 nm 8.0 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad 10 μrad typ. 8N 6N 4N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 210 Hz 150 Hz 100 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.2 N/μm 0.1 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm 45 × 45 mm 45 × 45 mm 45 × 45 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 80 × 80 × 24 mm 80 × 80 × 24 mm 80 × 80 × 24 mm - 重量 7 240 g 290 g 340 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKVL80-080U/ 160U/240U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 96 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKVL80-200U/400U 定制型、移动面为沉入式设计产品描述产品特性 PKVL80-200U/400U 为定制型产品，位移行程设计为 — Z 位移：200μm/400μm（闭环） 200~400μm，移动面为中空型设计，扫描台的中空尺寸为 — 中孔尺寸：25x25mm 25x25mm 是光及机械微操做微纳等领域应用的理想选 — 最大承载能力：500g 择。 — 紧凑型设计 — 高精度柔性铰链导向扫描台内部采用超柔性机械铰链设计，因为柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性选配功能可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度这可以防潮，避免漏电流增大造成故障，它们被证明可实 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系现无故障运行 1000 亿个循环。 — 可选择 200/400μm 位移行程版本分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。扫描台采用（PZT）压电陶瓷作为驱动元件，压电陶瓷为树脂绝缘， PKVL80-200U/400U 压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设应用领域计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于 0.02％的精度和重复性。 PKVL80-200U/400U 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材 — 激光通信技术 — 红外扫描技术 — 晶圆定位 — 干涉测量 — 显微操纵料（钛、钢、铝）和真空制备版本。结构原理 97 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKVL80-200U/400U 系列技术参数规格型号 1 PKVL80-400U-S 运动轴 PKVL80-400U-S 公差 8 - Z Z SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm 400 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V）集成传感器 240 μm 460 μm ±20% 3 3.5 nm 7.0 nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 14 nm typ. 线性误差 0.02% 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） 0.02% 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 350 Hz 300 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 5N 30N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 25 × 25 mm 25 × 25 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 80 × 80 × 25mm 80 × 80 × 25mm - 重量 7 210 g 250 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKVL80-200U/400U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 98 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKVL150-080U 低外形、大行方形孔设计产品描述产品特性 PKVL150-080U 为超薄型大孔径利用精密并联运动设 — Z 位移：80μm（闭环）计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿 — 中孔尺寸：100x100mm 命。 — 最大承载能力：1Kg — 紧凑型设计 — 高精度柔性导向 PKVL150-080U 扫描台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。低外形设计用于实现设备间的简易集成。并联运动实选配功能现更快的响应时间和更高的多轴精度。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度通孔尺寸为 100x100mm 可与显微镜电动平台组合实 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系现更长行程，进行紧密操作。压电扫描台的移动面可安装 — 可选择θxθy 轴版本光学镜面，进行移相计量干涉操作。 PKVL150-080U 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真 — 扫描显微镜空制备版本。 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵结构原理 99 应用领域 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKVL150-080U 系列技术参数规格型号 1 PKVL150-080U PKVL150-080U-S 公差 8 - 运动轴 Z Z 集成传感器 - SGS - 80 μm 80 μm ±10% 标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） 110 μm 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 分辨率线性误差 - 0.1% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 10 N 10 N Max. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 300 Hz 300 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 60N / 20N 60N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 100 ×100 mm 100 ×100 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 100×100×26.5 mm 100×100×26.5 mm - 重量 7 700 g 700 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKVL150-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 100 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKVL150-100U~300U 重载型、方形中孔设计产品描述产品特性 PKVL150-100U/300U 可与电动平台进行配合使用，移动面设计为可以放置样品的培养皿，便于用户操作产品。利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PKVL150-100U/300U 扫描台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实 Z 位移：80μm（闭环） — 中孔尺寸：66x66mm — 最大承载能力：5Kg — 并联结构设计可进行高动态应用 — 高精度平行柔性导向选配功能现更高精度和更快速的闭环响应。本产品具有亚纳米性能。PKVL150-100U/300U 压电 — 可定制转接装置及中心孔径大小纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系纳米分辨率及更高的精度特性。 — 可选择θxθy 轴版本 PKVL150-100U/300U 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材应用领域料和真空制备版本。结构原理 101 — PK 堆叠形式 021-54668263 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKVL150-100U/200U/300U 系列技术参数规格型号 1 运动轴 PKVL150-100U-S PKVL150-200U-S PKVL150-300U-S 公差 8 - Z Z Z SGS SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 100 μm 200 μm 300 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V）集成传感器 130 μm 240 μm 350 μm ±20% 3 1.5 nm 3.5 nm 5.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.5 nm 7.0 nm 10 nm typ. 线性误差 0.10% 0.15% 0.20% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% 0.05% typ. 20 μrad 20 μrad 20 μrad typ. 50 N 50 N 50 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 320 Hz 280 Hz 250 Hz ±20% 运动方向刚度 2 N/μm 1.5 N/μm 1.0 N/μm ±20% 60N / 20N 60N / 20N 60N / 20N ±20% PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm 66 × 66 mm 66 × 66 mm 66 × 66 mm - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 150×150×30 mm 150×150×30 mm 150×150×30 mm - 重量 7 1100 g 1150 g 1200 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKVL150-100U/200U/300U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 102 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2H70-012U 超高速、红外扫描专用设计产品描述产品特性 PK2H70-012U 为微扫描红外成像超分辨重建专用型 — XY 位移：12μm（闭环）产品。微扫描技术包括不同的模式，拍摄同一场景的多张 — 中孔尺寸：Ø28mm 图像，同时每次将图像在检测器平面上移位等于检测器间 — 最大承载能力：1Kg 距的一小部分的距离，然后将场景的采样帧用于形成单个 — 紧凑型设计高分辨率帧。压电位移台 PK2L70-012U-S 使焦平面阵列 — 直接驱动具有更高的动态特性中的聚焦透镜沿 X 轴和 Y 轴移动本系列产品具有超紧凑、超高动态、超高精度等特性，是超高分辨客户应用的理想选配功能选则。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度保高刚度和较长的设备寿命，PK1L130-050U/100U 位移 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实 — 可定制其他行程版本利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确现高精度和快速的闭环响应。本产品具有亚纳米性能。PK2H70-012U 压电纳米台应用领域均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于 0.02％的精度和重复性。 PK2H70-012U 压电平台可定制转接板与面包板光学 — 红外微扫描成像 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵平台上进行固定。压电平台可根据要求提供钛金属材料，具有更高的温度稳定性和定制真空制备版本。基于平移透镜微扫描原理结构原理 103 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2H70-012U 系列技术参数规格型号 1 PK2H70-012U PK2H70-012U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 12 μm × 12 μm 12 μm × 12 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 18 μm × 18 μm 18 μm × 18 μm ±20% 运动轴集成传感器 3 0.1 nm 0.2 nm typ. 最小移动步长 4 0.4 nm 0.4 nm typ. 线性误差 - 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 10 N 10 N Max. （XY）1300 Hz （XY）1300 Hz ±20% 25 N/μm 25 N/μm ±20% 400N / 80N 400N / 80N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø28 mm Ø28 mm - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 70 ×70 ×25 mm 70 ×70 ×25 mm - 重量 7 250 g 250 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2H70-012U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 104 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L70-020U 超薄型并联结构设计产品描述产品特性 PK2L70-020U 为微扫描红外成像超分辨重建专用型产品。 PK2L70-020U 利用精密并联机械运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，中间设计中空孔径可放置 CCD 相机，PK2L70-020U 扫描位移台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现 — XY 位移：8μm（闭环） — 中孔尺寸：100x100mm — 最大承载能力：1Kg — 超低外形设计 — 并联结构具有高动态性能选配功能高精度和快速的闭环响应。 — 可定制转接装置及中心孔径大小例.显微扫描是高分辨率红外成像领域的一项关键技 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度术，它可以提高系统分辨率并改善成像系统的性能，该技 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系术要求可重复性和响应时间短。微扫描，抖动或像素移位 — 可定制其他行程版本是一种通过移动聚焦透镜或通过探测器在 x 轴方向和 y 轴方向移动1/N 个像素，从而增加探测器（CCD，CMOS FPA，等...）的实际分辨率。客户用远低于购买一个 2 倍分辨率应用领域探测器的价格，实现了现有探测器分辨率的提高。 — 红外微扫描成像技术用于提高图像分辨率 — 像素移位技术用于增强图像分辨率 — 高频震动术用于增强图像高分辨率 — 光学稳像技术用于目标精确定位&较好的质量 — 自动对焦用于图像焦点的持续修正基于镜头的微扫描系统压电扫描台使焦平面阵列中的聚焦透镜沿 X 和 Y 轴移动结构原理 105 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L70-020U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PK2L70-020U PK2L70-020U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 8 μm × 8 μm（±4μm） 8 μm × 8 μm（±4μm） ±10% 10 μm × 10 μm（±5μm） 10 μm × 10 μm（±5μm） ±20% 3 0.1 nm 0.2 nm typ. 最小移动步长 4 0.3 nm 0.3 nm typ. 线性误差 - 0.3% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.1% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 10 N 10 N Max. （XY）2000Hz （XY）2000Hz ±20% 2 N/μm 2 N/μm ±20% 40N / 40N 40N / 40N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Φ26 mm Φ26 mm - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 70 ×70 × 16 mm 70 ×70 × 16 mm - 重量 7 180 g 180 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质钢、铝钢、铝 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L70-020U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 106 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2H100-030U 超高动态扫描系统产品描述产品特性 PK2H100-030U 压电扫描台采用压电陶瓷直接驱动 — XY 位移：30μm（闭环）并联机械运动结构设计，具有超高动态扫描运动及超高精 — 方形中孔尺寸：50x50mm 度的重复运动轨迹，特别适用于表面分析和扫描显微镜。 — 超高刚度，最大承载能力：5Kg — 超高柔性并联结构设计 — 直接驱动结构，具有超高动态特性利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK2H100-030U 扫描位移台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现选配功能高精度和快速的闭环响应。在并联多轴系统中，所有压电陶瓷作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动 PK2H100-030U 压电扫描台均可提供闭环反馈（-S） — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制中心孔径大小或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于 0.02％的精度和重复性。应用领域 PK2H100-030U 压电扫描台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电扫描台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。结构原理 107 PK 堆叠形式 021-54668263 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2H100-030U 系列技术参数规格型号 1 PK2H100-030U PK2H100-030U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm × 30 μm 30 μm × 30 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V）运动轴集成传感器 40 μm × 40 μm 40 μm × 40 μm ±20% 3 0.3 nm 0.7nm typ. 最小移动步长 4 1 nm 1 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 50 N 50 N Max. （XY）2200 Hz （XY）2200 Hz ±20% 20 N/μm 20 N/μm ±20% 50N / 20N 50N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 50 x 50 mm 50 x 50 mm - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 100 ×100 ×20 mm 100 ×100 ×20 mm - 重量 7 600 g 600 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2H100-030U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 108 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L60-040U/±040U 定制型、超薄型设计、可放置样品培养皿产品描述产品特性 PK2L60-040U/±040U 为微扫描红外成像超分辨重建 — XY 位移：±40μm（闭环）专用型产品。其中 PK2L60-±040U 采用推拉双向驱动机制 — 中孔尺寸：Ø20mm 设计，与 PK2L60-040U 相比具有更高的动态特性和稳定 — 最大承载能力：1.5Kg 性能。 — 并联推拉双向驱动机制 — 高精度柔性铰链导向 PK2L60-040U/±040U 利用精密并联机械运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，选配功能中间设计中空孔径可放置 CCD 相机，PK2L60-040U/ ± 040U 扫描位移台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。例.显微扫描是高分辨率红外成像领域的一项关键技 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制其他行程版本术，它可以提高系统分辨率并改善成像系统的性能，该技术要求可重复性和响应时间短。微扫描，抖动或像素移位是一种通过移动聚焦透镜或通过探测器在 x 轴方向和 y 轴应用领域方向移动1/N 个像素，从而增加探测器（CCD，CMOS FPA，等...）的实际分辨率。客户用远低于购买一个 2 倍分辨率探测器的价格，实现了现有探测器分辨率的提高。 — 红外微扫描成像技术 — 像素移位技术 — 频震动术 — 光学稳像技术 — 自动对焦技术基于镜头的微扫描系统压电扫描台使焦平面阵列中的聚焦透镜沿 X 和 Y 轴移动结构原理 109 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L60-040U/±040U 系列技术参数规格型号 1 PK2L60-040U-S PK2L60-±040U-S 公差 8 运动轴 X、Y X、Y - 集成传感器 SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 40 μm × 40 μm ±40 μm × ±40 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 50 μm × 50 μm ±50 μm × ±50 μm ±20% 3 0.5 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 1.5 nm 3.0 nm typ. 线性误差 0.2% 0.2% typ. 重复定位精度（全行程） 0.2% 0.2% typ. 20 μrad 20 μrad typ. 15 N 15 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XY）530 Hz （XY）600 Hz ±20% 运动方向刚度 0.5 N/μm 0.5 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 30N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø20 mm Ø20 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 60 × 60 × 20 mm 60 × 60 × 20 mm - 重量 7 200 g 200 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L60-040U/±040U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 110 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L60-080U XY 轴、Ø25mm 中孔、超薄型设计产品描述产品特性显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间 — XY 位移：80μm（闭环）（例如，用于光线通过），PK2L60-080U 压电扫描台（带 — 中孔尺寸：Ø25mm 有 25mm 的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都 — 最大承载能力：0.7Kg 经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在 XY 运动轴 — 紧凑型低外形设计上的运动均可达 80µm（闭环）行程，并且由于柔性机械 — 高精度柔性导向设计而实现了无间隙的平行运动。选配功能可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，并且 PK2L60-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PK2L60-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XYZ 轴版本（80x80x80μm） PK2L60-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统应用领域的各种应用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵动态扫描通过向 XY 轴位移台的每个轴输入相位差为 90°的正弦波并对其进行操作，也可以实现平滑的电弧驱动。通过根据频率，幅度和负载优化 PID 增益调整，可以执行平稳的操作。结构原理 111 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L60-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PK2L60-080U PK2L60-080U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm ±20% 3 1.5 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 7N 7N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XY）200 Hz、230 Hz （XY）200 Hz、230 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 25N / 10N 25N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø25 mm Ø25 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 60 × 60 × 24 mm 60 × 60 × 24 mm - 重量 7 200 g 200 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L60-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 112 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L70-080U XY 轴、Ø35mm 中孔、超薄型设计产品描述产品特性显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间 — XY 位移：80μm（闭环）（例如，用于光线通过），PK2L70-080U 压电扫描台（带 — 中孔尺寸：Ø35mm 有 25mm 的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都 — 最大承载能力：0.6Kg 经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在 XY 运动轴 — 低外形紧凑型设计上的运动均可达 80µm（闭环）行程，并且由于柔性机械 — 高精度柔性铰链导向设计而实现了无间隙的平行运动。选配功能可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，并且 PK2L70-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PK2L70-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm） PK2L70-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统应用领域的各种应用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵动态扫描通过向 XY 轴位移台的每个轴输入相位差为 90°的正弦波并对其进行操作，也可以实现平滑的电弧驱动。通过根据频率，幅度和负载优化 PID 增益调整，可以执行平稳的操作。结构原理 113 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L70-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PK2L70-080U PK2L70-080U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 6N 6N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XY）190 Hz、220 Hz （XY）190 Hz、220 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 70 × 70 × 24 mm 70 × 70 × 24 mm - 重量 7 220 g 220 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L70-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 114 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L80-080U 方形孔超薄型设计产品描述产品特性显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的方形中心孔 — XY 位移：80μm（闭环）径，PK2L80-080U 压电扫描台（带有 45x45mm 的中心 — 方形中孔尺寸：45x45mm 孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经过机械预加载。 — 最大承载能力：0.6Kg 独特的产品设计非常紧凑，在 XY 运动轴上的运动可达 — 紧凑型设计 80µm（闭环），并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的 — 高精度柔性导向平行运动。选配功能可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，并且 PK2L80-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PK2L80-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm） PK2L80-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统应用领域的各种应用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。结构原理 115 PK 堆叠形式 021-54668263 — 纳米压印技术 — 共聚焦显微/扫描显微 — 掩模、晶圆定位 — 表面测量技术 — 图像处理与稳定典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L80-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PK2L80-080U PK2L80-080U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 6N 6N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XY）180 Hz、210 Hz （XY）180 Hz、210 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 45 × 45 mm 45 × 45 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 80 × 80 × 24 mm 80 × 80 × 24 mm - 重量 7 270 g 270 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L80-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 116 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L80-200U 大行程扫描范围产品描述产品特性 PK2L80-200U 采用柔性机械设计而实现了无间隙的 — 平行运动,适用于高运动平面度和直线度的纳米定位领域。 