Verigy 93000 SOC 测试系统 随着半导体设计技术的进步，越来越多的功能模块被设计在同一块芯片中， 也就是我们经常提到的SOC(system on a chip，系统芯片)技术。高速(high speed)，模拟(analog)， 嵌入式内存(embedded memory)和射频(RF)等不同功能 模块的集成使SOC 芯片的功能越来越强大，同时也对测试设备的能力及可扩展能 力提出了更高的要求。测试设备必须具有SOC 的整体测试能力，这成为业界对SOC 测试机台品质考量的共识。 Verigy 93000 SOC 测试系统，正是考虑到当前及未来SOC 技术全面集成的 需要所提供的芯片测试的系统解决方案。 Verigy 93000 SOC 系统的功能模块 93000 SOC 测试系统是由Verigy 在业界享有盛誉的三大系列测试机台整合 改进而成。它们是在数字功能和模拟功能分别具有领先地位的83000和94000测试 机台， 以及在射频(RF)和微波方面领导业界标准的84000测试机台。93000 SOC 将数字，模拟和射频三种测试功能和谐的整合在同一个测试机台中， 并且延续 了Verigy 一贯的自由灵活化升级配置，即保留大部分硬件配置，仅通过部分数 字测试通道板(channel board)，模拟模块(analog module)，射频模块(RF module) 等的增加或改变，实现向更高性能的升级。 93000 SOC 在整合三种测试机台的基础上，还对高速，模拟，嵌入式内存， 扫描测试(Scan)以及射频等多种测试功能分别进行了扩展和改进。 目前，93000 提供PS800 和PS400两种系列的数字通道板，速率从PS400 的 100Mb/s 到PS800 的800Mb/s。用户可根据芯片的实际需要选择不同速率的数字 通道板，并可实现不同系列的混合配置。每片数字通道板包含32 或64个数字I/O 通道，每个数字通道具有各自的测试向量内存，其测试向量