PK2L80-200U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统及科研和工业中的样本操作和定位，也适用于透射光应用。可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，PK2L80-200U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位 XY 位移：200μm（闭环） — 中孔尺寸：Ø35mm — 最大承载能力：0.5Kg — 紧凑型大位移设计 — 高精度柔性导向选配功能系统结合使用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm）应用领域 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵曝光设备的光掩模基板对准紫外线 XY 压电扫描台被感光基板在 XY 中空平台上安装掩膜，在控制掩膜的同时，通过曝光转印成所希望的图案。结构原理 117 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L80-200U 系列技术参数规格型号 1 PK2L80-200U PK2L80-200U-S 公差 8 X、Y X、Y - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm x 200 μm 200 μm x 200 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 240 μm x 240 μm 240 μm x 240 μm ±20% 运动轴集成传感器 3 1.8 nm 4.0nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 7.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XY）150 Hz、200 Hz （XY）150 Hz、200 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 5N 30N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 80 × 80 × 29 mm 80 × 80 × 29 mm - 重量 7 300 g 300 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L80-200U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 118 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L130-050U/100U 大承载、高动态扫描、并联结构设计产品描述产品特性 PK2L130-050U/100U 为高动态扫描产品，专为大承 — XY 位移：50μm/100μm（闭环）载动态应用设计的，外形设计坚固，对外界冲击震动不敏 — 中孔尺寸：标准孔径为Ø30mm，可定制感，紧凑的尺寸便于安装在显微镜下，可与电动微米平台 — 最大承载能力：2Kg 进行配合使用，移动面设计为可以放置样品和安装 CCD 相 — 并联结构、紧凑型设计机，便于用户微纳操作。 — 高动态、高精度柔性导向利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确选配功能保高刚度和较长的设备寿命，PK2L130-050U/100U 位移台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。本产品具有亚纳米性能。PK2L130-050U/100U 压电 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制中心孔径大小纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于 0.02％的精度和重复性。应用领域 PK2L130-050U/100U 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。 — 扫描探针显微镜 — 超分辨率显微镜 — 高吞吐量显微镜 — 共聚焦显微镜 — 筛选、生物技术 — AFM 技术结构原理 119 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L130-050U/100U 系列技术参数规格型号 1 PK2L130-050U-S PK2L130-100U-S 公差 8 运动轴 X、Y X、Y - 集成传感器 SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 50 μm x 50 μm 100 μm x 100 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 65 μm x 65 μm 130 μm x 130 μm ±20% 3 1.0 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 2.0 nm 3.5 nm typ. 线性误差 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 20 N 20 N Max. （XY）680 Hz （XY）630 Hz ±20% 3 N/μm 3 N/μm ±20% 150N / 15N 150N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø30 mm（标准型、可定制） Ø30 mm（标准型、可定制） - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 130 × 130 × 30 mm 130 × 130 ×30 mm - 重量 7 900 g 900 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L130-050U/100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 120 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L130-050U/100U 超薄型设计、可放置样品培养皿产品描述产品特性 PK2L130-050U/100U 为定制型产品，专为有空间限 — XY 位移：50μm/100μm（闭环）制应用而设计的，超薄的尺寸便于安装在显微镜下，可与 — 中孔尺寸：45x45mm 电动位移平台进行配合使用，移动面设计为可以放置样品 — 最大承载能力：1Kg 的培养皿，便于用户操作产品。 — 并联结构、低外形设计 — 高动态、高精度柔性导向利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK2L130-050U/100U 位移选配功能台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实 — 可定制转接装置、负载安装工装等 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度本产品具有亚纳米性能。PK2L130-050U/100U 压电 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特 — 可定制中心孔径大小现高精度和快速的闭环响应。的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚应用领域纳米分辨率级更高的线性精度和重复性。 PK2L130-050U/100U 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵干涉测量和光学相干断层扫描结构原理 121 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L130-050U/100U 系列技术参数规格型号 1 PK2L130-050U-S（定制） PK2L130-100U-S（定制）公差 8 运动轴 X、Y X、Y - 集成传感器 SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 50 μm x 50 μm 100 μm x 100 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 65 μm x 65 μm 130 μm x 130 μm ±20% 3 1.0 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 2.0 nm 3.5 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 10 N 10 N Max. （XY）550 Hz （XY）500 Hz ±20% 1 N/μm 1 N/μm ±20% 150N / 15N 150N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 45 x 45 mm 45 x 45 mm - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 130 × 130 × 18 mm 130 × 130 × 18 mm - 重量 7 630 g 640 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L130-050U/100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 122 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L100-200U/300U 重载型、带通光孔径、XY 串联结构运动产品描述产品特性 PK2L100-200U/300U 紧凑型线性纳米定位台，沿 XY — XY 位移：200μm/300μm（闭环）方向可提供 200μm/300U 行程的运动。其紧凑的设计使其 — 中孔尺寸：Ø35mm 成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。其中 — 最大承载能力：3.5Kg PK2L100-300U 具有更高的动态特性。压电纳米台内部使 — 紧凑型设计用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统 — 高精度柔性导向具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电纳米台内置精密位移传感器进行全闭选配功能环的位置反馈，确保了压电纳米台具有极佳的运动控制精 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 PK2L100-300U 它提供了高达 300μm 的定位和扫描 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系范围。两个 X 轴可堆叠为 XY 配置。由于 FEA 的优化这款 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm）度，定位精度、分辨率和稳定性。平台提供了最高的动态性能和出色的导向精度。即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。本应用领域系列系列专为半导体，激光和光学以及测试与测量领域中的纳米定位任务而设计我们压电平台优化了出色的温度补偿特性。固态挠性铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械间隙和摩擦力，我们所有压电平台和纳米定位器均具有这一功能。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵显微扫描技术结构原理 123 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L100-200U/300U 系列技术参数规格型号 1 PK2L100-200U-S PK2L100-300U-S 公差 8 运动轴 X、Y X、Y - 集成传感器 SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm x 200 μm 300 μm x 300 μm （±150μm） ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 280 μm x 280 μm 370 μm x 370 μm（±185μm） ±20% 3 3.0 nm 6.0 nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 10 nm typ. 分辨率线性误差 0.1% 0.1% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 20 N 35 N Max. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XY）200 Hz、450 Hz （XY）250 Hz、500 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 60N / 20N 150N / 150N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 100 × 100 × 29.5 mm 100 × 100 × 29.5 mm - 重量 7 350 g 380 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L100-200U/300U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 124 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK2L150-100U 定制型、3D 微纳打印专用型产品描述产品特性 PK2L150-100U 为定制型产品，专为 3D 微纳打印研 — XY 位移 100μm（闭环）发设计的，移动面设计为异形孔，便于安装专用液晶及激 — 中孔尺寸：120x100mm 光器的安装，即使很高的负载重量，也可以进行高动态扫 — 大承载 30N 描及稳定的应用。 — 高动态使用 — 并联结构设计，具有更高的导向精度利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK2L150-100U 位移台可提选配功能供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 PK2L150-100U 压电纳米台均可提供闭环反馈（-S） — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测 — 可选择 XY 轴版本（80μm）度和快速的闭环响应。量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于 0.02％应用领域的精度和重复性。 PK2L150-100U 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。独特的安装内孔设计，便于客户使用球头微分头进行调节倾斜方向，其具有更高的结构稳定性。 — 3D 打印技术 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵 AFM 技术激光器悬臂式探针扫描样品压电扫描台结构原理 125 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK2L150-100U 系列技术参数规格型号 1 PK2L150-100U PK2L150-100U-S 公差 8 运动轴 X、Y X、Y - 集成传感器 SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 100 μm x 100 μm 100 μm x 100 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 130 μm x 130 μm 130 μm x 130 μm ±20% 3 1.0 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.5 nm 3.5 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 30 N 30 N Max. （XY）650 Hz、650 Hz （XY）650 Hz、650 Hz ±20% 3 N/μm 3 N/μm ±20% 150N / 15N 150N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 120 x 60 mm 120 x 60 mm - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 146 × 200 × 30 mm 146 × 200 × 30 mm - 重量 7 1800 g 1800 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK2L150-100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 126 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKWL60-080U 紧凑型设计产品描述产品特性 PKWL60-080U 是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描 — XZ 位移：80μm（闭环）台，显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间（例 — 中孔尺寸：Ø25mm 如，用于光线通过），PKWL60-080U 压电扫描台（带有 — 最大承载能力：0.7Kg 25mm 的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经 — 高度紧凑型设计过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在 XZ 运动轴上 — 高精度柔性铰链结构导向的运动均可达 80µm（闭环）行程，并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设计使其是许多选配功能应用的理想工具，例如：光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，并且 PKWL60-080U 定位系统可以配备电容测量系统， — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm） PKWL60-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨应用领域率高等优点。 PKWL60-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。结构原理 127 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKWL60-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PKWL60-080U PKWL60-080U-S 公差 8 X、Z X、Z - - SGS - 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 7N 7N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XZ）200 Hz、230 Hz （XZ）200 Hz、230 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 25N / 10N 25N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø25 mm Ø25 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 60 × 60 × 24 mm 60 × 60 × 24 mm - 重量 7 200 g 200 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKWL60-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 128 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKWL70-080U 非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用产品描述产品特性 PKWL70-080U 是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描 — XZ 位移：80μm（闭环）台，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑， — 中孔尺寸：Ø35mm 在 XZ 运动轴上的运动均可达 80µm（闭环）行程，并且由 — 最大承载能力：0.6Kg 于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设 — 高度紧凑型设计计使其是许多应用的理想工具，例如：光纤对准、双光子 — 高精度柔性铰链结构导向聚合和激光写入应用等。选配功能可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影响，并且 PKWL70-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PKWL70-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm） PKWL70-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。应用领域本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。结构原理 129 PK 堆叠形式 021-54668263 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKWL70-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PKWL70-080U PKWL70-080U-S 公差 8 X、Z X、Z - - SGS - 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 6N 6N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XZ）190 Hz、220 Hz （XZ）190 Hz、220 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 70 × 70 × 24 mm 70 × 70 × 24 mm - 重量 7 220 g 220 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKWL70-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 130 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PKWL80-080U 非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用产品描述产品特性 PKWL80-080U 是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描 — XZ 位移：80μm（闭环）台，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑， — 中孔尺寸：45x45mm 在 XZ 运动轴上的运动均可达 80µm（闭环）行程，并且由 — 最大承载能力：0.6Kg 于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设 — 高度紧凑型设计计使其是许多应用的理想工具，例如：光纤对准、双光子 — 高精度柔性铰链结构导向聚合和激光写入应用等。选配功能可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度统结合使用。压电扫描台是为了满足超精密定位应用的需 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系求。该平移台采用压电陶瓷驱动，以柔性铰链为导向使其 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm）响，并且 PKWL80-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PKWL80-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系结构紧凑、具有无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。 PKWL80-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系应用领域统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。结构原理 131 PK 堆叠形式 021-54668263 — 光学对准（紫外线，EUV，电子束和 X 射线） — 掩模和晶圆检查系统（包括临界尺寸 CD） — 测量和控制 — 晶圆夹头纳米对准 — 自动对焦典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PKWL70-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PKWL80-080U PKWL80-080U-S 公差 8 X、Z X、Z - - SGS - 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 6N 6N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XZ）190 Hz、220 Hz （XZ）190 Hz、220 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 45 × 45 mm 45 × 45 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 80 × 80 × 24 mm 80 × 80 × 24 mm - 重量 7 280 g 280 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PKWL70-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 132 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L60-080U 具有通光孔的超紧凑型亚纳米闭环扫描台产品描述产品特性 PK3L60-080U 多轴纳米扫描台是基于压电控制的 — XYZ 位移：80μm（闭环） 80um 行程的位移台，可在 XYZ 轴上提供纳米分辨率的运 — 中孔尺寸：Ø25mm 动。它非常适用于小型组件的纳米定位，例如反射镜，光 — 最大承载能力：0.6Kg 纤，激光二极管，微光学器件，传感器或细胞样本。应用 — 紧凑型设计包括光学延迟线，干涉仪的路径长度变化，激光光刻，扫 — 高精度柔性导向描显微镜和膜片钳等。扫描具有高度可靠的多层低压压电（PZT）堆栈，可进行高占空比操作。精密的、有限元优选配功能化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨，位移台无需维护，不易磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞和蠕变的影响，并且 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制中心孔径大小应用领域 PK3L60-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PK3L60-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。PK3L60-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。结构原理 133 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L60-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PK3L60-080U PK3L60-080U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 80 μm x 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 6N 6N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）230 Hz、180 Hz、150 Hz （XYZ）230 Hz、180 Hz、150 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 20N / 5N 20N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø25 mm Ø25 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 60 × 60 × 24 mm 60 × 60 × 24 mm - 重量 7 250 g 250 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L60-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 134 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L70-080U 定制型、超薄型设计、可放置样品培养皿产品描述产品特性 PK3L70-080U 是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描 — XYZ 位移：80μm（闭环）台，显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间（例 — 中孔尺寸：Ø35mm 如，用于光线通过），PK3L70-080U 压电扫描台（带有 — 最大承载能力：0.6Kg 35mm 的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经 — 紧凑型设计过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在 XYZ 运动轴 — 高精度柔性导向上的运动均可达 80µm（闭环）行程，并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设计使其是许选配功能多应用的理想工具，例如：光纤对准、双光子聚合和激光 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞和蠕变 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系的影响，并且 PK3L70-080U 定位系统可以配备电容测量 — 可定制中心孔径大小写入应用等。系统，PK3L70-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位应用领域分辨率高等优点。 PK3L70-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。结构原理 135 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L70-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PK3L70-080U PK3L70-080U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 80 μm x 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 6N 6N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）220 Hz、170 Hz、140 Hz （XYZ）220 Hz、170 Hz、140 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 70 × 70 × 24 mm 70 × 70 × 24 mm - 重量 7 260 g 260 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L70-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 136 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L80-080U 非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用产品描述产品特性 PK3L80-080U 是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描 — XYZ 位移：80μm（闭环）台，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑， — 中孔尺寸：45x45mm 在 XYZ 运动轴上的运动均可达 80µm（闭环）行程，并且 — 最大承载能力：0.6Kg 由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的 — 紧凑型设计设计使其是许多应用的理想工具，例如：光纤对准、双光 — 高精度柔性导向子聚合和激光写入应用等。选配功能可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度统结合使用。压电扫描台是为了满足超精密定位应用的需 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系求。该平移台采用压电陶瓷驱动，以柔性铰链为导向使其 — 可选择中心孔径大小响，并且 PK3L80-080U 定位系统可以配备电容测量系统， PK3L80-080U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系结构紧凑、具有无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。 PK3L80-080U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统应用领域的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。本系列产品种类包括 X、Z、XZ、XY、XYZ 轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。结构原理 137 PK 堆叠形式 021-54668263 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L80-080U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PK3L80-080U PK3L80-080U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 80 μm x 80 μm x 80 μm 80 μm x 80 μm x 80 μm ±10% 110 μm x 110 μm x 110 μm 110 μm x 110 μm x 110 μm ±20% 3 0.7 nm 1.5nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 6N 6N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）240 Hz、190 Hz、150 Hz （XYZ）240 Hz、190 Hz、150 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 5N 30N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 45 x 45 mm 45 x 45 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 80 × 80 × 24mm 80 × 80 × 24mm - 重量 7 300 g 300 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L80-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 138 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L80-200UA/200UB 种类丰富、超紧凑、大位移、大通光孔径产品描述产品特性 PK3L80-200U 拥有三种不同行程运动轴产品，均采用 — XYZ 最大位移：200x200x200μm（闭环）柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动，适用于高运动 — 中孔尺寸：Ø35mm 平面度和直线度的纳米定位及扫描领域。 — 最大承载能力：0.6Kg — 超紧凑型设计 — 平行运动导向结构 PK3L80-200U 系列非常适合从光学研究到 OEM 系统及科研和工业中的样本操作和定位，也适用于透射光应用。可以选择使用集成的 SGS 测量系统来克服迟滞的影选配功能响，PK3L80-200U 压电扫描台可以轻松地与其他机械定位 — 可定制转接装置系统结合使用。 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制中心孔径大小本产品具有亚纳米性能。压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器具有更高的线性度及重复定位精度。应用领域压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。结构原理 139 PK 堆叠形式 021-54668263 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L80-200UA/200UB/200UC 系列技术参数规格型号 1 PK3L80-200UA-S PK3L80-200UB-S PK3L80-200U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z X、Y、Z - SGS SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200μm x 200μm x 30μm 200μm x 200μm x 80μm 200μm x 200μm x 200μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 240μm x 240μm x 40μm 240μm x 240μm x 110μm 240μm x 240μm x 240μm ±20% 运动轴集成传感器 3 （XY）4.0nm、（Z）0.6nm （XY）4.0nm、（Z）2.0nm （XY）4.0nm、（Z）4.0nm typ. 最小移动步长 4 （XY）7.0 nm、（Z）1.0 nm （XY）7.0 nm、（Z）3.0 nm （XY）7.0 nm、（Z）7.0 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.02% 0.02% 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad 10 μrad typ. 6N 6N 5N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）150 Hz、200 Hz、230 Hz （XYZ）140 Hz、180 Hz、210 Hz （XYZ）130 Hz、160 Hz、200 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 10N 30N / 10N 30N / 10N ±20% PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø35 mm Ø35 mm Ø35 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 80 × 80 × 29 mm 80 × 80 × 29 mm 80 × 80 × 29 mm - 重量 7 300 g 330 g 380 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L80-200UA/200UB/200UC 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 140 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L100-200UA 串联叠加设计、40mm 通光孔径产品描述产品特性 PK3L100-200UA 紧凑型线性纳米定位台，沿 XYZ 方 — XYZ 位移：200x200x80μm（闭环）向可提供 200μmx200μmx80μm 行程的运动。压电扫描 — 中孔尺寸：Ø40mm 台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，柔性导向 — 最大承载能力：0.5Kg 系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨 — 叠加结构设计损、免维护等特点，压电纳扫描内置精密位移传感器进行 — 高精度柔性导向全闭环的位置反馈，确保了压电纳米台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性。选配功能 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度精度。即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系实现这一点。具有更高的稳定性能，本系列系列专为半导 — 可定制中心孔径大小 PK3L100-200UA 由两个 X 轴堆叠为 XY 配置。由于 FEA 的优化这款平台提供了最高的动态性能和出色的导向体，激光和光学以及测试与测量领域中的纳米定位任务而应用领域设计我们压电平台优化了出色的温度补偿特性。固态挠性铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械间隙和摩擦力，我们所有压电平台和纳米定位器均具有这一功能。结构原理 141 PK 堆叠形式 021-54668263 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L100-200UA 系列技术参数规格型号 1 PK3L100-200UA PK3L100-200UA-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 200μm x 200μm x 80μm 200μm x 200μm x 80μm ±10% 240μm x 240μm x 110μm 240μm x 240μm x 110μm ±20% 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） 3 （XY）4.0nm、（Z）0.7nm （XY）4.0nm、（Z）2.0nm typ. 最小移动步长 4 （XY）7.0 nm、（Z）3.0 nm （XY）7.0 nm、（Z）3.0 nm typ. 分辨率线性误差 - 0.1% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 5N Max. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）150 Hz、200 Hz、230 Hz （XYZ）150 Hz、200 Hz、230 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 5N 30N / 5N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø40 mm Ø40 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 100 × 100 × 34.5 mm 100 × 100 × 34.5 mm - 重量 7 630 g 630 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L100-200UA 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 142 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L140-100U 定制超薄型设计、可安装物镜产品描述产品特性 PK3L140-100U 为高动态扫描产品，专为大承载动态 — XY 位移：100x100x100μm（闭环）应用设计的，外形设计为超薄型，紧凑的尺寸便于安装在 — 中孔尺寸：RMS 内螺纹（可定制）显微镜下，可与电动微米平台进行配合使用，移动面设计 — 最大承载能力：1Kg 为可以放置样品、CCD 相机、显微物镜等，便于用户微纳 — 并联设计、高度紧凑型设计操作。 — 高精度柔性导向利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确选配功能保高刚度和较长的设备寿命，PK3L140-100U 位移台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。本产品具有亚纳米性能。PK3L140-100U 压电纳米台 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制中心孔径大小均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于 0.02％的精度和重复性。应用领域 PK3L140-100U 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。独特的固定孔位设置，可对外界冲击震动及温度变化不敏感，具有非常高的稳定性能。 — 原子力/扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 二维材料微纳加工技术扫描显微镜示例光传感器探针激光样品结构原理 143 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L140-100U 系列技术参数规格型号 1 PK3L140-100U PK3L140-100U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 100μm x 100μm x 100μm 100μm x 100μm x 100μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V）运动轴集成传感器 130μm x 130μm x 110μm 130μm x 130μm x 110μm ±20% 3 1.0 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.5 nm 3.5 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 10 N 10 N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）600 Hz、600Hz、520 Hz （XYZ）600 Hz、600Hz、520 Hz ±20% 运动方向刚度（XY）3.3 N/μm、（Z）0.5 N/μm （XY）3.3 N/μm、（Z）0.5 N/μm ±20% 100N / 20N 100N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS（可定制） RMS（可定制） - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 140 ×140 ×23.2 mm 140 ×140 ×23.2 mm - 重量 7 1000 g 1000 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L140-100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 144 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L170-100U 定制型、超薄型设计、可放置样品培养皿产品描述产品特性 PK3L170-100U 是一款超薄的压电纳米扫描台，可提 — XYZ 位移：100μm（闭环）供 100μm 行程，由于其超薄的厚度使其可以与各种类型 — 中孔尺寸：60x75mm 的倒置显微镜配合使用。 — 最大承载能力：500g — 超薄紧凑型设计 — 高精度柔性导向 PK3L170-100U 压电陶瓷扫描台的中心拥有一个 60x75mm 的长方形孔径，该尺寸刚好可以把载玻片放置在该平台上，可安装样品夹。三维压电陶瓷扫描台，厚度选配功能只有 28mm，因此十分容易集成到倒置显微镜上。这款压电扫描台均可配合低分辨率的平移台使用形成高精度位移台。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm）利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK3L170-100U 位移台可提供最佳的性能。应用领域 — 倒置/正立扫描显微镜平台因采用压电陶瓷作为驱动元件配置高精度位置传 — 超分辨率显微镜感器，可实现高精度和快速的闭环响应。PK3L170-100U — 掩模、晶圆定位压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）版 — 干涉测量、测量技术本。 — 显微操纵干涉测量结构原理 145 PK 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L170-100U 系列技术参数规格型号 1 PK3L170-100U PK3L170-100U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 100μm x 100μm x 100μm 100μm x 100μm x 100μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V）运动轴集成传感器 130μm x 130μm x 110μm 130μm x 130μm x 110μm ±20% 3 1.0 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.5 nm 3.5 nm typ. 分辨率线性误差 - 0.1% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 5N 5N Max. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）（XYZ）200 Hz、250Hz、280 Hz （XYZ）200 Hz、250Hz、280 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 20N / 8N 20N / 8N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 60 × 75 mm 60 × 75 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 185 × 170 × 28 mm 185 × 170 × 28 mm - 重量 7 1350 g 1350 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L170-100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 146 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L140-100UA/100UB 超薄型设计、超高动态特性产品描述产品特性 PK3L140-100UA/100UB 为高动态扫描产品，专为大 — XYZ 位移 100μmx100μmx15μm（闭环）承载动态应用设计的，外形设计为超薄型，紧凑的尺寸便 — 中孔尺寸：60x60mm 于安装在显微镜下，可与电动微米平台进行配合使用，移 — 最大承载能力：5Kg 动面设计为可以放置样品、CCD 相机、显微物镜等，便于 — 紧凑型设计用户微纳操作。 — 高精度柔性导向利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确选配功能保高刚度和较长的设备寿命，PK3L140-100UA/100UB 位 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系闭环响应。Z 轴利用直接驱动结构设计原理，具有超高的 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm）移台可提供最佳的性能。谐振频率及动态响应时间，本系列产品广泛应用于原子力应用领域显微镜样品扫描应用。本产品具有亚纳米性能。PK3L140-100UA/100UB 压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。 PK3L140-100UA/100UB 压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。 — 扫描显微镜 — 超分辨率显微镜 — 掩模、晶圆定位 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵扫描显微镜示例光传感器探针探针激光样品样品结构原理 147 PK 并联形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L140-100U 系列技术参数规格型号 1 PK3L140-100UA-S PK3L140-100UB-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z - SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 100μm x 100μm x 5μm 100μm x 100μm x 15μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V）运动轴集成传感器 130μm x 130μm x 9μm 130μm x 130μm x 20μm ±20% 3 （XY）2.0 nm、（Z）0.1 nm （XY）2.0 nm、（Z）0.3 nm typ. 最小移动步长 4 （XY）3.5 nm、（Z）0.2 nm （XY）3.5 nm、（Z）0.5 nm typ. 线性误差 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 50 N 50 N Max. （XYZ）600 Hz、600Hz、850 Hz （XYZ）600 Hz、600Hz、850 Hz ±20% （XY）3 N/μm、（Z）6 N/μm （XY）3 N/μm、（Z）6 N/μm ±20% 100N / 20N 100N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 60 x 60 mm 60 x 60 mm - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 140 ×140 ×30.2 mm 140 ×140 ×30.2 mm - 重量 7 980 g 980 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L140-100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 148 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型纳米台压电陶瓷扫描台 PK3L185-100U/200U/300U 超薄型设计、超高动态特性产品描述产品特性 PK3L185-100U/200U/300U为高动态扫描产品，专为大承载动态应用设计的，外形设计为超薄型，紧凑的尺寸便于安装在显微镜下，可与电动微米平台进行配合使用，移动面设计为可以放置样品、CCD 相机、显微物镜等，便于用户微纳操作。利用精密并联运动设计通过 FEA 优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK3L185-100U/200U/300U — XYZ 位移：最大300μm（闭环） — 中孔尺寸：100x100mm — 最大承载能力：3Kg — 紧凑型设计 — 高精度柔性导向选配功能位移台可提供最佳的性能。 — 可定制转接装置及中心孔径大小 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系环响应。Z 轴利用直接驱动结构设计原理，具有超高的谐振 — 可选择 XYZ 轴版本（80μm）频率及动态响应时间，本系列产品广泛应用于原子力显微镜样品扫描应用。应用领域本产品具有亚纳米性能。PK3L185-100U/200U/300U — 扫描显微镜压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。 — 超分辨率显微镜 PK3L185-100U/200U/300U压电平台可定制转接板与面 — 掩模、晶圆定位包板光学平台上进行固定。 — 干涉测量、测量技术 — 显微操纵扫描显微镜示例光传感器探针探针激光样品样品结构原理定制 PK 并联形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PK3L185 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V）分辨率 3 最小移动步长 4 线性误差重复定位精度（全行程）角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） PK3L185-100U-S PK3L185-200U-S PK3L185-300U-S 公差 8 X、Y、Z X、Y、Z X、Y、Z - SGS SGS SGS - 100 μm 200 μm 300 μm ±10% 130 μm 240 μm 350 μm ±20% 1.5 nm 3.0 nm 5.0 nm typ. 3.0 nm 7.0 nm 10.0 nm typ. 0.05% 0.1% 0.1% typ. 0.05% 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad 10 μrad typ. 30 N 30 N 30 N Max. （XY）220 Hz、（Z）300Hz （XY）180 Hz、（Z）260Hz （XY）160 Hz、（Z）240Hz ±20% 运动方向刚度 0.2 N/μm 0.2 N/μm 0.2 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 60N / 20N 60N / 20N 60N / 20N ±20% PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm 100x100 mm 100x100 mm 100x100 mm - 185 × 185 × 30 mm 185 × 185 × 30 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 185 × 185 × 30 mm 1250 g 230 g 280 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PK3L185系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PK 定制 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PF 压电物镜聚焦台（用于物镜聚焦）产品特点 PF 系列中的 PFV、PFB、PFC、PFH 系列专门为显微镜调节物镜的焦距而设计的，可以集成在正立/倒立显微镜、检查/测量设备或观察设备中，可以加快透镜聚焦速度并提高准确度。而 PFR 专为压电显微镜样本扫描应用设计开发的，该系列样本扫描台易于集成到倒置显微镜中。本系列产品应用于附带显微镜物镜后，可以朝聚焦方向进行微调纳米级操控。PF 系列与电动驱动器相比，具有明显更快的响应和更长的使用寿命。兼容各制造商物镜 PFV、PFB、PFC、PFH 提供几种类型的转接环接口尺寸，以适应每个制造商的物镜转换器和物镜的螺纹接口直径。即使在购买产品后，只需更换转接环即可更改螺纹接口直径。提供可选的螺纹直径转换适配器，也可以协商定制安装非标准镜头的转接配件。PFR 可以支持可互换的样品架，用于显微镜载玻片（固定或旋转），培养皿或盖玻片等。产品类型丰富 PFV（紧凑型）：适合有空间需求的场合建议选择此类型、且产品型号种类齐全。 PFB（高重载）：非常适合安装特殊的镜头和设备，这种类型具有采用特殊机械结构，即使使用较重的镜头也能提供稳定的聚焦。 PFC（重载型）：具有非常高的刚性，并专注于快速响应。它非常适用于使用较重的镜头或具有长镜筒的镜头的情况，应用于高速聚焦场合。 PFH（垂直型）：具有更长的行程范围。 PFR（大孔径）：具有大通光孔径，可放置样品进行 Z / XY（Z）扫描操作。 ※ 我们可以为特殊的大型镜头聚焦或物镜转换器提供定制的纳米位移产品。高速、高精度聚焦通过压电陶瓷元件的高响应性和内置位移传感器的反馈控制，可以快速而准确地聚焦在运动物体上。型号配置 149 PF 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商产品系列 PFV 压电物镜聚焦台（紧凑型）机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 - - 参考页面 - 位移放大机构 PFV 80 ～500 ▶P.151 PFB 压电物镜聚焦台（高重载）机构类型型号编号行程[μm] 参考页面直接驱动机构 PFB 30 ▶P.157 位移放大机构 PFB 50 ～100 ▶P.159 PFC 压电物镜聚焦台（重载型）机构类型型号编号行程[μm] 参考页面直接驱动机构 PFC 30 ▶P.161 位移放大机构 PFC 50 ～200 ▶P.163 参考页面 PFH 压电物镜聚焦台（垂直型）机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 - - - 位移放大机构 PFH 500~1000 ▶P.165 参考页面 PFR 压电显微样本台（大孔径）机构类型型号编号行程[μm] 直接驱动机构 - - - 位移放大机构 PFR-Z 80 ～500 ▶P.167 机构类型型号编号行程[μm] 参考页面直接驱动机构 - - - 位移放大机构 PFR-XY（Z） 80 ～400 ▶P.171 ※ 图像上的箭头表示移动方向。请检查每个产品的外形尺寸图，以了解实际的移动方向。产品附件安装如果安装物镜接口不同的镜头，可以使显微镜侧螺纹转换附件或物镜侧螺纹转换附件，安转示例如下所示： ※ 各类型产品备有多种螺纹适配器，可以安装不同螺纹尺寸的物镜，螺纹适配器（转接环）采用黄铜/钢材质制成。 service@nanomotions.com PF 150 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的物镜扫描台压电物镜聚焦台 PFV-080U 80μm 行程、超紧凑型设计产品描述产品特性 PFV-080U 压电物镜定位系统是为微调微物镜而开发 — 位移：80μm（闭环）的，最大运动为 110 µm（开环）。PFV-080U 的分辨率 — 螺纹尺寸：W0.8x1/36“至 M27x0.75 非常高，实际上仅受电源电压噪声的限制。非常适合高精 — 适用于质量达 300 g 的微型物镜度定位及具有纳米分辨率的应用。 — 超紧凑型设计 — 高谐振频率蔡司，徕卡，尼康，奥林巴斯等的所有标准螺纹都可用于 PFV-080U 的显微镜侧或物镜侧。采用分离式螺纹适选配功能配器，将 PFV-080U 系统安装到显微镜上非常容易，将显微镜侧螺纹环拧入显微镜，并用螺钉将镜头定位系统安装在该环上，由于其尺寸紧凑较小，因此非常集成在系统设备中。 — 可定制转接装置及固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格 PFV-080U 压电物镜定位系统采用压电陶瓷驱动，采用零间隙，高精度柔性铰链导向系统使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用应用领域高精度位移传感器闭环，具有更高的精度、线性度，被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。为了避免漂移和迟滞现象，PFV-080U 还提供了集成 — 倒置/正立显微镜 — 表面扫描和分析、AFM 显微镜 — 生物技术（例如细胞扫描） — 光束聚焦用于印刷过程 — 半导体测试设备、白光干涉的应变仪测量系统(SGS)。特殊的集成式预载设计具有很小的角度偏差、高度平行的大运动范围、高共振频率等特点。材料分析结构原理 151 PF 步长图像 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFV-080U 系列技术参数规格型号 1 PFV-080U PFV-080U-S 公差 8 运动轴 Z Z - 集成传感器 - SGS - 80 μm 80 μm ±10% 标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） 110 μm 110 μm ±20% 3 0.7 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm typ. 线性误差 - 0.03% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.03% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 3N 3N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g）运动方向刚度运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 螺纹适配外形尺寸（长×宽×高） 350 Hz 350 Hz ±20% 1.4 N/μm 1.4 N/μm ±20% 110N / 15N 110N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS, M25, M26, M27 RMS, M25, M26, M27 - 48 × 40 × 25 mm（含适配器） 48 × 40 × 25 mm（含适配器） - 重量 7 150 g 150 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFV-080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 152 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的物镜扫描台压电物镜聚焦台 PFV-200U 200μm 行程、超紧凑型设计产品描述产品特性 PFV-200U 压电物镜定位系统是为微调微物镜而开发 — 位移：200μm（闭环）的，最大运动为 200 µm（闭环）。PFV-200U 的分辨率 — 螺纹尺寸：W0.8x1/36“至 M27x0.75 非常高，实际上仅受电源电压噪声的限制。非常适合高精 — 适用于质量达 300 g 的微型物镜度定位及具有纳米分辨率的应用。 — 超紧凑型设计 — 高谐振频率蔡司，徕卡，尼康，奥林巴斯等的所有标准螺纹都可用于 PFV-200U 的显微镜侧或物镜侧。采用分离式螺纹适选配功能配器，将 PFV-200U 系统安装到显微镜上非常容易，将显微镜侧螺纹环拧入显微镜，并用螺钉将镜头定位系统安装在该环上，由于其尺寸紧凑较小，因此非常集成在系统设备中。 — 可定制转接装置及固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格 PFV-200U 压电物镜定位系统采用压电陶瓷驱动，采用零间隙，高精度柔性铰链导向系统使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用应用领域高精度位移传感器闭环，具有更高的精度、线性度，被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。为了避免漂移和迟滞现象，PFV-200U 还提供了集成 — 倒置/正立显微镜 — 表面扫描和分析、AFM 显微镜 — 生物技术（例如细胞扫描） — 光束聚焦用于印刷过程 — 半导体测试设备、白光干涉的应变仪测量系统(SGS)。特殊的集成式预载设计具有很小的角度偏差、高度平行的大运动范围、高共振频率等特点。白光干涉 200μm@200g 结构原理 153 PF 阶跃响应 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFV-200U 系列技术参数规格型号 1 PFV-200U PFV-200U-S 公差 8 运动轴 Z Z - 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 200 μm 200 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 240 μm 240 μm ±20% 3 1.8 nm 3.5 nm typ. 最小移动步长 4 7.0 nm 7.0 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad typ. 3N 3N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 300 Hz 300 Hz ±20% 运动方向刚度 0.4 N/μm 0.4 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 80N / 15N 80N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS, M25, M26, M27, M32 RMS, M25, M26, M27, M32 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 螺纹适配外形尺寸（长×宽×高） 58 × 52.5 × 21.6 mm 58 × 52.5 × 21.6 mm - 重量 7 200 g 200 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFV-200U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 154 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的物镜扫描台压电物镜聚焦台 PFV-300U 300μm 行程、超紧凑型设计产品描述产品特性 PFV-320U 压电物镜定位系统是为微调微物镜而开发 — 位移：300μm（闭环）的，最大运动为 300 µm（闭环）。PFV-300U 的分辨率 — 螺纹尺寸：W0.8x1/36“至 M32x0.75 非常高，实际上仅受电源电压噪声的限制。非常适合高精 — 适用于质量达 300 g 的显微物镜度定位及具有纳米分辨率的应用。 — 超紧凑型设计 — 高谐振频率蔡司，徕卡，尼康，奥林巴斯等的所有标准螺纹都可用于 PFV-300U 的显微镜侧或物镜侧。采用分离式螺纹适选配功能配器，将 PFV-300U 系统安装到显微镜上非常容易，将显微镜侧螺纹环拧入显微镜，并用螺钉将镜头定位系统安装在该环上，由于其尺寸紧凑较小，因此非常集成在系统设备中。 — 可定制转接装置及固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格 PFV-300U 压电物镜定位系统采用压电陶瓷驱动，采用零间隙，高精度柔性铰链导向系统使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用应用领域高精度位移传感器闭环，具有更高的精度、线性度，被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。为了避免漂移和迟滞现象，PFV-320U 还提供了集成 — 倒置/正立显微镜 — 表面扫描和分析、AFM 显微镜 — 生物技术（例如细胞扫描） — 光束聚焦用于印刷过程 — 半导体测试设备、白光干涉的应变仪测量系统(SGS)。特殊的集成式预载设计具有很小的角度偏差、高度平行的大运动范围、高共振频率等特点。材料分析结构原理 155 PF 位移特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFV-300U 系列技术参数规格型号 1 PFV-300U PFV-300U-S 公差 8 运动轴 Z Z - 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 300 μm 300 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 340 μm 340 μm ±20% 3 3.0 nm 7.0 nm typ. 最小移动步长 4 10 nm 10 nm typ. 线性误差 - 0.05% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 15 μrad 15 μrad typ. 3N 3N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 150 Hz 150 Hz ±20% 运动方向刚度 0.25 N/μm 0.25 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 95N / 10N 95N / 10N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS, M25, M26, M27, M32 RMS, M25, M26, M27, M32 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 螺纹适配外形尺寸（长×宽×高） 61 × 45 × 44 mm 61 × 45 × 44 mm - 重量 7 400 g 400 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFV-300U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 156 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的物镜扫描台压电物镜聚焦台 PFB-030U 30μm 行程、超高动态应用、晶元切割设备专用型产品描述 PFB-030U 是重载设计直接驱动型的压电陶瓷物镜聚产品特性焦平台，是专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域，它设计为 30μm 的行程，非常适合短距离聚焦应用。 PFB-030U 的应用范围包括：Z 向移动，3D 成像，自动对焦或与我们提供的 XY 纳米位移台设备一起使用。 PFC-050U/100U 本体由铝，钢和黄铜制成，闭环配有稳位移：30μm（闭环） — 螺纹尺寸：W0.8x1/36“至 M38x0.75 — 适用于质量达 1Kg 专用物镜 — 带载 500g 物镜典型步进和稳定约为 3ms — 较大物镜的高动态定位和扫描选配功能定性的传感器采用全闭环配置。黄铜安装环可以轻松更换，以使每个物镜都适合 PFC 纳米定位器。可用的标准产品包括 RMS、M25、M26、 M27、M32、M38 等，也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦 — — 可定制转接装置及固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格应用领域稳定性。它们的刚性可实现高负载能力，可带动较大物镜的高动态定位和扫描。 — 半导体晶元切割、半导体测试、生物技术 — 自动聚焦系统、测量技术可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应 — 干涉测量、筛选变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿 — 3D 成像、共聚焦显微镜压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。 — 光学圆盘显微镜、超分辨率显微镜图像处理结构原理 157 PF 步进图像 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFB-030U 系列技术参数规格型号 1 PFB-030U PFB-030U-S 公差 8 运动轴 Z Z - 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm 30 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 40 μm 40 μm ±20% 3 0.3 nm 0.6 nm typ. 最小移动步长 4 1.0 nm 1.0 nm typ. 线性误差 - 0.10% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 10 N 10 N Max. 谐振频率（0g） 3000 Hz 3000 Hz ±20% 运动方向刚度 3 N/μm 3 N/μm ±20% 80N / 20N 80N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS, M25,M26,M27,M28,M32,M38 RMS, M25,M26,M27,M28,M32,M38 - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 螺纹适配外形尺寸（长×高） Ø75 × 67 mm Ø75 × 67 mm - 重量 7 840 g 840 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFB-030U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 158 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的物镜扫描台压电物镜聚焦台 PFB-050U/100U 超重载型应用设计、晶元切割设备专用型产品描述 PFB-050U/100U 是重载设计直接驱动型的压电陶瓷产品特性 — 物镜聚焦平台，是专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域，它设计行程为 50/100μ m 的两种规格。便于用户选择适合的产品。 PFB-050U/100U 的应用范围包括：Z 向移动，3D 成像，自动对焦或与我们提供的 XY 纳米位移台设备一起使用。 PFC-050U/100U 本体由铝，钢和黄铜制成，闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。纳米定位器。可用的标准产品包括 RMS、M25、M26、 M27、M32、M38 等，也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。稳定性。它们的刚性可实现高负载能力，可带动较大物镜 — 螺纹尺寸：W0.8x1 / 36“至 M38x0.75 — 适用于质量达 1Kg 专用物镜 — 高重载型应用设计 — 高动态应用选配功能黄铜安装环可以轻松更换，以使每个物镜都适合 PFC 零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦位移：50μm/100μm（闭环） — 可定制转接装置及固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格应用领域的高动态定位和扫描。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。 — 半导体晶元切割、半导体测试、生物技术 — 自动聚焦系统、测量技术 — 干涉测量、筛选 — 3D 成像、共聚焦显微镜 — 光学圆盘显微镜、超分辨率显微镜 MEMS 晶圆切割 20μm@1000g 结构原理 159 PF 阶跃时间 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFB-050U/100U 系列技术参数规格型号 1 PFB-050U-S PFB-100U-S 公差 8 Z Z - SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 50 μm 100 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V）运动轴集成传感器 60 μm 110 μm ±20% 3 0.5 nm 1.0 nm typ. 最小移动步长 4 2.0 nm 3.5 nm typ. 线性误差 0.02% 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） 0.02% 0.02% typ. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转） 5 μrad 5 μrad typ. 10 N 10 N Max. 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g） 950 Hz 900 Hz ±20% 运动方向刚度 3 N/μm 3 N/μm ±20% 80N / 20N 80N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS, M25, M26, M27, M28、M32 RMS, M25, M26, M27, M28、M32 - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 螺纹适配外形尺寸（长×高） Ø75 × 42.5 mm Ø75 × 42.5 mm - 重量 7 700 g 715 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFB-050U/100U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 160 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的物镜扫描台压电物镜聚焦台 PFC-030U 超重载型应用设计、晶元切割设备专用型产品描述 PFC-030U 是重载设计的压电陶瓷物镜聚焦平台，是产品特性专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域，它设计为 30μm 的行程。PFC-030U 的应用范围包括：Z 向移动，3D 成像，自动对焦或与我们提供的 XY 纳米位移台设备一起使用。PFC-050U/100U 本体由铝，钢和黄铜制成，闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。。 — 位移：30μm（闭环） — 螺纹尺寸：W0.8x1/36“至 M32x0.75 — 适用于质量达 1Kg 专用物镜 — 超紧凑型设计 — 高谐振频率选配功能黄铜安装环可以轻松更换，以使每个物镜都适合 PFC 纳米定位器。可用的标准产品包括 RMS，M25，M26， M27、M32、M38 等，也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性。它们的刚性可实现高负载能力，可带动较大物镜的高动态定位和扫描。 — 可定制转接装置及固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格应用领域可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。 — 倒置/正立显微镜 — 表面扫描和分析、AFM 显微镜 — 生物技术（例如细胞扫描） — 光束聚焦用于印刷过程 — 半导体测试设备 MEMS 晶圆切割 10μm@520g 结构原理 161 PF 响应时间 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFC-030U 系列技术参数规格型号 1 PFC-030U PFC-030U-S 公差 8 运动轴 Z Z - 集成传感器 - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 30 μm 30 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 40 μm 40 μm ±20% 3 0.3 nm 0.6 nm typ. 最小移动步长 4 1.0 nm 1.0 nm typ. 线性误差 - 0.10% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 5 μrad 5 μrad typ. 10 N 10 N Max. 谐振频率（0g） 3000 Hz 3000 Hz ±20% 运动方向刚度 3 N/μm 3 N/μm ±20% 80N / 20N 80N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS, M25, M26, M27, M28、M32 RMS, M25, M26, M27, M28、M32 - 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 螺纹适配外形尺寸（长×高） Ø67 × 73 mm Ø67 × 73 mm - 重量 7 680 g 680 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFC-030U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 162 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的物镜扫描台压电物镜聚焦台 PFC-050U/080U 超重载型应用设计、晶元切割设备专用型产品描述产品特性 PFC-050U/080U是重载设计的压电陶瓷物镜聚焦平台，是专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域，它包含 50μm 和 100μm 两种规格行程的版本，均适合高动态应用。 PFC-050U/080U的应用范围包括：Z向移动，3D成像，自动对焦或与我们提供的XY纳米位移台设备一起使 — 位移：50μm/100μm（闭环） — 螺纹尺寸：W0.8x1/36“至 M32x0.75 — 适用于质量达 500g 专用物镜 — 超紧凑型设计 — 并联结构设计具有高谐振频率选配功能用。PFC-050U/080U本体由铝，钢和黄铜制成，闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。黄铜安装环可以轻松更换，以使每个物镜都适合 PFC 纳米定位器。可用的标准产品包括 RMS，M25，M26， M27、M32、M38 等，也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性。它们的刚性可实现高负载能力，可带动较大物镜 — 可定制转接装置及固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格应用领域的高动态定位和扫描。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。 — 倒置/正立显微镜 — 表面扫描和分析、AFM 显微镜 — 生物技术（例如细胞扫描） — 光束聚焦用于印刷过程 — 半导体测试设备 MEMS 晶圆切割 20μm@520g 结构原理 163 PF 响应特性形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFC-050U/080U 系列技术参数规格型号 1 PFC-050U-S PFC-080U-S 公差 8 Z Z - SGS SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 50 μm 100 μm ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V）运动轴集成传感器 60 μm 110 μm ±20% 3 0.5 nm 1.0 nm typ. 最小移动步长 4 2.0 nm 3.5 nm typ. 线性误差 0.02% 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） 0.02% 0.02% typ. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转） 5 μrad 5 μrad typ. 5N 5N Max. 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g） 900 Hz 800 Hz ±20% 运动方向刚度 3 N/μm 3 N/μm ±20% 80N / 20N 80N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS, M25, M26, M27, M28, M32 等 RMS, M25, M26, M27, M28, M32 等 - 运动方向推力/拉力驱动机构工作温度范围线缆长度 6 螺纹适配外形尺寸（长×高） Ø67 × 42.5 mm Ø67 × 42.5 mm - 重量 7 430 g 450g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFC-050U/080U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 164 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的物镜扫描台压电物镜聚焦台 PFH-800U 长行程物镜扫描系统产品描述 PFH-800U 是长行程压电陶瓷物镜聚焦平台，是专门产品特性 — 位移：800μm（闭环） — 螺纹尺寸：W0.8x1/36“至 M32x0.75 — 适用于质量达 300g 物镜 PFH-800U 的应用范围包括：Z 向移动，3D 成像，自 — 超紧凑型长行程设计动对焦或与我们提供的 XY 纳米位移台设备一起使用。 — 高精度柔性铰链机械结构用于显微镜物镜的精确定位及有长距离定位操作而设计的产品。 PFH-800U 本体由铝，钢和黄铜制成，闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。选配功能转接环可以轻松更换，以使每个物镜都适合 — 可定制转接装置及固定方式 PFH-800U 纳米定位器。可用的标准产品包括 RMS，M25， — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格 M26，M27、M32 等，也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性。它们的刚性可实现高负载能力，可带动较大物镜应用领域的高动态定位和扫描。 — 倒置/正立显微镜可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应 — 表面扫描和分析、AFM 显微镜变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿 — 生物技术（例如细胞扫描）压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。 — 光束聚焦用于印刷过程可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。 — 半导体测试设备图像处理结构原理 165 PF 堆叠形式 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFH-800U 系列技术参数规格型号 1 PFH-800U PFH-800U-S 公差 8 运动轴 Z Z - 集成传感器 - SGS - 800 μm 800 μm ±10% 标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） 1000 μm 1000 μm ±20% 3 7 nm 15 nm typ. 最小移动步长 4 27 nm 27 nm typ. 线性误差 - 0.02% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.02% typ. 20 μrad 20 μrad typ. 3N 3N Max. 分辨率角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 150 Hz 150 Hz ±20% 运动方向刚度 0.12 N/μm 0.12 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 80N / 20N 80N / 20N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm RMS, M25, M26, M27, M28、M32 RMS, M25, M26, M27, M28、M32 - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 螺纹适配外形尺寸（长×宽×高） 77 × 67 × 40 mm 77 × 67 × 40 mm - 重量 7 350 g 350 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFC-800U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 166 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的垂直样本台压电样本扫描台 PFR138-080U/200U/400U 超重载型应用设计、晶元切割设备专用型产品描述超薄型 Z 纳米定位压电平台，用于与倒置显微镜的标产品特性 — 准大范围纳米定位压电平台集成在一起，。 Z 载物台具有较大的孔径，可容纳行业标准的样品架/ 微孔板、便于进行进行活细胞研究。 PFR 系列为研究人员提供了对 Z 轴的快速，高精度控制，是反卷积，3D 重建和共聚焦显微镜的理想选择；尤其适用于需要活细胞的应用。以在载物框架位置使用，从而确保不失去共焦性。 PFR 系列的闭环行程为 80~400 µm，可与蔡司、尼康、奥林巴斯、莱卡等显微镜配合使用。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。 167 PF 中空尺寸：220.5×138×27.3 mm 适用于质量达 2000g 样品扫描 — 超薄型设计 — 并联结构设计具有高谐振频率 — 可定制转接装置及固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择定制其它螺纹规格应用领域压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。结构原理 — — 选配功能与其他仅移动一个物镜的压电聚焦设备不同，PFR 可变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿位移：80μm/200μm/400μm（闭环）响应特性 021-54668263 — 倒置/正立显微镜 — 表面扫描和分析、测量技术 — 筛选、生物技术 — 自动聚焦系统 — 共聚焦显微镜典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFR-080U/200U/400U 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PFR-080U-S PFR-200U-S PFR-400U-S 公差 8 Z Z Z - SGS SGS SGS - 80 μm 200 μm 400 μm ±10% 110 μm 240 μm 450 μm ±20% 3 0.7 nm 2.0 nm 3.5 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 7.0 nm 15 nm typ. 分辨率线性误差 0.1% 0.1% 0.1% typ. 重复定位精度（全行程） 0.05% 0.05% 0.05% typ. 20 μrad 20 μrad 20 μrad typ. 20 N 20 N 20 N Max. 角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 250 Hz 210 Hz 150 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.25 N/μm 0.2 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 20N 30N / 20N 30N / 20N ±20% PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm 128.5×86.5 mm 128.5×86.5 mm 128.5×86.5 mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸外形尺寸（长×宽×高） 220.5×138×27.3 mm 220.5×138×27.3 mm 220.5×138×27.3 mm - 重量 7 700 g 750 g 850g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFR-080U/200U/400U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 168 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的垂直样本台压电样本扫描台 PFR110-080U/150U 低外形紧凑型设计产品描述 PFR110 系列超薄型 Z 纳米定位压电平台，可用于与产品特性 — 倒置显微镜的标准大范围纳米定位压电平台集成在一起。载物台具有较大的孔径，可容纳行业标准的样品架/微孔板、便于进行进行活细胞研究。 PFR110 系列为研究人员提供了对 Z 轴的快速，高精度控制，是反卷积，3D 重建和共聚焦显微镜的理想选择；尤其适用于需要活细胞的应用。位移：80μm/150μm（闭环） — 中空尺寸：83×93 mm — 适用于质量达 1000g 样品扫描 — 嵌入型设计 — 并联结构设计具有高谐振频率选配功能 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 PFR110 系列的闭环行程为 80~150 µm，可与蔡司、 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系尼康、奥林巴斯、莱卡等显微镜配合使用。其中压电平台， — 可选择定制其它固定方式及培养皿支架与其他仅移动一个物镜的压电聚焦设备不同，PFR 可以在载物框架位置使用，从而确保不失去共焦性。压电控制器和专接板均单独出售。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿 — 倒置/正立显微镜压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。 — 表面扫描和分析、测量技术可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。 — 筛选、生物技术 — 自动聚焦系统 — 共聚焦显微镜结构原理 169 应用领域 PF 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFR110-080U/150U 系列技术参数规格型号 1 PFR110-080U-S PFR110-150U-S 公差 8 Z Z - SGS SGS - 80 μm 150 μm ±10% 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） 110 μm 180 μm ±20% 3 0.7 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 7.0 nm typ. 分辨率线性误差重复定位精度（全行程）角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 0.1% 0.1% typ. 0.05% 0.05% typ. 20 μrad 20 μrad typ. 10 N 10 N Max. 200 Hz 160 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.2 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 30N / 15N 30N / 15N ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸 83×93 mm 128.5×86.5 mm 110×160×19.5mm 110×160×19.5mm - 重量 7 700 g 800 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 外形尺寸（长×宽×高）注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFR110-080U/150U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 170 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商用于显微镜的样本台压电样本扫描台 PFR150-XYZ100U/200U 低外形、多轴运动、紧凑型设计产品描述 PFR150 系列超薄型 XY（Z）多轴纳米定位压电平台，产品特性 — 可用于与倒置显微镜的标准大范围纳米定位压电平台集成在一起。载物台具有较大的孔径，可容纳行业标准的样品架/微孔板、便于进行进行活细胞研究。 PFR150 系列为研究人员提供了对 Z 轴的快速，高精度控制，是反卷积，3D 重建和共聚焦显微镜的理想选择；尤其适用于需要活细胞的应用。位移：80μm/150μm（闭环） — 中空尺寸：83×93 mm — 适用于质量达 1000g 样品扫描 — 嵌入型设计 — 并联结构设计具有高谐振频率选配功能 — 可定制转接装置 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 PFR150 系列的闭环行程为 80~200 µm，可与蔡司、 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系尼康、奥林巴斯、莱卡等显微镜配合使用。其中压电平台， — 可选择定制其它固定方式及培养皿支架与其他仅移动一个物镜的压电聚焦设备不同，PFR150 可以在载物框架位置使用，从而确保不失去共焦性。压电控制器和专接板均单独出售。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应应用领域变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿 — 超分辨率显微镜压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。 — 表面扫描和分析、测量技术可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。 — 筛选、生物技术 — 自动聚焦系统 — 共聚焦显微镜光镊技术结构原理 171 PF 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PFR150-XYZ100U/200U 系列技术参数规格型号 1 PFR150-XY（Z）100U-S PFR150-XY（Z）200U-S 运动轴 X、Y X、Y、Z X、Y X、Y、Z 集成传感器 SGS SGS SGS SGS - 80x80μm 80x80x80μm 200x200μm 200x200x200μm ±10% 标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V）公差 8 - 110x110μm 110x110x110μm 240x240μm 240x240x240μm ±20% 3 0.7 nm 0.7 nm 2.0 nm 2.0 nm typ. 最小移动步长 4 3.0 nm 3.0 nm 7.0 nm 7.0 nm typ. 分辨率线性误差重复定位精度（全行程）角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）承载能力 5 谐振频率（0g） 0.1% 0.1% 0.15% 0.15% typ. 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% typ. 10 μrad 10 μrad 10 μrad 10 μrad typ. 10 N 10 N 10 N 10 N Max. 210 Hz 210 Hz 140 Hz 140 Hz ±20% 运动方向刚度 0.3 N/μm 0.3 N/μm 0.2 N/μm 0.2 N/μm ±20% 运动方向推力/拉力 40N / 20N 40N / 20N 40N / 20N 40N / 20N ±20% PZT PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm - 驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中空尺寸 85×65 mm 85×65 mm 85×65 mm 85×65 mm 217×150×20mm 217×150×20mm 217×150×20mm 217×150×20mm - 重量 7 1000 g 1100 g 1200 g 1250 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢铝、钢铝、钢 - 外形尺寸（长×宽×高）注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PFR150-XYZ100U/200U 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PF 172 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PT 压电偏转镜产品特点压电偏转镜利用压电陶瓷为驱动元件，光学镜片为传输载体，又称为压电快反镜、压电偏摆镜、压电倾斜镜、压电光束偏转镜、压电振镜、压电转向镜、压电相移器等。我司提供各种压电偏转镜【快速转向镜 FSM】，产品类型从单轴到多轴，角度从微弧度到毫弧度偏转，系统具有快速转向特点。通过压电陶瓷驱动系统进行微调整，尽管最大角位移很小，但级具有高速响应和高重复性特点。压电偏转镜可在亚毫秒范围内提供非常快的响应时间，分辨率可低至纳弧度。直接驱动单元可实现更高的动态性能，而利用内部挠性运动放大器的设计可提供更大光束角度偏转。PT 系列压电偏转镜结构使用柔性铰链结构执行高速微小角度位移，除了旋转和倾斜外，还可以通过同时控制多个轴来进行线性操作。压电偏转镜既适用于高动态操作，例如跟踪，扫描，图像稳定，消除漂移和振动，也适用于光学系统和样品的静态定位。高速扫描操作压电陶瓷元件具有非常大的产生力（数千 N），并且具有很高的响应度（几十 kHz）和分辨率（低于 nm）。通过充分利用此功能，可以进行高速，高定位精度的操作。产品丰富多种结构设计 Θx 轴：单轴压电偏转镜通过单个压电陶瓷元件驱动的柔性导向机构，优点是具有结构尺寸紧凑、结构简单，高性价比等特点。 ΘxΘy 轴：带有差动压电驱动（四脚架）的压电偏转镜系统，内部通过四个压电陶瓷元件作为驱动元件，两对θx 和θy 倾斜轴正交布置，使用时无需进行坐标转换。 Z 升降+ΘxΘy 轴：由三个彼此成 120°角的压电致动器驱动，通过坐标变换，可以在不同的压电陶瓷之间协调运动。通过平行布置压电陶瓷元件并采用平行结构，可以用相同的机构紧凑地实现角位移和直线运动。型号配置 173 PT 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商产品系列 Θx 轴（单轴型）型号编号行程参考页面 PT1M 2.5 mrad ▶P.175 型号编号行程参考页面 PT2M ±1.25 mrad～±25mrad ▶P.177 型号编号行程参考页面 PT3V (Z)30μm、（ΘxΘy）5mrad ▶P.187 ΘxΘy 轴（四脚结构） Z+ΘxΘy（三脚架结构） ※ 图像上的箭头表示移动方向。请检查每个产品的外形尺寸图，以了解实际的移动方向。压电偏转镜控制系统我们可定制各类需求的压电控制系统，例如宇航级、工业级、OEM 板卡式等，其中小体积用于静态使用等类型产品。压电偏转镜控制系统可选择数字通信控制，包含上位机软件控制，该软件提供标准配置功能，可确保整个系统的轻松直观操作。除了简单的位置指定，手动或自动步长控制外，还可以进行动态控制及相位调整操作。我们建议在动态要求高且所需控制器性能操作较便捷的应用中使用模拟控制压电系统，此外，可避免系统通信耗时影响。 ※ 为避免损坏，需要对系统进行全面的了解以正确控制压电偏转镜系统，工作原理请参照《产品特性说明》文件说明。光学镜片的安装说明注意：切勿通过“撬动”或“旋转”光学镜片的承载面及施加机械力来拆卸光学镜片，因为外力可以直接传递到内部压电陶瓷上面，而导致压电陶瓷损坏或导致柔性机构变形。切勿使用化学溶剂进行擦拭，因为它们很容易进入柔性铰链缝隙中，也不要有其他物体阻碍运动，以免影响精度或损坏设备。过度用力会增加看似坚固的压电偏转系统受损的风险，特别是对于安装镜片应用或拆卸镜片时。用户可根据相应系统的用户手册中的说明安装镜子。粘贴胶粘剂建议使用 3 点进行为了实现最佳的粘接效果，应选择硬化温度约为 20°C 的环氧树脂双组分粘接剂。如果必须卸下镜片，我们建议使用热风吹干机小心加热镜片以软化粘合剂，然后可以轻松拆下镜片。也可通过转接方式进行偏摆镜的安装，安装前先清洁安装支架，如果在动态应用系统上安装了较大的镜子或较大的质量（例如分束器），则可能会导致性能下降或特性可能与规格指标的有所不同。系统兼容性注意：当压电偏转镜有多轴时，一定要注意一一对应连接。特别具有独立连接器含有恒压标签的一定对应控制器指定接口，否则会损坏压电偏转镜。当闭环控制操作时，压电偏转镜内部的位置传感器与压电控制器需要配调节，所以压电偏摆镜内部传感器传感器需要与压电控制器对应使用，错误的连接可能会引起系统故障。 ※ 当开环控制操作时，兼容同一型号压电控制产品。 service@nanomotions.com PF 174 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商高速转向镜压电偏转镜 PT1M14-500S 高动态、紧凑型设计产品描述 PT1M14-500S 开发用于需要在光学检查和成像系统产品特性中对镜子进行超高精度定位的应用。反射镜简单地固定在平台的倾斜平台上，可提供> 2.5mrad 的行程和亚微弧度的分辨率；低移动质量和优化的闭环控制可为高速应用提供出色的响应时间。 PT1M14-500S 为单轴型压电偏转镜通过单个压电陶瓷驱动的柔性导向机构，优点是具有结构尺寸紧凑、结构光束偏转达 2.5mrad（闭环） — 亚毫弧度级分辨率 — 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统 — 小体积紧凑型设计 — 推荐安装 15mm 光学镜片选配功能简单，高性价比等特点。 — 可定制转接装置及定制其它固定方式单轴型压电偏转镜由一个柔性件支撑，并由一个线性 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度压电陶瓷推动。柔性轴为确定枢轴点，并提供压电陶瓷的 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择镜片转接工装施加一定的预紧力。压电元件具有很大的输出力、高响应能力，高分辨率，充分利用此功能可实现高速，高精度的操作。应用领域如果应用在较大温度范围内，则角度稳定性是一个关键性问题，则建议使用差分压电偏转镜系统。 — 图像处理/稳定 — 激光扫描/光束偏转可选择内置位置传感器——集成在压电偏转镜中的传 — 激光调谐、激光束稳定感器是测量线性位移的线性传感器。闭环传感器可选择应 — 光学过滤器/开关变片式传感器或电容位置传感器，可获得更高的定位精度。 — 干涉测量驱动方式 175 — PT 关系曲线图 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT1M14-500S 系列技术参数规格型号 1 PT1M14-500S PT1M14-500S-S 公差 8 θx θx - - SGS - 标称行程范围 2（@0~+120V） 500”[Sec] ≈ 2.5 mrad 500”[Sec] ≈ 2.5 mrad ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 700”[Sec] ≈ 3.5 mrad 700”[Sec] ≈ 3.5 mrad ±20% 运动轴集成传感器 3 0.05 μrad 1.0 μrad typ. 最小移动步长 4 0.08 μrad 0.08 μrad typ. 线性误差 - 0.2% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.1% typ. Ø15mm 光学镜片 Ø15mm 光学镜片 typ. 3000 Hz 3000 Hz ±20% 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器本体材质 PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm 33×14×24 mm 33×14×24 mm - 80 g 80 g ±5% LEMO LEMO - 钢钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT1M14-500S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 176 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商高速转向镜压电偏转镜 PT2M25-500S~2000S 高动态、圆边形式、用于直径长达 50mm 的反射镜产品描述产品特性 PT2M25-500S~2000S 带有差动压电驱动（四脚架）的压电偏转镜系统，内部通过四个压电促动器作为驱动元件，两对θX 和θY 倾斜轴正交布置，使用时无需进行坐标转换。当每一对压电陶瓷受到不同的控制，即，一个压电陶瓷伸长，而另一对压电陶瓷收缩，伸长与收缩的具有相同的位移量。固定方式采用底部螺纹孔进行固定，本产品可选单轴θx 版本，型号为 PT1M25-xxx。 — θxθy 光束偏转最大为达 10mrad/±5mrad（闭环） — 亚毫弧度级分辨率 — 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统 — 直驱结构具有更高动态特性 — 推荐 25mm 反射镜，可用于直径长达 50 毫米的反射镜选配功能 PT2M25-500S~2000S 与更简单的两个执行器设计相比，这种方法的优点是在更宽的温度范围内改善了热稳定性。如基于三脚架结构设计的压电偏转镜一样，差分驱动版本可在较大的温度范围内保证最佳的角度稳定性。可以保证温度的变化仅能影响到平台的垂直方向定位，而对角 — 可定制转接装置及定制其它固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择镜片转接工装应用领域度定位则没有影响。停止工作电压后，压电偏转镜移动面返回中心位置。对于内置位置传感器的闭环版本，每轴两个传感器的差分运动可提供更高的线性度和实际分辨率及更高的稳定度。压电偏转镜θxθy 两轴通过相位相差 90°信号的正弦波 — 图像处理、稳定 — 激光扫描、光束偏转 — 激光调谐、激光束稳定 — 光学过滤器、开关 — 干涉测量、振动输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描。光束偏转应用激光光源驱动方式 177 PT 结构原理 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT2M25-500S~2000S 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2 （@0~+120V）最大行程范围 2 （@-20~+150V） 4 线性误差重复定位精度承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 外形尺寸（直径×H）重量 1000S-S PT2M25 1300S-S 1500S-S 2000S-S θx、θy θx、θy θx、θy θx、θy θx、θy - SGS SGS SGS SGS SGS - 1000”[Sec] ≈ 5 mrad 1300”[Sec] ≈ 6.5 mrad 1300”[Sec] ≈ 6.5 mrad 1900”[Sec] ≈ 9.5 mrad 1500”[Sec] ≈ 7.5 mrad 2000”[Sec] ≈ 10 mrad 2000”[Sec] ≈ 10 mrad 2700”[Sec] ≈ 13.5 mrad 0.02 μrad 0.05 μrad 0.06 μrad 0.07 μrad 0.1 μrad typ. 0.10 μrad 0.20 μrad 0.22 μrad 0.25 μrad 0.35 μrad typ. 0.10 % 0.15% 0.2 % 0.25 % 0.25 % typ. 0.02 % 0.02 % 0.02 % 0.02 % 0.02 % typ. Ø25mm 镜片 Ø25mm 镜片 Ø25mm 镜片 Ø25mm 镜片 Ø25mm 镜片 typ. 3700 Hz 3500 Hz 3300 Hz 3200 Hz 3100 Hz ±20% 500”[Sec] 2.5 700”[Sec] 3.5 分辨率 3 最小移动步长 500S-S 7 PZT&Sensor 连接器本体材质 ≈ mrad ≈ mrad 公差 8 ±10% ±20% PZT PZT PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm Ø25×38 mm Ø25×56 mm Ø25×65 mm Ø25×74 mm Ø25×92 mm - 190 g 240 g 270 g 290 g 340 g ±5% LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO - 钢钢钢钢钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT2M25-500S~2000S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 178 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商高速转向镜压电偏转镜 PT2M30-500S~2000S 高动态、方边形式、用于直径长达 50mm 的反射镜产品描述 PT2M30-500S~2000S 设计为中间方便腰部固定，对产品特性应用安装有要求的场合下使用，设计结构为带有差动压电驱动（四脚架）的压电偏转镜系统，内部通过四个压电促动器作为驱动元件，两对θX 和θY 倾斜轴正交布置，使用时无需进行坐标转换。当每一对压电陶瓷受到不同的控制，即，一个压电陶瓷伸长，而另一对压电陶瓷收缩，伸长与收缩的具有相同的位移量。本产品可选单轴θx 版本，型号为 PT1M25-xxx。相比，这种方法的优点是在更宽的温度范围内改善了热稳定性。如基于三脚架结构设计的压电偏转镜一样，差分驱动保证温度的变化仅能影响到平台的垂直方向定位，而对角 θxθy 光束偏转最大为达 10mrad/±5mrad（闭环） — 亚毫弧度级分辨率 — 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统 — 直驱结构具有更高动态特性 — 用于直径长达 50 毫米的反射镜选配功能 PT2M30-500S~2000S 与更简单的两个执行器设计版本可在较大的温度范围内保证最佳的角度稳定性。可以 — — 可定制转接装置及定制其它固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择镜片转接工装应用领域度定位则没有影响。停止工作电压后，压电偏转镜移动面返回中心位置。对于内置位置传感器的闭环版本，每轴两个传感器的差分运动可提供更高的线性度和实际分辨率。 — 图像处理、稳定 — 激光扫描、光束偏转 — 激光调谐、激光束稳定 — 光学过滤器、开关 — 干涉测量、振动压电偏转镜θxθy 两轴通过相位相差 90°信号的正弦波输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描。卫星激光通信中精瞄跟踪系统结构原理 179 PT 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT2M30-500S~2000S 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2 （@0~+120V）最大行程范围 2 （@-20~+150V）分辨率 1000S-S PT2M30 1300S-S 1500S-S 2000S-S θx、θy θx、θy θx、θy θx、θy θx、θy - 公差 8 SGS SGS SGS SGS SGS 500”[Sec] ≈ 2.5 mrad 700”[Sec] ≈ 3.5 mrad 1000”[Sec] ≈ 5 mrad 1300”[Sec] ≈ 6.5 mrad 1300”[Sec] ≈ 6.5 mrad 1900”[Sec] ≈ 9.5 mrad 1500”[Sec] ≈ 7.5 mrad 2000”[Sec] ≈ 10 mrad 2000”[Sec] ≈ 10 mrad 2700”[Sec] ≈ 13.5 mrad 0.02 μrad 0.05 μrad 0.06 μrad 0.07 μrad 0.1 μrad typ. 0.10 μrad 0.20 μrad 0.22 μrad 0.25 μrad 0.35 μrad typ. 0.10 % 0.15% 0.2 % 0.25 % 0.25 % typ. 3 最小移动步长 500S-S 4 线性误差重复定位精度承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 外形尺寸（直径×H） ±10% ±20% 0.02 % 0.02 % 0.02 % 0.02 % 0.02 % typ. Ø25mm 镜片 Ø25mm 镜片 Ø25mm 镜片 Ø25mm 镜片 Ø25mm 镜片 typ. 3700 Hz 3500 Hz 3300 Hz 3200 Hz 3100 Hz ±20% PZT PZT PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm 30×30×38 mm 30×30×56 mm 30×30×65 mm 30×30×74 mm 30×30×92 mm - 重量 7 200 g 250 g 280 g 300 g 350 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO - 钢钢钢钢钢 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT2M30-500S~2000S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 180 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商高速转向镜压电偏转镜 PT2M60-240S~1000S 高动态、用于直径长达 75mm（3 英寸）的反射镜产品描述 PT2M60 系列专为大镜片大承载设计的，带有差动压产品特性电驱动（四脚架）的压电偏转镜系统，内部通过四个压电陶瓷促动器作为驱动元件，两对θX 和θY 倾斜轴正交布置，使用时无需进行坐标转换。当每一对压电陶瓷受到不同的控制，即，一个压电陶瓷伸长，而另一对压电陶瓷收缩，伸长与收缩的具有相同的位移量。 PT2M60 与更简单的两个执行器设计相比，这种方法 — θxθy 光束偏转最大为达 5mrad/±2.5mrad（闭环） — 优异的温度稳定性 — 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统 — 并联运动实现更高精度和动态 — 推荐直径Ø75 mm 反射镜（最大为 100 mm 镜片）选配功能的优点是在更宽的温度范围内改善了热稳定性。 — 可定制转接装置及定制其它固定方式如基于三脚架结构设计的压电偏转镜一样，差分驱动 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度版本可在较大的温度范围内保证最佳的角度稳定性。可以 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择镜片转接工装保证温度的变化仅能影响到平台的垂直方向定位，而对角度定位则没有影响。停止工作电压后，压电偏转镜移动面返回中心位置。应用领域对于内置位置传感器的闭环版本，每轴两个传感器的差分运动可提供更高的线性度和实际分辨率。 — 图像处理、稳定 — 激光扫描、光束偏转压电偏转镜θxθy 两轴通过相位相差 90°信号的正弦波 — 激光调谐、激光束稳定输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行 — 光学过滤器、开关一定范围的圆形范围扫描。 — 干涉测量、振动激光扫描成像结构原理 181 PT 响应特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT2M60-240S~1000S 系列技术参数规格型号 1 PT2M60-240S-S PT2M60-500S-S PT2M60-1000S-S 公差 8 θx、θy θx、θy θx、θy - SGS SGS SGS - 标称行程范围（@0~+120V） 240”[Sec] ≈ 1.2 mrad 500”[Sec] ≈2.5 mrad 1000”[Sec] ≈5 mrad ±10% 2 最大行程范围（@-20~+150V） 300”[Sec] ≈ 1.5 mrad 600”[Sec] ≈3.0 mrad 1200”[Sec] ≈6.0 mrad ±20% 分辨率 3 0.02 μrad 0.05 μrad 0.05 μrad typ. 最小移动步长 4 0.10 μrad 0.10 μrad 0.20 μrad typ. 运动轴集成传感器 2 线性误差 0.10 % 0.20% 0.25% typ. 重复定位精度 0.02 % 0.02 % 0.02 % typ. Ø50mm 光学镜片 Ø50mm 光学镜片 Ø50mm 光学镜片 typ. 2000 Hz 1500 Hz 1000 Hz ±20% 承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 外形尺寸（长×宽×H） PZT PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm 30×30×38 mm 30×30×56 mm 30×30×56 mm - 重量 7 200 g 400 g 800 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO LEMO - 铝铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT2M60-240S~1000S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 182 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商高速转向镜压电偏转镜 PT2M90-4000S 长行程、用于直径 25mm（3 英寸）的反射镜产品描述 PT2M90-4000S 专为大角度偏转设计的，带有差动压产品特性电驱动（四脚架）的压电偏转镜系统，内部通过四个压电陶瓷作为驱动元件，两对θX 和θY 倾斜轴正交布置，使用时无需进行坐标转换。当每一对压电陶瓷受到不同的控制，即，一个压电陶瓷伸长，而另一对压电陶瓷收缩，伸长与收缩的具有相同的位移量。 PT2M90-4000S 系列可快速，精确地定位光学组件， θxθy 光束偏转最大为达 20mrad/±10mrad（闭环） — 优异的温度稳定性 — 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统 — 并联运动实现更高精度和动态 — 推荐用于直径 25 mm 反射镜选配功能可将反射镜或棱镜定位在 20mrad 范围内。压电转向镜的特点是在两个轴上定位光学组件，偏转范围最大为±10 mrad（闭环）。其特点是易于更换不同的光学组件。 PT2M90-4000S 系列可以配备一个集成的定位传感 — — 可定制转接装置及定制其它固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择镜片转接工装应用领域器，可以非常精确地控制位置，并且可以设置和重现以前 — 图像处理、稳定设置的倾斜范围。 — 激光扫描、光束偏转 — 激光调谐、激光束稳定 — 光学过滤器、开关 — 干涉测量、振动各种尺寸的光学元件和光学组件都可以安装在该压电偏转镜系统上。激光扫描成像驱动方式 183 PT 结构特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT2M90-4000S 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器 2 PT2M90-4000S PT2M90-4000S-S 公差 8 θx、θy θx、θy - - SGS - 标称行程范围（@0~+120V） 4000”[Sec] ≈ 20 mrad（±10mrad） 4000”[Sec] ≈ 20 mrad（±10mrad） ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 5000”[Sec] ≈ 25 mrad（±12.5mrad） 5000”[Sec] ≈ 25 mrad（±12.5mrad） ±20% 3 0.2 μrad 0.5 μrad typ. 最小移动步长 4 1.0 μrad 1.0 μrad typ. - 0.35% typ. 分辨率线性误差重复定位精度承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 外形尺寸（直径×H） - 0.2 % typ. Ø25mm 光学镜片 Ø25mm 光学镜片 typ. 400 Hz 400 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Φ90×63 mm Φ90×63 mm - 重量 7 700 g 700 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT2M90-4000S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 184 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商高速转向镜压电偏转镜 PT2M32 系列长行程高动态、用于Φ12.5mm（0.5“）的反射镜产品描述 PT2M32 系列专为大角度偏转设计的，带有差动压电产品特性驱动（四脚架）的压电偏转镜系统，内部通过四个压电陶瓷作为驱动元件，两对θX 和θY 倾斜轴正交布置，使用时无需进行坐标转换。当每一对压电陶瓷受到不同的控制，即，一个压电陶瓷伸长，而另一对压电陶瓷收缩，伸长与收缩的具有相同的位移量。 PT2M32 系列压电偏转镜围绕一个轴倾斜需要同步移确地收缩然后以差分推挽模式有效地连接每对执行器，消除了 Z 轴的自由度。请注意，这种设计的枢轴点是固定的，并且两个旋转轴的枢轴点是相同的，是否选择在垂直平面或垂直于平台元件和光学组件都可以安装在该压电偏转镜系统上。 θxθy 光束偏转最大为 50mrad（闭环） — 优异的温度稳定性 — 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统 — 并联运动实现更高精度和动态 — 推荐用于直径 12.5mm（1.5“）反射镜选配功能动两个对角相对的压电执行器，以确保一个执行器能够精的平面中测量角度取决于您的应用要求。各种尺寸的光学 — — 可定制转接装置及定制其它固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择镜片转接工装应用领域 — 图像处理、稳定 PT2M32 系列可以配备一个集成的定位传感器，可以 — 激光扫描、光束偏转非常精确地控制位置，并且可以设置和重现以前设置的倾 — 激光调谐、激光束稳定斜范围。 — 光学过滤器、开关 — 干涉测量、振动激光扫描成像驱动方式 185 PT 结构特性 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT2M32-5000S/10000S 系列技术参数规格型号 1 运动轴 PT2M32-5000S-S PT2M32-10000S-S 公差 8 θx、θy θx、θy - SGS SGS - 集成传感器 2 标称行程范围（@0~+120V） 5000”[Sec] ≈25 mrad（±12.5mrad） 10000”[Sec] ≈ 50 mrad（±25mrad） ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V） 6000”[Sec] ≈30 mrad（±15mrad） 12000”[Sec] ≈60 mrad（±30mrad） ±20% 3 0.2 μrad 0.5 μrad typ. 最小移动步长 4 1.0 μrad 5 μrad typ. 线性误差 0.05% 0.05% typ. 重复定位精度 0.05% 0.05% typ. 20g 20g typ. 3000 Hz 1000 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ± Φ32×38 mm Φ32×38 mm - 65 g 65 g ±5% LEMO LEMO - 铝铝 - 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 外形尺寸（直径×H）重量 7 PZT&Sensor 连接器本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT2M32-5000S/10000S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 186 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 Z+Tip/Tilt 压电偏转镜 PT3V25-1000S 用于反射镜和光学元件的高动态三脚架结构产品描述产品特性 PT3V25-1000S 系列为 Z+θxθy 轴压电偏转镜，由三 — 光束偏转达 5mrad（闭环）个彼此成 120°角的压电陶瓷元件驱动，通过坐标变换，可 — 优异的温度稳定性以在不同的压电陶瓷之间协调运动。通过平行布置压电元 — 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统件并采用平行结构，可以用相同的机构紧凑地实现角位移 — 并联运动实现更高精度和动态和直线运动。 — 推荐用于直径 25 mm 反射镜本系列产品除了偏转操作之外，还可以通过在控制角选配功能位置之后在压电元件的所有轴上执行相同量的运动控制来执行在线性运动方向上的定位.本系列产品可应用于相移和校正光程长度差异。三脚架结构设计在较大的温度范围内提供优化的角度 — 可定制转接装置及定制其它固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可选择镜片转接工装稳定性。这种设计具有体积小巧、两轴具有相同的大小行程及动态性能、响应速度块及高线性度等优势，可防止偏振旋转。压电偏转镜θxθy 两轴通过相位相差 90°信号的正应用领域弦波输入，可扫描成为圆形，与 Z 向线性运动配合，通过控制电压的大小，对一定的光路距离，可进行一定范围的锥形螺旋范围扫描。内置位移传感器进行闭环的位置反馈，传感器以桥式 — 图像处理、稳定 — 激光扫描、光束偏转 — 激光调谐、激光束稳定 — 光学过滤器、开关 — 干涉测量、振动配置连接以消除热漂移从而保证优质的稳定性。紧凑型设计，可更好的集成于光学系统中。各种尺寸的光学元件和光学组件都可以安装在该压电偏转镜系统上。纳米压印技术驱动方式原理 187 PT 结构原理 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT3V25-1000S 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器 2 PT3V25-1000S PT3V25-1000S-S 公差 8 Z+θx、θy Z+θx、θy - - SGS - 标称行程范围（@0~+120V） (Z)30μm、(θxθy)1000”[Sec] ≈5.0 mrad (Z)30μm、(θxθy)1000”[Sec] ≈5.0 mrad ±10% 最大行程范围 2（@-20~+150V）轴 (Z)40μm、(θxθy)1200”[Sec] ≈6.0 mrad 轴 (Z)40μm、(θxθy)1200”[Sec] ≈6.0 mrad ±20% 轴（Z）0.3nm、（θx、θy）0.05 μrad 轴（Z）0.5nm、（θx、θy）0.1 μrad 分辨率 3 最小移动步长 4 线性误差重复定位精度承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 外形尺寸（直径×H） typ. （Z）1nm、（θx、θy）0.2 μrad （Z）1nm、（θx、θy）0.2 μrad typ. - 0.1% typ. - 0.05 % typ. Ø25mm 光学镜片 Ø25mm 光学镜片 typ. 2000 Hz 2000 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm Φ25×56 mm Φ25×56 mm - 重量 7 350 g 350 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 钢钢 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT3V25-1000S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 188 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PT 压电偏转台产品特点压电偏转台工作原理与压电偏转镜工作原理工作相同，其具有更大体积用来承载相关光学镜片进行扫描定位。压电偏转台利用压电陶瓷为驱动元件，光学镜片为传输载体。我司提供各种压电偏转台，产品类型从单轴到多轴，角度从微弧度到毫弧度偏转，系统具有快速转向特点。通过压电驱动系统进行微调整，尽管最大角位移很小，但级具有高速响应和高重复性特点。压电偏转台可在亚毫秒范围内提供非常快的响应时间，分辨率可低至纳弧度。直接驱动单元可实现更高的动态性能，而利用内部挠性运动放大器的设计可提供更大光束角度偏转。PT 系列压电偏转台结构使用柔性铰链结构执行高速微小角度位移，除了旋转和倾斜外，还可以通过同时控制多个轴来进行线性操作。压电偏转台既适用于高动态操作，例如跟踪，扫描，图像稳定，消除漂移和振动，也适用于光学系统和样品的静态定位。高速扫描操作压电陶瓷元件具有非常大的产生力（数千 N），并且具有很高的响应度（几十 kHz）和分辨率（低于 nm）。通过充分利用此功能，可以进行高速，高定位精度的操作。产品丰富 Θx 轴：具有单轴偏转工作台表面。 ΘxΘz 轴：可承载一定重量的负载进行振动/角度调整。 ΘxΘy 轴：带有差动压电驱动的压电偏转系统，内部通过四个压电陶瓷元件作为驱动元件，两对θX 和θY 倾斜轴正交布置，使用时无需进行坐标转换。 Z 升降+ΘxΘy 轴：由三个彼此成 120°角的压电陶瓷驱动，通过坐标变换，可以在不同的压电陶瓷之间协调运动。通过平行布置压电陶瓷元件并采用平行结构，可以用相同的机构紧凑地实现角位移和直线运动。型号配置 189 PT 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商产品系列 Θx 轴（单轴型）型号编号行程参考页面 PT1T ±1mrad ▶P.191 型号编号行程参考页面 PT2T ±1mrad ▶P.191 型号编号行程参考页面 PT3V ±1.1mrad ▶P.193 型号编号行程参考页面 PT2R 0.5mrad ▶P.195 ΘxΘy 轴（差分驱动结构） Z+ΘxΘy（三脚架结构） ΘxΘz（偏转+旋转） ※ 图像上的箭头表示移动方向。请检查每个产品的外形尺寸图，以了解实际的移动方向。压电偏转台控制系统我们可定制各类需求的压电控制系统，例如宇航级、工业级、OEM 板卡式等，其中小体积用于静态使用等类型产品。压电偏转台控制系统可选择数字通信控制，包含上位机软件控制，该软件提供标准配置功能，可确保整个系统的轻松直观操作。除了简单的位置指定，手动或自动步长控制外，还可以进行动态控制及相位调整操作。我们建议在动态要求高且所需控制器性能操作较便捷的应用中使用模拟控制压电系统，此外，可避免系统通信耗时影响。 ※ 为避免损坏，需要对系统进行全面的了解以正确控制压电偏转台控制系统。光学镜片的安装说明注意：切勿通过“撬动”或“旋转”光学镜片的承载面及施加机械力来拆卸光学镜片，因为外力可以直接传递到内部压电陶瓷上面，而导致压电陶瓷损坏或导致柔性机构变形。切勿使用化学溶剂进行擦拭，因为它们很容易进入柔性铰链缝隙中，也不要有其他物体阻碍运动，以免影响精度或损坏设备。过度用力会增加看似坚固的压电偏转系统受损的风险，特别是对于安装镜片应用或拆卸镜片时。用户可根据相应系统的用户手册中的说明安装镜子。粘贴胶粘剂建议使用 3 点进行。为了实现最佳的粘接效果，应选择硬化温度约为 20°C 的环氧树脂双组分粘接剂。如果必须卸下镜片，我们建议使用热风吹干机小心加热镜片以软化粘合剂，然后可以轻松拆下镜片。也可通过转接方式进行偏摆台的安装，安装前先清洁安装支架，如果在动态应用系统上安装了较大的镜子或较大的质量（例如分束器），则可能会导致性能下降或特性可能与规格指标的有所不同。系统兼容性注意：当压电偏转台有多轴时，一定要注意一一对应连接。特别具有独立连接器含有恒压标签的一定对应控制器指定接口，否则会损坏压电偏转台。当闭环控制操作时，压电偏转台内部的位置传感器与压电控制器需要配调节，所以压电偏摆台内部传感器传感器需要与压电控制器对应使用，错误的连接可能会引起系统故障。 ※ 当开环控制操作时，兼容同一型号压电控制产品。 service@nanomotions.com PT 190 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商快速 Tip/Tilt 偏摆台压电偏摆台 PT2T125-160S 超薄型、大孔径、紧凑型设计产品描述产品特性 PT2T125-160S 开发用于需要在光学检查和成像系统中对镜子进行超高精度定位的应用。反射镜简单地固定在平台的倾斜平台上，可提供> ±1mrad 的行程和亚微弧度的分辨率；低移动质量和优化的闭环控制可为高速应用提供出色的响应时间。 PT2T125-160S 可单轴使用，型号为 PT1T125-160S。 — 中空尺寸 80x80mm — 优异的位置稳定性及亚毫弧度级分辨率 — θxθy 二维偏转 — 闭环光束偏转角度≥±0.8 mrad — 内部集成应变片传感器 — 选配功能 PT2T125-160S 是采用压电陶瓷驱动的偏转台，平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保 — 可定制转接装置及定制其它固定方式了平台极佳的运动精度和超高的稳定性。 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时 — 可定制镜片转接工装间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且中央通孔较大，可应用领域更好的集成于显微及扫描系统中。可选择内置位置传感器。集成在压电偏转镜中的传感 — 图像处理/稳定器是测量线性位移的线性传感器。闭环传感器可选择应变 — 激光扫描/光束偏转片式传感器或电容位置传感器，可获得更高的定位精度。 — 激光调谐、激光束稳定 — 光学过滤器/开关 — 干涉测量驱动方式结构特性图 191 PT 021-54668263 工作模式 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT2T125-160S 系列技术参数规格型号 1 PT2T125-160S PT2T125-160S-S 公差 8 θx、θy θx、θy - - SGS - ±160 ”[Sec] ≈ ±0.8 mrad/轴 ±160 ”[Sec] ≈ ±0.8 mrad/轴 ±10% 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） ±200”[Sec] ≈ ±1.0 mrad/轴 ±200”[Sec] ≈ ±1.0 mrad/轴 ±20% 3 0.01 μrad 0.03 μrad typ. 最小移动步长 4 0.05 μrad 0.05 μrad typ. 分辨率线性误差 - 0.1% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中孔尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 10 N 10 N typ. 300 Hz 300 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. ±10mm 1.5 m 1.5 m 80×80 mm 80×80 mm 125×125×20 mm 125×125×20 mm - 510 g 510 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT2T125-160S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 192 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商坐标变换型偏摆台压电偏摆/旋转台 PT3V150-180S 超薄型、大孔径、紧凑型设计产品描述产品特性 PT3V150-180S 开发用于需要在光学检查和成像系统中对镜子进行超高精度定位的应用。反射镜简单地固定在平台的倾斜平台上，可提供> ±0.9mrad 的行程和亚微弧度的分辨率；低移动质量和优化的闭环控制可为高速应用提供出色的响应时间。压电偏转镜由三个彼此成 120°角的压电陶瓷元件驱 — 中空尺寸 100x100mm — 优异的位置稳定性及亚毫弧度级分辨率 — θxθy 二维偏转 — Z 轴位移 80μm、闭环光束偏转角度≥±0.9 mrad（闭环） — 内部集成应变片传感器 — 选配功能动，通过坐标变换，可以在不同的压电陶瓷元件之间协调运动。通过平行布置压电陶瓷元件并采用平行结构，可以用相同的机构紧凑地实现角位移和直线运动。 PT3V150-180S 是采用压电陶瓷驱动的偏转台，采用有限元分析进行优化，平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保了平台极佳的运动精度和超高的稳定性。 — 可定制转接装置及定制其它固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制镜片转接工装应用领域平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及光学扫描系统中。 — 图像处理/稳定 — 激光扫描/光束偏转 — 激光调谐、激光束稳定 — 光学过滤器/开关 — 干涉测量纳米压印技术驱动方式结构特性图 193 PT 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT3V150-180S 系列技术参数规格型号 1 PT3V150-180S PT3V150-180S-S 公差 8 θx、θy θx、θy - - SGS - (Z)80μm (θxθy)±180”[Sec] ≈±0.9mrad (Z)80μm (θxθy)±180”[Sec] ≈±0.9mrad ±10% 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 (Z)110μm (θxθy)±220”[Sec] ≈±1.1mrad 最大行程范围（@-20~+150V） (Z)110μm (θxθy)±220”[Sec] ≈±1.1mrad ±20% 3 (Z)0.7nm、(θxθy) 0.02μrad (Z)1.5nm、(θxθy) 0.05μrad typ. 最小移动步长 4 (Z)3nm、(θxθy) 0.1μrad (Z)0.7nm、(θxθy) 0.1μrad typ. 线性误差 - 0.1% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.05% typ. 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中孔尺寸外形尺寸（长×宽×高）重量 7 10 N 10 N typ. 350 Hz 350 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. ±10mm 1.5 m 1.5 m 100×100 mm 100×100 mm 150×150×20 mm 150×150×20 mm - 820 g 820 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT3V150-180S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 194 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 θxθz 偏转台压电偏摆/旋转台 PT2R70-060S 大承载、紧凑型设计产品描述 PT2R70-060S 开发 θxθz 轴进行超高精度定位的应产品特性用。可提供 0.3mrad 的行程和亚微弧度的分辨率；低移动质量和优化的闭环控制可为高速应用提供出色的响应时间。 PT2R70-060S 系列压电偏摆/旋转台通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快， — 偏转角度：0.3mrad — 优异的位置稳定性及纳弧度级分辨率 — θxθz 二维偏转、旋转运动 — 超精度柔性铰链设计 — 内部集成应变片传感器 — 选配功能是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构，可以满足高的动态性能和高的平面导向精度。平台特点体积小、结构紧凑、易于集成。被广泛的应 — 可定制转接装置及定制其它固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制镜片转接工装用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等领域。平台可带载 5kg 负载使用。应用领域 — 图像处理/稳定 — 激光扫描/光束偏转 — 激光调谐、激光束稳定 — 光学过滤器/开关 — 干涉测量光镊驱动方式 195 PT 关系曲线图 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT2R70-060S 系列技术参数规格型号 1 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） PT2R70-060S PT2R70-060S-S 公差 8 θx、θz θx、θz - - SGS - 60”[Sec] ≈0.3 mrad 60”[Sec] ≈0.3 mrad ±10% 100”[Sec] ≈0.5 mrad 100”[Sec] ≈0.5 mrad ±20% 3 0.003 μrad 0.05 μrad typ. 最小移动步长 4 0.01 μrad 0.01 μrad typ. 线性误差 - 0.2% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.1% typ. 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围 50 N 50 N typ. （θx、θz）1200 Hz、1600 Hz （θx、θz）1200 Hz、1600 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. ±10mm 线缆长度 6 1.5 m 1.5 m 移动面尺寸 Φ45 mm Φ45 mm 70×70×37.5 mm 70×70×37.5 mm - 355 g 355 g ±5% 外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT2R70-060S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 196 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商高动态偏转台压电偏转台 PT2R225-080S 重载型、紧凑设计产品描述 PT2R225-080S 以微位移角振动台为研究对象,角振产品特性动在电压控制下沿着θx 进行偏转运动,移动台面沿着θz 偏转,整体复合形成两自由度的运动。本系统设备中，采用压电陶瓷作为旋转和偏转方向的驱动元件。压电偏摆/旋转台承载物体面约为 170x170mm，整体移动面高于固定部分，便于安装负载，承载能力约 50kg，偏转角度 0.2mrad，压电旋转/偏摆台的特殊机械结构设计可用于大负载动态使用。整体平台采用 8 个 M6 螺丝进行固定。压电陶瓷驱 — 偏转角度：0.4mrad — 承载能力：60N — θxθz 二维偏转运动 — 超精度柔性铰链设计 — 内部集成应变片传感器 — 选配功能动线缆及反馈线缆在整体平台的一侧采用侧出线的方式。 — 可定制转接装置及定制其它固定方式压电旋转/偏摆台，采用并联叠加运动机构设计，在并联多 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度轴系统中，所有压电陶瓷作用于同一个运动台面。并采用 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。利用压电 — 可定制镜片转接工装陶瓷直接驱动机械结构形式，具有高刚度、高承载、高动态等特点。压电平台整体由旋转、偏转机械机构两部分的组成，通过柔性铰链及导向结构，无需维护、无摩擦、无应用领域 — 模拟空间扰动系统 — 激光扫描/光束偏转 — 激光调谐、激光束稳定 x, θz 通过压电控制器输出的电压控制压电旋转/偏转台内 — 光学过滤器/开关部的压电陶瓷，使压电陶瓷产生位移输出，在通过柔性铰 — 图像处理与稳定磨损，无需润滑、高寿命优点，可实现高负载能力，内置压电陶瓷作为执行元件、位置传感器作为反馈元件，其中偏转方向采用差分驱动原理，避免温度变化引起的飘移。θ 链及导向的连接，进而使其进行旋转/偏摆运动。驱动方式 197 PT 关系曲线图 021-54668263 典型应用 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT2R225-080S 系列技术参数规格型号 1 PT2R225-080S PT2R225-080S-S 公差 8 θx、θz θx、θz - - SGS - 80”[Sec] ≈0.4 mrad（θx：±0.2mrad） 80”[Sec] ≈0.4 mrad（θx：±0.2mrad） ±10% 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 100”[Sec] ≈0.5 mrad（θx：±0.25mrad） 100”[Sec] ≈0.5 mrad（θx：±0.25mrad）最大行程范围（@-20~+150V） ±20% 3 0.004 μrad 0.01 μrad typ. 最小移动步长 4 0.02 μrad 0.02 μrad typ. 线性误差 - 0.2% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.15% typ. 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围 50 N 60 N typ. （θz、θx）500 Hz、850 Hz （θz、θx）500 Hz、850 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. ±10mm 线缆长度 6 1.5 m 1.5 m 承载面尺寸 170×170 mm 170×170 mm 225×225×90 mm 225×225×90 mm - 20 Kg 20 Kg ±5% 外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT2R70-060S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 198 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PT 压电旋转台（含多轴平台）产品特点压电旋转台系列是单轴压电旋转台，具有纳弧度分辨率，是激光束转向，跟踪和扫描应用的理想选择。可在闭环控制下提供绝对，可重复的位置测量。多轴压电平台由压电陶瓷驱动多自由度运动平台。压电平台既适用于高动态操作，例如跟踪，扫描，图像稳定，消除漂移和振动，也适用于光学系统和样品的静态定位。关于移动轴、转动轴名称的定义，本公司作如下图的约定。水平方向为 X 轴、Y 轴；垂直方向为 Z 轴；绕 X、Y、Z 轴的转动分别记作α轴(θx)，β轴(θy)，θ轴(θz)。高速旋转定位操作压电陶瓷元件具有非常大的产生力（数千 N），并且具有很高的响应度（几十 kHz）和分辨率（低于 nm）。通过充分利用此功能，可以进行高速，高定位精度的操作。柔性铰链机构使用柔性铰链导向机构适用于纳米级定位，因为没有间隙或摩擦。使用柔性铰链的压电平台可以在保持高分辨率的同时实现高重复度。型号配置 199 PT 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商产品系列 Θz 轴型号编号行程参考页面 PT1C 0.4mrad、6mrad ▶P.201 型号编号行程参考页面 PT6H (XYZ)10μm，（θxθyθz)1mrad ▶P.205 XYZΘxΘyΘz 轴压电旋转台 ※ 图像上的箭头表示移动方向。请检查每个产品的外形尺寸图，以了解实际的移动方向。压电位移台控制系统我们可定制各类需求的压电控制系统，例如宇航级、工业级、OEM 板卡式等，其中小体积用于静态使用等类型产品。压电位移台控制系统可选择数字通信控制，包含上位机软件控制，该软件提供标准配置功能，可确保整个系统的轻松直观操作。除了简单的位置指定，手动或自动步长控制外，还可以进行动态控制及相位调整操作。我们建议在动态要求高且所需控制器性能操作较便捷的应用中使用模拟控制压电系统，此外，可避免系统通信耗时影响。 ※ 为避免损坏，需要对系统进行全面的了解以正确控制压电偏转台控制系统。关于光学镜片的安装说明注意：切勿通过“撬动”或“旋转”光学镜片的承载面及施加机械力来拆卸光学镜片，因为外力可以直接传递到内部压电陶瓷上面，而导致压电陶瓷损坏或导致柔性机构变形。切勿使用化学溶剂进行擦拭，因为它们很容易进入柔性铰链缝隙中，也不要有其他物体阻碍运动，以免影响精度或损坏设备。过度用力会增加看似坚固的压电位移台受损的风险，特别是对于安装镜片应用或拆卸镜片时。用户可根据相应系统的用户手册中的说明安装镜子。粘贴胶粘剂建议使用 3 点进行。为了实现最佳的粘接效果，应选择硬化温度约为 20°C 的环氧树脂双组分粘接剂。如果必须卸下镜片，我们建议使用热风吹干机小心加热镜片以软化粘合剂，然后可以轻松拆下镜片。也可通过转接方式进行偏摆台的安装，安装前先清洁安装支架，如果在动态应用系统上安装了较大的镜子或较大的质量（例如分束器），则可能会导致性能下降或特性可能与规格指标的有所不同。系统兼容性注意：当压电位移台有多轴时，一定要注意一一对应连接。特别具有独立连接器含有恒压标签的一定对应控制器指定接口，否则会损坏压电偏转台。当闭环控制操作时，压电位移台内部的位置传感器与压电控制器需要配调节，所以压电位移台内部传感器传感器需要与压电控制器对应使用，错误的连接可能会引起系统故障。 ※ 当开环控制操作时，兼容同一型号压电控制产品。 service@nanomotions.com PT 200 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商平面型旋转台压电旋转台 PT1C60-1200S 超薄型、高动态、紧凑型设计产品描述单轴低压旋转平台是我们超快速的系列产品中的一项, 产品特性 — Θz 偏转角度：6mrad — 优异的位置稳定性 — 可带载 15mm 的光学镜片由于对 FEA 的优化，这些平台具有最高的动态性能和 — 内部集成应变片传感器较高的平面导向精度，即使在紧凑型包装中具有高质量负 — 亚毫秒级响应时间压电旋转台可提供高达 6mrad（闭环）的旋转范围和扫描范围。旋转轴位于中心。载的情况下，也可以实现这一目标。压电系统还提供可绕其轴连续运动的旋转平台。可以选配功能找到这些压电驱动的长行程设备，这些设备也可以与运动 — 可定制转接装置及定制其它固定方式控制下的纳米定位驱动器结合使用。 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度压电旋转台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为导 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位 — 可定制镜片转接工装分辨率高等优点。而且快速偏摆台拥有更高的精度和线性度。闭环旋转范围为 6mrad。旋转轴位于正中心。中心孔应用领域径可用于轴向光束应用。采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构，可以满足高的动态性能和高的平面导向精度。平台特点体积小、结构紧凑、易于集成。压电旋转台不仅限于用作物理定位仪器，越来越多的基于压电的旋转位移台在生物系统仪器（如针头调节或光纤对准）的高精度定位领域中也很常见。被广泛的应用于粒子 201 PT 图像处理/稳定 — 激光扫描/光束偏转 — 激光调谐、激光束稳定 — 光镊 — 粒子跟踪 — 跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等领域。驱动方式 — 工作模式 021-54668263 关系曲线 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT1C60-1200S 系列技术参数规格型号 1 运动轴 PT1C60-1200S PT1C60-1200S-S 公差 8 θz θz - - SGS 集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） 1200”[Sec] 1600”[Sec] ≈ 6 mrad ≈ 8.5 mrad 1200”[Sec] 1600”[Sec] ≈ 6 mrad ±10% ≈ 8.5 mrad ±20% 3 0.05μrad 0.1 μrad typ. 最小移动步长 4 0.2 μrad 0.2 μrad typ. 线性误差 - 0.35% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.15% typ. 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中孔尺寸外形尺寸（长×宽×高） 1N 1N typ. 1100 Hz 1100 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 1.5 m 1.5 m ±10mm - - 60×60×15 mm 60×60×15 mm - 重量 7 105 g 105 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 铝铝 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT1C60-1200S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 202 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商中空型旋转台压电旋转台 PT1C50-080S 超薄型、大孔径、紧凑型设计产品描述压电旋转台可提供高达 0.4 mrad 的旋转范围和扫描产品特性 — 中空尺寸:Φ20mm — 优异的位置稳定性 — 可带载 15mm 的光学镜片由于对 FEA 的优化，这些平台具有最高的动态性能和 — 内部集成应变片传感器较高的平面导向精度，即使在紧凑型包装中具有高质量负 — 亚毫秒级响应时间范围。旋转轴位于中心，内置的自由光圈使这些平台可用于轴向光束应用。载的情况下，也可以实现这一目标。压电系统还提供可绕其轴连续运动的旋转平台。可以选配功能找到这些压电驱动的长行程设备，这些设备也可以与运动 — 可定制转接装置及定制其它固定方式控制下的纳米定位驱动器结合使用。 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度压电旋转台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为导 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位 — 可定制镜片转接工装分辨率高等优点。而且快速偏摆台拥有更高的精度和线性度。旋转轴位于正中心。中心孔径可用于轴向光束应用。应用领域采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构，可以满足高的动态性能和高的平面导向精度。平台特点体积小、结构紧凑、易于集成。压电旋转台不仅限于用作物理定位仪器，越来越多的基于压电的旋转位移台在生物系统仪器（如针头调节或光纤对准）的高精度定位领域中也很常见。被广泛的应用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、 — 图像处理/稳定 — 激光扫描/光束偏转 — 高速激光束转向光学陷波 — 干涉仪、光纤布拉格光栅写作 — 光盘制造、天文学、动光学扫描显微镜等领域。驱动方式 203 PT 关系曲线图 021-54668263 关系曲线 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PT1C50-080S 系列技术参数规格型号 1 PT1C50-080S PT1C50-080S-S 公差 8 θz θz - - SGS 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V） ≈ 0.4 mrad 80”[Sec] ≈ 0.5 mrad 1000”[Sec] ≈ 0.4 mrad 80”[Sec] 1000”[Sec] ≈ 0.5 mrad ±10% ±20% 3 0.004 μrad 0.01 μrad typ. 最小移动步长 4 0.02 μrad 0.02 μrad typ. 线性误差 - 0.5% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.2% typ. 分辨率承载能力 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围线缆长度 6 中孔尺寸外形尺寸（直径×高） 40 N 40 N typ. 3500 Hz 3500 Hz ±20% PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. ±10mm 1.5 m 1.5 m Φ20 mm Φ20 mm Φ50×20 mm Φ50×20 mm - 重量 7 140 g 140 g ±5% PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 钢钢 - 本体材质注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT1C50-080S 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PT 204 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商多轴运动位移台压电纳米位移台 PT6H60-S 六自由度运动、超紧凑设计产品描述 PT6H60-S 光学平台通常需要粘接镜面的位置（例如，产品特性用于光路调整），为此，平移/倾斜系统开发了一个 32mm 的移动台面，可在 x，y 和 z 方向上提供运动。在两个正交轴及 Z 轴上的 15 µm，偏转度为±0.5 mrad、旋转轴角度为 1mrad。三个平移轴的挠性铰链可确保在此平台的行程范围内实现最高程度的平行度，每个轴均具有内置的集成机械预移动面：Φ32mm — 优异的位置稳定性 — 可带载 500g 负载 — 内部集成应变片传感器 — 毫秒级响应时间选配功能紧力，这使得 6 轴压电定位器非常适合动态应用。设计用于正负偏转。该结构具有温度补偿功能，因此周围温度的变化不会影响倾斜角度，因为镜架已预载，并且具有高刚度和夹紧频率的特点，因此可以进行动态操作。固态挠性铰链的主要部件由金属材质制成，底板和顶 — — 可定制转接装置及定制其它固定方式 — 可选 PZT&Sensor 连接器及线缆长度 — 可选配闭环(SGS) 位置反馈系 — 可定制镜片转接工装应用领域板由黑色阳极氧化铝制成。 — 图像处理/稳定可选版本，六轴压电定位器可以与集成的应变仪测量 — 激光扫描/光束偏转系统一起提供。压电旋转台不仅限于用作物理定位仪器， — 高速激光束转向光学陷波越来越多的基于压电的旋转位移台在生物系统仪器（如针 — 干涉仪、光纤布拉格光栅写作头调节或光纤对准）的高精度定位领域中也很常见。被广 — 光轴调整、天文学、动光学泛的应用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等领域。光轴调整运动方式 205 PT 关系曲线图 021-54668263 关系曲线 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · System PT6H60 系列外形尺寸超精密压电纳米定位系统制造商系列技术参数规格型号 1 PT6H60-S 公差 8 X、Y、Z、θx、θy、θz X、Y、Z、θx、θy、θz - - SGS - （XYZ）15 μm/轴、（θxθyθz）1 mrad （XYZ）15 μm/轴、（θxθyθz）1 mrad ±10% （XYZ）20 μm/轴、（θxθyθz）1 .5 mrad （XYZ）20 μm/轴、（θxθyθz）1 .5 mrad ±20% （XYZ）0.15 nm、（θxθyθz）0.01 nm （XYZ）0.2nm、（θxθyθz）0.03 nm typ. （XYZ）0.3 nm、（θxθyθz）0.04 μrad （XYZ）0.3 nm、（θxθyθz）0.04 μrad typ. 线性误差 - 0.2% typ. 重复定位精度（全行程） - 0.15% typ. 40 N 40 N typ. （XYZ）2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz （θxθyθz）3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz （XYZ）2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz （θxθyθz）3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz ±20% 运动轴集成传感器标称行程范围 2（@0~+120V） 2 最大行程范围（@-20~+150V）分辨率 3 最小移动步长承载能力 4 5 谐振频率（0g）驱动机构工作温度范围 PZT PZT - -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 线缆长度 6 1.5 m 1.5 m ±10mm 移动面尺寸 Φ32 mm Φ32 mm - 60 × 60 × 50 mm 60 × 60 × 50 mm - 420 g 420 g ±5% 外形尺寸（长×宽×高）重量 7 PZT&Sensor 连接器 LEMO LEMO - 本体材质铝、钢铝、钢 - 压电偏转镜 PT6H60 注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。 2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。 3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。 4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。 5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。 6.更长的线缆长度请咨询。 7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。 8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。 PT6H60 系列外形尺寸 [ 通过施加电压，载物台将按箭头所示方向移动。] service@nanomotions.com PA 206 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PA 压电促动器产品特点机械封装式压电陶瓷促动器能够在 0 µm 至 200 µm 甚至更高的运动范围内实现出色的性能，并产生高达上千牛的最大输出力。PA 系列在非常紧凑外壳中提供了标称行程范围内的纳米分辨率和毫秒级的响应时间。在开环版本中，分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过压电促动器底部的螺纹孔完成的，移动端应避免弯矩载荷和侧向力。PA 系列封装压电促动器的内部为压电直驱结构，因此，高度越高，位移将越大可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性。SGS 采用全桥方式传感器，并且对温度不敏感，闭环装置可以用于开环或闭环控制。型号配置开环特性迟滞特性蠕变特性 207 PA 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · System 超精密压电纳米定位系统制造商产品系列 VS12 型号编号行程参考页面 PAL xx VS 12 9μm~160μm ▶P.209 型号编号行程参考页面 PAL xx VS 15 9μm~160μm ▶P.210 型号编号行程参考页面 PAL xx VS 20 9μm~160μm ▶P.211 型号编号行程参考页面 PAL xx VS 25 9μm~160μm ▶P.212 型号编号行程参考页面 PAL xx M 14 9μm~160μm ▶P.213 型号编号行程参考页面 PAL xx M 22 9μm~160μm ▶P.214 VS15 压电偏转镜 VS20 VS25 M14 M22 产品应用模态分析振动控制材料测试 service@nanomotions.com 机械工业 PA 208 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PAL VS12 系列技术参数标称行程驱动电压外壳长度 L 谐振频率轴向刚度静电容量轴向负载轴向拉力 μm±10% Max. V mm±0.03 @0g. Hz N/μm μF±20% Max. N Max. N PAL 7 VS12 9 0...+150 19 40K 120 0.8 1200 200 PAL 20 VS12 19 0...+150 28 30K 60 1.8 1200 200 PAL 40 VS12 38 0...+150 46 20K 25 3.6 1200 200 PAL 60 VS12 57 0...+150 64 15K 15 5.4 1200 200 PAL 80 VS12 76 0...+150 82 12K 12 7.2 1200 200 PAL 100 VS12 95 0...+150 100 10K 10 9.0 1200 200 PAL 120 VS12 114 0...+150 118 8K 8 11 1200 200 PAL 140 VS12 133 0...+150 136 6K 7 13 1200 200 PAL 160 VS12 152 0...+150 154 5K 6 15 1200 200 规格型号 PAL ＞ 160 VS12 ＞ 160 请咨询销售工程师。注：1.最大驱动电压为 0~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V。 2.内置闭环(SGS) 位置反馈系统版本的线性度为 0.1%F.S.，重复定位精度为 0.05%F.S.。 3.电压连接：LEMO FFA.00.250 同轴电缆 RG 178，标称长度 1.5 米。（可选 BNC 连接器） 4.工作温度范围：-20~+80°C。 5.外壳及运动端材料：不锈钢。 6.所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。 7.欲了解更多信息，请与我们联系。 PAL VS12 系列外形尺寸订购信息[例] 产品型号 209 移动端形式传感器移动端转接形式（选配）电气连接线缆长度 PAL..VS12-S 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 SGS 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PAL..VS12 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 / 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PA 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · System 超精密压电纳米定位系统制造商 PAL VS15 系列技术参数驱动电压外壳长度 L 谐振频率轴向刚度静电容量轴向负载轴向拉力 μm±10% Max. V mm±0.03 @0g. Hz N/μm μF±20% Max. N Max. N PAL 20 VS15 19 0...+150 28 30K 120 3.6 2300 400 PAL 40 VS15 38 0...+150 46 20K 60 7.2 2300 400 PAL 60 VS15 57 0...+150 64 14K 35 11 2300 400 PAL 80 VS15 76 0...+150 82 12K 25 14 2300 400 PAL 100 VS15 95 0...+150 100 10K 20 18 2300 400 PAL 120 VS15 114 0...+150 118 8K 15 21 2300 400 PAL 140 VS15 133 0...+150 136 7K 14 25 2300 400 PAL 160 VS15 152 0...+150 154 6K 13 28 2300 400 PAL 180 VS15 171 0...+150 172 5K 11 33 2300 400 PAL 200 VS15 190 0...+150 190 4K 10 37 2300 400 PAL ＞ 200 VS15 ＞ 200 压电偏转镜标称行程规格型号请咨询销售工程师。注：1.最大驱动电压为 0~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V。 2.内置闭环(SGS) 位置反馈系统版本的线性度为 0.1%F.S.，重复定位精度为 0.05%F.S.。 3.电压连接：LEMO FFA.00.250 同轴电缆 RG 178，标称长度 1.5 米。（可选 BNC 连接器） 4.工作温度范围：-20~+80°C。 5.外壳及运动端材料：不锈钢。 6.所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。 7.欲了解更多信息，请与我们联系。 PAL VS15 系列外形尺寸订购信息[例] 产品型号移动端形式传感器移动端转接形式（选配）电气连接线缆长度 PAL..VS15-S 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 SGS 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PAL..VS15 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 / 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m service@nanomotions.com PA 210 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PAL VS20 系列技术参数标称行程驱动电压外壳长度 L 谐振频率轴向刚度静电容量轴向负载轴向拉力 μm±10% Max. V mm±0.03 @0g. Hz N/μm μF±20% Max. N Max. N PAL 20 VS20 19 0...+150 35 30K 250 7 4700 700 PAL 40 VS20 38 0...+150 53 20K 120 14 4700 700 PAL 60 VS20 57 0...+150 71 14K 70 22 4700 700 PAL 80 VS20 76 0...+150 89 12K 50 30 4700 700 PAL 100 VS20 95 0...+150 107 10K 40 39 4700 700 PAL 120 VS20 114 0...+150 125 8K 35 47 4700 700 PAL 140 VS20 133 0...+150 143 7K 30 55 4700 700 PAL 160 VS20 152 0...+150 161 6K 35 63 4700 700 PAL 180 VS20 171 0...+150 179 5K 22 71 4700 700 PAL 200 VS20 190 0...+150 197 4K 20 80 4700 700 规格型号 PAL ＞ 200 VS20 ＞ 200 请咨询销售工程师。注：1.最大驱动电压为 0~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V。 2.内置闭环(SGS) 位置反馈系统版本的线性度为 0.1%F.S.，重复定位精度为 0.05%F.S.。 3.电压连接：LEMO FFA.00.250 同轴电缆 RG 178，标称长度 1.5 米。（可选 BNC 连接器） 4.工作温度范围：-20~+80°C。 5.外壳及运动端材料：不锈钢。 6.所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。 7.欲了解更多信息，请与我们联系。 PAL VS20 系列外形尺寸订购信息[例] 产品型号 211 移动端形式传感器移动端转接形式（选配）电气连接线缆长度 PAL..VS20-S 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 SGS 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PAL..VS20 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 / 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PA 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · System 超精密压电纳米定位系统制造商 PAL VS25 系列技术参数驱动电压外壳长度 L 谐振频率轴向刚度静电容量轴向负载轴向拉力 μm±10% Max. V mm±0.03 @0g. Hz N/μm μF±20% Max. N Max. N PAL 20 VS25 19 0...+150 37 28K 500 11 7300 1000 PAL 40 VS25 38 0...+150 57 18K 250 22 7300 1000 PAL 60 VS25 57 0...+150 77 13K 160 33 7300 1000 PAL 80 VS25 76 0...+150 97 11K 100 44 7300 1000 PAL 100 VS25 95 0...+150 117 9K 80 55 7300 1000 PAL 120 VS25 114 0...+150 137 7K 65 66 7300 1000 PAL 140 VS25 133 0...+150 157 6K 55 77 7300 1000 PAL 160 VS25 152 0...+150 177 5K 50 88 7300 1000 PAL 180 VS25 171 0...+150 197 4K 45 100 7300 1000 PAL 200 VS25 190 0...+150 217 3K 40 110 7300 1000 PAL ＞ 200 VS25 ＞ 200 压电偏转镜标称行程规格型号请咨询销售工程师。注：1.最大驱动电压为 0~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V。 2.内置闭环(SGS) 位置反馈系统版本的线性度为 0.1%F.S.，重复定位精度为 0.05%F.S.。 3.电压连接：LEMO FFA.00.250 同轴电缆 RG 178，标称长度 1.5 米。（可选 BNC 连接器） 4.工作温度范围：-20~+80°C。 5.外壳及运动端材料：不锈钢。 6.所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。 7.欲了解更多信息，请与我们联系。 PAL VS25 系列外形尺寸订购信息[例] 产品型号移动端形式传感器移动端转接形式（选配）电气连接线缆长度 PAL..VS25-S 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 SGS 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PAL..VS25 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 / 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m service@nanomotions.com PA 212 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PAL M14 系列技术参数标称行程驱动电压外壳长度 L 谐振频率轴向刚度静电容量轴向负载轴向拉力 μm±10% Max. V mm±0.03 @0g. Hz N/μm μF±20% Max. N Max. N PAL 7 M14 9 0...+150 19 40K 120 0.8 1200 200 PAL 20 M14 19 0...+150 28 30K 60 1.8 1200 200 PAL 40 M14 38 0...+150 46 20K 25 3.6 1200 200 PAL 60 M14 57 0...+150 64 15K 15 5.4 1200 200 PAL 80 M14 76 0...+150 82 12K 12 7.2 1200 200 PAL 100 M14 95 0...+150 100 10K 10 9.0 1200 200 PAL 120 M14 114 0...+150 118 8K 8 11 1200 200 PAL 140 M14 133 0...+150 136 6K 7 13 1200 200 规格型号 PAL ＞ 140 M14 ＞ 140 请咨询销售工程师。注：1.最大驱动电压为 0~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V。 2.内置闭环(SGS) 位置反馈系统版本的线性度为 0.1%F.S.，重复定位精度为 0.05%F.S.。 3.电压连接：LEMO FFA.00.250 同轴电缆 RG 178，标称长度 1.5 米。（可选 BNC 连接器） 4.工作温度范围：-20~+80°C。 5.外壳及运动端材料：不锈钢。 6.所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。 7.欲了解更多信息，请与我们联系。 PAL M14 系列外形尺寸订购信息[例] 产品型号 213 移动端形式传感器移动端转接形式（选配）电气连接线缆长度 PAL..M14-S 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 SGS 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PAL..M14 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 / 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PA 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · System 超精密压电纳米定位系统制造商 PAL M22 系列技术参数驱动电压外壳长度 L 谐振频率轴向刚度静电容量轴向负载轴向拉力 μm±10% Max. V mm±0.03 @0g. Hz N/μm μF±20% Max. N Max. N PAL 20 M22 19 0...+150 35 30K 250 7 4700 700 PAL 40 M22 38 0...+150 53 20K 120 14 4700 700 PAL 60 M22 57 0...+150 71 14K 70 22 4700 700 PAL 80 M22 76 0...+150 89 12K 50 30 4700 700 PAL 100 M22 95 0...+150 107 10K 40 39 4700 700 PAL 120 M22 114 0...+150 125 8K 35 47 4700 700 PAL 140 M22 133 0...+150 143 7K 30 55 4700 700 PAL 160 M22 152 0...+150 161 6K 35 63 4700 700 PAL 180 M22 171 0...+150 179 5K 22 71 4700 700 PAL 200 M22 190 0...+150 197 4K 20 80 4700 700 PAL ＞ 200 M22 ＞ 200 压电偏转镜标称行程规格型号请咨询销售工程师。注：1.最大驱动电压为 0~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V。 2.内置闭环(SGS) 位置反馈系统版本的线性度为 0.1%F.S.，重复定位精度为 0.05%F.S.。 3.电压连接：LEMO FFA.00.250 同轴电缆 RG 178，标称长度 1.5 米。（可选 BNC 连接器） 4.工作温度范围：-20~+80°C。 5.外壳及运动端材料：不锈钢。 6.所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。 7.欲了解更多信息，请与我们联系。 PAL M22 系列外形尺寸订购信息[例] 产品型号移动端形式传感器移动端转接形式（选配）电气连接线缆长度 PAL..M22-S 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 SGS 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m PAL..M22 球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端 / 外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端 BNC / LEMO 1.5m service@nanomotions.com PA 214 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PC 压电控制器（闭环）产品特点 PC 系列压电陶瓷控制器是用来驱动控制压电陶瓷以及纳米定位台等产品的设备，根据结构形式主要分为模块化式、集成式、OEM 板卡式控制器产品。包含模拟、数字、键盘、I/O 等多种控制方式，具有开环、闭环、单路、多路多种型号可选。高精度读取位移台内置的位移传感器的信号，通过 PID 控制实现高速，高精度的定位。输入接口支持模拟和数字信号，并具监测输出功能。功能模块化控制器：8000/9000 系列多功能模块化控制器是由四个模块组成：功率放大模块，PZT 传感控制模块，显示与通信模块以及机箱供电模块。机箱内各功能模块可任意组合。集成式控制器：控制系统包括控制电路，驱动器和位移传感器放大器集成在一起，可以直接连接至压电级以进行闭环控制，高精度的定位，无滞后和蠕变。控制方式模拟输入是标准设备，并且可以添加“串行（RS-232/RS-422）”或“USB”或网络通信功能模块。（特殊型号指定）传感监控输出内置在位移台中的位移传感器的信号作为电压（0~+10 V）输出，压电位移台的当前位置和工作状态可以用示波器等检查。 215 PC 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PID 调节用户可以调整 P，I 和 D 参数。可以使用传感器监控器端子的输出来确认调节程度。控制方式模拟量输入控制： ●可以将模拟电压（0 至 10 V）输入到前面板上的输入端子进行控制。 ●对应的压电平台平台（0 到全行程）的移动量。 ●可以与正弦波，三角波或任何模拟电压信号同步进行连续操作。串行（RS-232）控制：（RS-422/USB 通信同理） ●通过串口线缆连接到 PC 后即可立即操作（免费提供示例软件）。按键控制（仅 8000/9000 系列）： ●通过附加的数字通信模块，利用按键进行操作，包括定位和波形等功能。型号配置 service@nanomotions.com PC 216 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商模块化控制器配置表机箱参数模块对照表[8000/9000 系列] 类别驱动模块 19“机箱载体 9.5“机箱载体 1~18 通道 1~9 通道输入模拟信号 100V/150V/200V/300V/±150V ±200/±300V/600V 900V/1800V/±900V 输出电压纹波 ≤ 5mV ≤ 10mV ≤ 20mV 输出电压分辨率 16Bit( 满幅值 1/30000) 串口 /USB 通信接口 RS-232/RS-422( 波特率 9600)/USB 2.0 电压稳定性＜ 0.1%F.S（满量程）/8hours 模拟输入阻抗 100KΩ±20% 空载满幅值带宽可选择 1K、10K、20K、50K Hz 驱动模块通道数 1~3 路单通道平均功率 7W ~ 35W 单通道峰值功率 20W ~ 110W 平均电流 40mA ~ 350mA 峰值电流 100mA ~ 11A 大信号带宽 1kHz ~ 50kHz 电流限制短路保护电压增益 10 ~ 180 倍调节旋钮 0~10 圈传感器模式 SGS、LVDT、CAP 传感通道数 1~3 路传感器接口 4 芯 LEMO 连接器传感器输出接口传感器输出电压单路 BNC 连接器、三路 LEMO 连接器单极性电源：0~+10V 双极性电源：-10~+10V 主控通道数 1~3 路 D/A 转换器 16 Bit ±10V 输出 A/D 转换器 16Bit ±10V 输入供电模式 AC 220V±10％ 50Hz±10％组合形式可配备驱动，传感和主控模块，详见各模块及组合说明外部特征各模块间可任意组合/升级基本控制方式手动调节、模拟输入、计算机串口 /USB 接口、波形控制、开 / 闭环控制基本功能过流保护功能，温度保护功能，动态功率保护软件配置配有功能强大的标准计算机控制软件自发波形功能介绍 217 单极性 0~+10V 或 0~+5V, 双极性 -10~+10V 或 -5~+5V 可选输出电压 PC 正弦波，方波，三角波，锯齿波 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 8000/9000 系列配置模块压电驱动模块参数（将外部模拟输入信号通过功率放大模块内部的电压与功率放大电路将信号放大。）通道数模拟输入输出电压带宽平均电流峰值电流平均功率纹波噪声型号 1 0~+10V 0~+100V 1kHz 350mA 1050mA 35W 5mV NM-801 1 0~+10V 0~+120V 1kHz 291mA 873mA 35W 5mV NM-802 1 0~+10V 0~+150V 1kHz 233mA 700mA 35W 5mV NM-803 1 0~+10V 0~+200V 1kHz 175mA 525mA 35W 5mV NM-804 1 0~+10V 0~+300V 1kHz 116mA 348mA 35W 5mV NM-805 1 0~+10V 0~+400V 1kHz 87mA 260mA 35W 5mV NM-806 1 0~+10V 0~+900V 1kHz 5.5mA 16.5mA 35W 10mV NM-807 1 0~+10V 0~+100V 10kHz 350mA 1050mA 35W 5mV NM-808 1 0~+10V 0~+120V 10kHz 291mA 873mA 35W 5mV NM-809 1 0~+10V 0~+150V 10kHz 233mA 700mA 35W 5mV NM-810 1 0~+10V 0~+900V 3kHz 5.5mA 16.5mA 35W 10mV NM-811 1 0~+10V 0~+100V 30kHz 250mA 750mA 35W 5mV NM-812 1 0~+10V 0~+120V 30kHz 208mA 624mA 35W 5mV NM-813 1 0~+10V 0~+150V 30kHz 166mA 498mA 35W 5mV NM-814 1~3 0~+10V 0~+100V 1kHz 70mA 210mA 7W 5mV NM-901 1~3 0~+10V 0~+120V 1kHz 58mA 174mA 7W 5mV NM-902 1~3 0~+10V 0~+150V 1kHz 47mA 141mA 7W 5mV NM-903 1~3 0~+10V 0~+100V 10kHz 70mA 210mA 7W 5mV NM-904 1~3 0~+10V 0~+120V 10kHz 58mA 174mA 7W 5mV NM-905 1~3 0~+10V 0~+150V 10kHz 47mA 141mA 7W 5mV NM-906 1~3 0~+10V 0~+100V 30kHz 70mA 210mA 7W 5mV NM-907 1~3 0~+10V 0~+120V 30kHz 58mA 174mA 7W 5mV NM-908 1~3 0~+10V 0~+150V 30kHz 47mA 141mA 7W 5mV NM-909 压电传感模块（位置传感器反馈信号与处理）通道数电压输出范围传感器类伺服特性输出接口工作温度范围型号 1 0~+10V 电阻应变式模拟 PID+陷波滤波 BNC 0~50℃ NP-801 1 0~+10V 电感式模拟 PID+陷波滤波 BNC 0~50℃ NP-802 1 0~+10V 电容式模拟 PID+陷波滤波 BNC 0~50℃ NP-803 2~3 0~+10V 电阻应变式模拟 PID+陷波滤波 LEMO 0~50℃ NP-801 2~3 0~+10V 电感式模拟 PID+陷波滤波 LEMO 0~50℃ NP-802 2~3 0~+10V 电容式模拟 PID+陷波滤波 BNC 0~50℃ NP-803 通信接口模块（具有输出与测量电压和位移、波形控制、选择功能、设定参数等功能）通道数处理器接口 DA 转换器分辨率 AD 转换器型号 1 DSP 32 位浮点型 RS-232、RS-422、USB 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-901 2 DSP 32 位浮点型 RS-232、RS-422、USB 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-902 2 ARM 32 位浮点型 RS-232、RS-422、网口 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-904 3 DSP 32 位浮点型 RS-232、RS-422、USB 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-903 3 ARM 32 位浮点型 RS-232、RS-422、网口 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-904 service@nanomotions.com PC 218 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PCM811S/810S 系列参数表[标准] 规格型号 PCM810S PCM811S 通道数量 1 1 传感器类型 SGS SGS 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V BNC BNC 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 290mA 290mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 35W 35W 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 LEMO ERA.0S.304.CLL LEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 BNC BNC 通信接口 - RS-232/422/USB MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 电压输出分辨率工作温度尺寸工作电压 9.5” 9.5” AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 7500g 7500g 重量 PCM811S/PCM810S 外形尺寸 219 PC 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PCM921S/920S 系列参数表[标准] 规格型号 PCM920S PCM921S 通道数量 2 2 传感器类型 SGS SGS 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V BNC BNC 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 LEMO ERA.0S.304.CLL LEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 LEMO ERA.0S.303.CLL LEMO ERA.0S.303.CLL 通信接口 - RS-232/422/USB MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 电压输出分辨率工作温度尺寸工作电压 9.5” 9.5” AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 5600g 5600g 重量 PCM921S/PCM920S 外形尺寸 service@nanomotions.com PC 220 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PCM931S/930S 系列参数表[标准] 规格型号 PCM930S PCM931S 通道数量 3 3 传感器类型 SGS SGS 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V BNC BNC 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 LEMO ERA.0S.304.CLL LEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 LEMO ERA.0S.303.CLL LEMO ERA.0S.303.CLL 通信接口 - RS-232/422/USB MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 电压输出分辨率工作温度尺寸工作电压 9.5” 9.5” AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 5800g 5800g 重量 PCM931S/PCM930S 外形尺寸 221 PC 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PCM931S/930S（含一路恒压）系列参数表规格型号 PCM930S（含一路恒压） PCM931S（含一路恒压）通道数量 3x 驱动、2x 传感 3x 驱动、2x 传感传感器类型 SGS SGS 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V BNC BNC 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (第三路恒压输出) 0~+120V (第三路恒压输出) 12 倍 12 倍标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p 3.5mVp-p 3xLEMO ERA.00.250.CTL 3xLEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 2xLEMO ERA.0S.304.CLL 2xLEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 LEMO ERA.0S.303.CLL LEMO ERA.0S.303.CLL 通信接口 - RS-232/422/USB MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 电压输出分辨率工作温度尺寸工作电压 9.5” 9.5” AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 5800g 5800g 重量 PCM931S/PCM930S 外形尺寸 service@nanomotions.com PC 222 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PCS210S/PCS211S 系列参数表规格型号 PCS210S PCS211S 通道数量 1 1 传感器类型 SGS SGS 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V SMB SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 LEMO ERA.0S.304.CLL LEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 SMB SMB 通信接口 - RS-232 MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 106×200×55mm（不含连接器尺寸） 106×200×55mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 1800g 1850g 电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量注：可选模拟 DC-OFFSET 接口模式。 PCS210S/PCS211S 外形尺寸 223 PC 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PCS210S/PCS211S（含一路恒压）系列参数表规格型号 PCS210S（含一路恒压） PCS211S（含一路恒压）通道数量 2x 驱动、1x 传感 2x 驱动、1x 传感传感器类型 SGS SGS 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V SMB SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (恒压 120V 输出) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p 3.5mVp-p 2xLEMO ERA.00.250.CTL 2xLEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 1xLEMO ERA.0S.304.CLL 1xLEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 SMB SMB 通信接口 - RS-232 MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 106×200×55mm（不含连接器尺寸） 106×200×55mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 1800g 1850g 电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量 PCS210S/PCS211S（含 1 路恒压）外形尺寸 service@nanomotions.com PC 224 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PCM220S 系列参数表[OEM] 规格型号 PCM220S 通道数量 2 传感器类型标准控制接口 SGS 模拟电压 0～+10V 模拟输入连接器 SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 电压增益 12 倍（(可选 15 倍）空载带宽（满量程） 1kHz 平均输出电流 60mA 峰值输出电流 200mA 输出功率 7W 纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 LEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 SMB 通信接口 - MCU 处理器 - D/A 转换器 - A/D 转换器 - 操作系统 - 电压输出分辨率取决于信号源分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压 0~+50℃ 100×200×55mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz 重量 1400g PCM220S 外形尺寸 225 PC 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PCM221S 系列参数表[OEM] 规格型号 PCM221S 通道数量 2 传感器类型标准控制接口模拟输入连接器 SGS 模拟电压 0～+10V SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 电压增益 12 倍（(可选 15 倍）空载带宽（满量程） 1kHz 平均输出电流 60mA 峰值输出电流 1000mA 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 7W 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 LEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 SMA 通信接口 RS-232/RS-422/USB(默认为 RS-232) MCU 处理器 DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 16Bit A/D 转换器 16Bit 操作系统 Windows xp/ 7 / 10 电压输出分辨率取决于信号源分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量 0~+50℃ 100×200×55mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz 1400g PCM220S 外形尺寸 service@nanomotions.com PC 226 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PCM230S/PCM231S 系列参数表[OEM] 规格型号 PCM230S PCM231S 通道数量 3 3 传感器类型 SGS SGS 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V SMB SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 5mVp-p 5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 LEMO ERA.0S.304.CLL LEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 SMB SMB 通信接口 - RS-232/RS-422/USB(默认为 RS-232) MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率取决于信号源分辨率 0~+50℃ 0~+50℃ 150×200×50mm（不含连接器尺寸） 150×200×50mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 1500g 1500g 电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量 PCM220S 外形尺寸 227 PC 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PCS310S/PCS311S 系列参数表[OEM] 规格型号 PCS310S PCS311S 通道数量 1 1 传感器类型 SGS - 标准控制接口模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V 模拟输入连接器 SMB（可选 SMA） SMB（可选 SMA）模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍 12 倍电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 600mA 1000mA 6W 6W 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p（1uF） 3.5mVp-p（1uF） LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 Seneor 传感输入连接器 LEMO ERA.0S.304.CLL LEMO ERA.0S.304.CLL Seneor 传感输出连接器 SMB SMB 通信接口 - RS-232 MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压 80×80×33mm（不含连接器尺寸） 80×130×33mm（不含连接器尺寸） DC12~30V/1.5A（推荐 24VDC，纹波 20mVpp） DC12~30V/1.5A（推荐 24VDC，纹波 20mVpp） 185g 200g 重量 PCS310S /PCS311S系列外形尺寸 service@nanomotions.com PC 228 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PCM330S/PCM331S/PCM320S/PCM321S 系列参数表[OEM] 规格型号 PCM330S PCM320S PCM331S PCM320S 通道数量 3 2 3 2 传感器类型 SGS SGS 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V SMB SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍 12 倍标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 600mA 600mA 输出功率 3W 3W 纹波噪声 5mVp-p（1.8uF） 5mVp-p（1.8uF） D-sub15 D-sub15 PZT&Seneor 连接器保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波模拟 P-I 算法+陷波滤波+低通滤波 SMB SMB 通信接口 Seneor 传感输出连接器 - RS-232 MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 操作系统电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量 0~+50℃ 0~+50℃ 160×100×35mm（不含连接器尺寸） 160×100×35mm（不含连接器尺寸） DC12~30V/1.5A（推荐 24VDC，纹波 20mVpp） DC12~30V/1.5A（推荐 24VDC，纹波 20mVpp） 200g 220g PCM330S/PCM331S/PCM320S/PCM321S 系列外形尺寸 229 PC 021-54668263 NOTE PC 230 NOTE 231 PC NOTE PC 232 NOTE 233 PC NOTE PC 234 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PD 压电驱动器（开环_无位置传感模块）产品特点 PD 系列为低噪声压电陶瓷驱动器，可在压电平台上施加电压以驱动它。可用作压电平台开环操作和高速驱动的大电流操作。它是一种开环控制，其压电平台运动具有迟滞和蠕变特性，但它适用于简单的振幅操作或通过输入外部传感器获取的信号来构建反馈系统的目的。功能开环控制压电平台相对于驱动器的输出电压的移动量不是线性的，并且出现迟滞和蠕变的压电特性。出于精确度要求的定位目的，需要通过控制器进行闭环控制。电压输出通过向模拟输入端子输入 0~+10 V 的电压，可以获得 0 到最大电压输出。您也可以通过旋转前面板上的偏置调节来手动输出 0 至最大电压。（其他电压均可定制）过电流保护电路如果操作超过允许的输出值，或者由于电介质击穿而使压电元件短路，则电流会立即停止，并且过载指示灯会亮起。控制方式模拟量输入控制： ●可以将模拟电压（0 至 10 V）输入到前面板上的输入端子进行控制。 ●对应的压电平台平台（0 到全行程）的移动量。 ●可以与正弦波，三角波或任何模拟电压信号同步进行连续操作。 235 PD 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商串行（RS-232）控制：（RS-422/USB 通信同理） ●通过串口线缆连接到 PC 后即可立即操作（免费提供示例软件）。按键控制（仅 8000/9000 系列）： ●通过附加的数字通信模块，利用按键进行操作，包括定位和波形等功能。开环控制示例型号配置 service@nanomotions.com PD 236 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商模块化控制器配置表机箱参数模块对照表[8000/9000 系列] 类别驱动模块 19“机箱载体 9.5“机箱载体 1~18 通道 1~9 通道输入模拟信号单极性 0~+10V 或 0~+5V, 双极性 -10~+10V 或 -5~+5V 可选输出电压 100V/150V/200V/300V/±150V ±200/±300V/600V 900V/1800V/±900V 输出电压纹波 ≤ 5mV ≤ 10mV ≤ 20mV 输出电压分辨率 16Bit( 满幅值 1/30000) 串口 /USB 通信接口 RS-232/RS-422( 波特率 9600)/USB 2.0 电压稳定性＜ 0.1%F.S（满量程）/8hours 模拟输入阻抗 100KΩ±20% 空载满幅值带宽可选择 1K、10K、20K、50K Hz 驱动模块通道数 1~3 路单通道平均功率 7W ~ 35W 单通道峰值功率 20W ~ 110W 平均电流 40mA ~ 350mA 峰值电流 100mA ~ 11A 大信号带宽 1kHz ~ 50kHz 电流限制短路保护电压增益 10 ~ 180 倍调节旋钮 0~10 圈传感器模式 SGS、LVDT、CAP 传感通道数 1~3 路传感器接口 4 芯 LEMO 连接器传感器输出接口传感器输出电压单路 BNC 连接器、三路 LEMO 连接器单极性电源：0~+10V 主控通道数 1~3 路 D/A 转换器 16 Bit ±10V 输出 A/D 转换器 16Bit ±10V 输入供电模式 AC 220V±10％ 50Hz±10％组合形式可配备驱动，传感和主控模块，详见各模块及组合说明外部特征各模块间可任意组合/升级基本控制方式手动调节、模拟输入、计算机串口 /USB 接口、波形控制、开 / 闭环控制基本功能过流保护功能，温度保护功能，动态功率保护软件配置配有功能强大的标准计算机控制软件波形功能正弦波，方波，三角波，锯齿波注：模块化压电控制器可任意组合，开环可升级为闭环产品。 237 双极性电源：-10~+10V PD 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 8000/9000 系列配置模块压电驱动模块参数（将外部模拟输入信号通过功率放大模块内部的电压与功率放大电路将信号放大。）通道数模拟输入输出电压带宽平均电流峰值电流平均功率纹波噪声型号 1 0~+10V 0~+100V 1kHz 350mA 1050mA 35W 5mV NM-801 1 0~+10V 0~+120V 1kHz 291mA 873mA 35W 5mV NM-802 1 0~+10V 0~+150V 1kHz 233mA 700mA 35W 5mV NM-803 1 0~+10V 0~+200V 1kHz 175mA 525mA 35W 5mV NM-804 1 0~+10V 0~+300V 1kHz 116mA 348mA 35W 5mV NM-805 1 0~+10V 0~+400V 1kHz 87mA 260mA 35W 5mV NM-806 1 0~+10V 0~+900V 1kHz 5.5mA 16.5mA 35W 10mV NM-807 1 0~+10V 0~+100V 10kHz 350mA 1050mA 35W 5mV NM-808 1 0~+10V 0~+120V 10kHz 291mA 873mA 35W 5mV NM-809 1 0~+10V 0~+150V 10kHz 233mA 700mA 35W 5mV NM-810 1 0~+10V 0~+900V 3kHz 5.5mA 16.5mA 35W 10mV NM-811 1 0~+10V 0~+100V 30kHz 250mA 750mA 35W 5mV NM-812 1 0~+10V 0~+120V 30kHz 208mA 624mA 35W 5mV NM-813 1 0~+10V 0~+150V 30kHz 166mA 498mA 35W 5mV NM-814 1~3 0~+10V 0~+100V 1kHz 70mA 210mA 7W 5mV NM-901 1~3 0~+10V 0~+120V 1kHz 58mA 174mA 7W 5mV NM-902 1~3 0~+10V 0~+150V 1kHz 47mA 141mA 7W 5mV NM-903 1~3 0~+10V 0~+100V 10kHz 70mA 210mA 7W 5mV NM-904 1~3 0~+10V 0~+120V 10kHz 58mA 174mA 7W 5mV NM-905 1~3 0~+10V 0~+150V 10kHz 47mA 141mA 7W 5mV NM-906 1~3 0~+10V 0~+100V 30kHz 70mA 210mA 7W 5mV NM-907 1~3 0~+10V 0~+120V 30kHz 58mA 174mA 7W 5mV NM-908 1~3 0~+10V 0~+150V 30kHz 47mA 141mA 7W 5mV NM-909 压电传感模块（位置传感器反馈信号与处理）_开环无传感模块配置，为可选附件功能升级。通道数电压输出范围传感器类伺服特性输出接口工作温度范围型号 1 0~+10V 电阻应变式模拟 PID+陷波滤波 BNC 0~50℃ NP-801 1 0~+10V 电感式模拟 PID+陷波滤波 BNC 0~50℃ NP-802 1 0~+10V 电容式模拟 PID+陷波滤波 BNC 0~50℃ NP-803 2~3 0~+10V 电阻应变式模拟 PID+陷波滤波 LEMO 0~50℃ NP-801 2~3 0~+10V 电感式模拟 PID+陷波滤波 LEMO 0~50℃ NP-802 2~3 0~+10V 电容式模拟 PID+陷波滤波 BNC 0~50℃ NP-803 通信接口模块（具有输出与测量电压和位移、波形控制、选择功能、设定参数等功能）通道数处理器接口 DA 转换器分辨率 AD 转换器型号 1 DSP 32 位浮点型 RS-232、RS-422、USB 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-901 2 DSP 32 位浮点型 RS-232、RS-422、USB 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-902 2 ARM 32 位浮点型 RS-232、RS-422、网口 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-904 3 DSP 32 位浮点型 RS-232、RS-422、USB 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-903 3 ARM 32 位浮点型 RS-232、RS-422、网口 16 Bit 1/30000.FS 16 Bit NC-904 service@nanomotions.com PD 238 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PDM811/810 系列参数表[标准] 规格型号 PDM810 PDM811 通道数量 1 1 传感器类型 - - 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V BNC BNC 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 290mA 290mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 输出功率 35W 35W 纹波噪声 3.5mVp-p 3.5mVp-p PZT 输出连接器 - - 保护电路 - - 伺服特性 - - Seneor 传感输入连接器 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232/422/USB MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 电压输出分辨率工作温度尺寸工作电压重量 9.5” 9.5” AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 7500g 7500g PDM811/PDM810 外形尺寸 239 PD 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PDM921/920 系列参数表[标准] 规格型号 PDM920 PDM921 通道数量 2 2 传感器类型 - - 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V BNC BNC 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 3.5mVp-p 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性 - - Seneor 传感输入连接器 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232/422/USB MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ PZT 输出连接器电压输出分辨率工作温度尺寸工作电压重量 9.5” 9.5” AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 5600g 5600g PDM921/PDM920 外形尺寸 service@nanomotions.com PD 240 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PDM931/930 系列参数表[标准] 规格型号 PDM930 PDM931 通道数量 3 3 传感器类型 - - 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V BNC BNC 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 3.5mVp-p 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性 - - Seneor 传感输入连接器 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232/422/USB MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ PZT 输出连接器电压输出分辨率工作温度尺寸工作电压重量 9.5” 9.5” AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 5800g 5800g PDM931/PDM930 外形尺寸 241 PD 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PDM931/930（含一路恒压）系列参数表规格型号 PDM930（含一路恒压） PDM931（含一路恒压）通道数量 3x 驱动、2x 传感 3x 驱动、2x 传感传感器类型 - - 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V BNC BNC 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (第三路恒压输出) 0~+120V (第三路恒压输出) 12 倍 12 倍标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 3.5mVp-p 3.5mVp-p 3xLEMO ERA.00.250.CTL 3xLEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性 - - Seneor 传感输入连接器 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232/422/USB MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ PZT 输出连接器电压输出分辨率工作温度尺寸工作电压重量 9.5” 9.5” AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 5800g 5800g PDM931/PDM930 外形尺寸 service@nanomotions.com PD 242 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PDS210/PDS211 系列参数表规格型号 PDS210 PDS211 通道数量 1 1 传感器类型 - - 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V SMB SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 3.5mVp-p 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性 - - Seneor 传感输入连接器 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232 MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 106×200×55mm（不含连接器尺寸） 106×200×55mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 1800g 1850g PZT 输出连接器电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量注：可选模拟 DC-OFFSET 接口模式。 PDS210/PDS211 外形尺寸 243 PD 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PDS210/PDS211（含一路恒压）系列参数表规格型号 PDS210（含一路恒压） PDS211（含一路恒压）通道数量 2x 驱动 2x 驱动传感器类型 - - 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V SMB SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (恒压 120V 输出) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 3.5mVp-p 3.5mVp-p 2xLEMO ERA.00.250.CTL 2xLEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性 - - Seneor 传感输入连接器 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232 MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ 106×200×55mm（不含连接器尺寸） 106×200×55mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 1800g 1850g PZT 输出连接器电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量 PDS210/PDS211（含 1 路恒压）外形尺寸 service@nanomotions.com PD 244 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PDM220 系列参数表[OEM] 规格型号 PDM220 通道数量 2 传感器类型标准控制接口模拟电压 0～+10V 模拟输入连接器 SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 电压增益 12 倍（(可选 15 倍）空载带宽（满量程） 1kHz 平均输出电流 60mA 峰值输出电流 200mA 输出功率 7W 纹波噪声 PZT 输出连接器 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制伺服特性 - Seneor 传感输入连接器 - Seneor 传感输出连接器 - 通信接口 - MCU 处理器 - D/A 转换器 - A/D 转换器 - 操作系统 - 电压输出分辨率取决于信号源分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压 0~+50℃ 100×200×55mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz 重量 1400g PCM220S 外形尺寸 245 PD 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PDM221 系列参数表[OEM] 规格型号 PDM221 通道数量 2 传感器类型标准控制接口模拟输入连接器模拟电压 0～+10V SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 电压增益 12 倍（(可选 15 倍）空载带宽（满量程） 1kHz 平均输出电流 60mA 峰值输出电流 1000mA 输出功率纹波噪声 PZT 输出连接器 7W 3.5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制伺服特性 - Seneor 传感输入连接器 - Seneor 传感输出连接器 - 通信接口 RS-232/RS-422/USB(默认为 RS-232) MCU 处理器 DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 16Bit A/D 转换器 16Bit 操作系统 Windows xp/ 7 / 10 电压输出分辨率取决于信号源分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量 0~+50℃ 100×200×55mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz 1400g PDM220 外形尺寸 service@nanomotions.com PD 246 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PDM230/PDM231 系列参数表[OEM] 规格型号 PDM230 PDM231 通道数量 3 3 传感器类型 - - 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V SMB SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍（(可选 15 倍） 12 倍（(可选 15 倍）标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 1000mA 1000mA 7W 7W 输出功率纹波噪声 5mVp-p 5mVp-p LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性 - - Seneor 传感输入连接器 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232/RS-422/USB(默认为 RS-232) MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率取决于信号源分辨率 0~+50℃ 0~+50℃ 150×200×50mm（不含连接器尺寸） 150×200×50mm（不含连接器尺寸） AC220V±10%, 50/60Hz AC220V±10%, 50/60Hz 1500g 1500g PZT 输出连接器电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量 PDM220 外形尺寸 247 PD 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商 PDS310/PDS311 系列参数表[OEM] 规格型号 PDS310 PDS311 通道数量 1 1 传感器类型 - - 标准控制接口模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V 模拟输入连接器 SMB（可选 SMA） SMB（可选 SMA）模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍 12 倍电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 600mA 1000mA 6W 6W 输出功率纹波噪声 5mVp-p（1.8uF） 5mVp-p（1.8uF） LEMO ERA.00.250.CTL LEMO ERA.00.250.CTL 保护电路短路、功率限制短路、功率限制伺服特性 - - Seneor 传感输入连接器 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232 MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit 操作系统 - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. 0~+50℃ 0~+50℃ PZT 输出连接器电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压 80×65×33mm（不含连接器尺寸） 80×130×33mm（不含连接器尺寸） DC12~30V/1.5A（推荐 24VDC，纹波 20mVpp） DC12~30V/1.5A（推荐 24VDC，纹波 20mVpp） 185g 200g 重量 PDS310/PDS311 系列外形尺寸 service@nanomotions.com PD 248 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商 PDM330/PDM331/PDM320/PDM321 系列参数表[OEM] 规格型号 PDM330 PDM320 PDM331 PDM320 通道数量 3 2 3 2 传感器类型 - - 模拟电压 0～+10V 模拟电压 0～+10V SMB SMB 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 标配输出电压 0~+120V (可选 0～+150V) 0~+120V (可选 0～+150V) 12 倍 12 倍标准控制接口模拟输入连接器电压增益空载带宽（满量程） 1kHz 1kHz 平均输出电流 60mA 60mA 峰值输出电流 600mA 600mA 输出功率 3W 3W 纹波噪声 5mVp-p（1.8uF） 5mVp-p（1.8uF） D-sub15 D-sub15 保护电路 - - 伺服特性 - - Seneor 传感输出连接器 - - 通信接口 - RS-232 MCU 处理器 - DSP 32 位浮点 150MHz D/A 转换器 - 16Bit A/D 转换器 - 16Bit - Windows xp/ 7 / 10 取决于信号源分辨率 1/30000 F.S. PZT 连接器操作系统电压输出分辨率工作温度尺寸（W×D×H）工作电压重量 0~+50℃ 0~+50℃ 160×100×35mm（不含连接器尺寸） 160×100×35mm（不含连接器尺寸） DC12~30V/1.5A（推荐 24VDC，纹波 20mVpp） DC12~30V/1.5A（推荐 24VDC，纹波 20mVpp） 200g 220g PDM330/PDM331/PDM320/PDM321 系列外形尺寸 249 PD 021-54668263 NOTE PD 250 www.nanomotions.com 压电 · 定位 · 系统超精密压电纳米定位系统制造商压电变形镜驱动百通道压电变形驱动型号 PDM350 PDM256 PDM224 PDM130 驱动模块通道数 350 通道 256 通道 224 通道 130 通道 70 通道 36 通道输入模拟信号 0~+10V 0~+10V 0~+10V 0~+10V 0~+10V 0~+10V -20~+120V -20~+120V -20~+120V -350~+350V -20~+120V -20~+120V 输出电压纹波 5mVpp 5mVpp 5mVpp 5mVpp 5mVpp 5mVpp 输出电压分辨率 16bit 16bit 16bit 16bit 16bit 16bit 网口&光口百兆以太网百兆以太网百兆以太网百兆以太网网口&光口输出电压通信接口电压稳定性 PDM036 ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 100KΩ 100KΩ 100KΩ 100KΩ 空载满幅值带宽 1KHz 1KHz 1KHz 1KHz 1KHz 1KHz 单通道平均功率 3W 3W 3W 5W 3W 80W 平均电流 30mA 30mA 30mA 10mA 30mA 1000mA 峰值电流 1000mA 1000mA 1000mA 30mA 1000mA 2000mA 保护功能功率、短路保护功率、短路保护功率、短路保护功率、短路保护功率、短路保护功率、短路保护电压增益 12 倍 12 倍 12 倍 35 倍 12 倍 12 倍 D/A 转换器 16bit 16bit 16bit 16bit 16bit 16bit A/D 转换器 16bit 16bit 16bit 16bit 16bit 16bit AC220V/50Hz AC220V/50Hz AC220V/50Hz AC220V/50Hz AC220V/50Hz AC220V/50Hz 模拟&网口/光口网口网口网口网口模拟&网口/光口 1300W 1000W 1000W 1300W 1000W 2000W 测试软件测试软件测试软件测试软件测试软件测试软件供电模式基本控制方式输入总功率软件配置波形功能方波方波方波方波方波方波输入接口 J30J 航插 J24H 航插 J24H 航插 J24H 航插 J24H 航插 J24H 航插输出接口 J30J 航插 J24H 航插 J24H 航插 J24H 航插 J24H 航插 J24H 航插机箱尺寸 5U-19“ 8U-19“ 8U-19“ 8U-19“ 8U-19“ 6U-19“ 产品重量 65Kg 55Kg 55Kg 50Kg 40Kg 70kg 工作温度范围 -20℃~+50℃ -20℃~+50℃ -20℃~+50℃ -20℃~+50℃ -20℃~+50℃ -20℃~+50℃ 存储温度范围 -40℃~+60℃ -40℃~+60℃ -40℃~+60℃ -40℃~+60℃ -40℃~+60℃ -40℃~+60℃ 注：通道数量及参数可定制 251 PDM70 PD 021-54668263 www.nanomotions.com Piezo · Positioning · Systems 超精密压电纳米定位系统制造商压电变形镜驱动多通道压电变形驱动型号驱动模块通道数输入模拟信号输出电压输出电压纹波通信接口电压稳定性 PDM020 PDM018 PDM024 PDM048 PDM072 PDM034 20 通道 18 通道 24 通道 48 通道 72 通道 34 通道 0~+10V 0~+10V 0~+10V 0~+10V 0~+10V 0~+10V -300~+300V -20~+120V -20~+120V -200~+400V -20~+120V -20~+120V 5mVpp 5mVpp 5mVpp 5mVpp 5mVpp 10mVpp - RS-422 RS-422 - - 网口＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours ＜0.1%F.S8hours 模拟输入阻抗 100KΩ 100KΩ 100KΩ 100KΩ 100KΩ 100KΩ 空载满幅值带宽 1KHz 1KHz 1KHz 1KHz 1KHz 1KHz 单通道平均功率 5W 3W 3W 5W 5W 10W 平均电流 10mA 30mA 30mA 10mA 40mA 40mA 峰值电流 30mA 100mA 100mA 30mA 1000mA 600mA 保护功能功率、短路保护功率、短路保护电压增益 30 倍 12 倍 D/A 转换器 - 16bit A/D 转换器 - 16bit AC220V/50Hz AC220V/50Hz 模拟模拟/RS-422 150W 90W 软件配置 - 测试软件波形功能 - 标准波形输入接口 D-sub37/BNC IDC 端子输出接口 D-sub37/BNC D-sub15 机箱尺寸 3U-19“ 3U-9.5“ 产品重量 20Kg 9.5Kg 工作温度范围 -20℃~+50℃ -20℃~+50℃ 存储温度范围 -40℃~+60℃ -40℃~+60℃ 供电模式基本控制方式输入总功率注：通道数量及参数可定制功率、短路保护功功率、短路保护功功率、短路保护功功率、短路、温度率1 40 倍、2 16bit 1 短倍 6 16bit 1 路 b 6 AC220V/50Hz A 保AC220V/50Hz ib 护模拟/RS-422 C 模模拟 ti 2 拟 110W 9 300W t2 /0 测试软件测 0 R W 试标准波形正 V S 软弦 / IDC 端子 I航插件、 5 D 4 D-sub15 D 航插方 0 C 2 3U-9.5“ 3 3U-19“ 波 H 端 2 sU 111Kg 9 30Kg 、 z 子 u -.三 -20℃~+50℃ -b -20℃~+50℃ 9 5 角 -40℃~+60℃ 2 -1 -40℃~+60℃ .K 波 0 4 5 5 g ℃ 0 “ ~ ℃ + ~ 12 倍 5 + 0 6 ℃ 0 ℃ service@nanomotions.com 率1 12 倍、2 1 短倍 6 1 路 b 6 A 保AC220V/50Hz ib C 护模模拟 ti 2 拟 1 400W t2 /1 测 0 R 0 试正 V S W 软弦 /I-D-sub25D-sub2 件、 5 D 5 4 D LEMO 方 0 C 2 - 2-3U-19“ 3 波 H 端 2 sU 1 40Kg 、 z 子 u -1 三 -b -20℃~+50℃ 9 1 角 2 -1 -40℃~+60℃ .K 波 0 4 5 5 g ℃ 0 “ ~ ℃ + ~ 5 + 0 6 率1 、2 短倍 -路 12 倍 16bit 16bit A 保 24VDC-2A C 护模模拟&网口 2 拟 4 50W 2 0 -0 测试软件 0 -V 扫描式 W /D J30J 航插 5 -L J30J 航插 0 sE 2 157x73x55mm H u M 1 0.52g z b O 3 1 -2 -20℃~+50℃ U 1 2 5 -- -40℃~+60℃ K 0 D 4 1 g ℃ 0 9 ~ s℃ “ + u ~ 5 b + ℃ 0 0 2 6 ℃ 5 0 ℃ ℃ PD 252 超精密压电纳米定位系统专业制造商电话: 13764535512 座机: 021-54668263 官网: www.nanomotions.com 邮箱: info@nanomotions.com 地址: 上海市徐汇区虹梅路2008号3幢所有内容如有更改，恕不另行通知。 Revision 210319

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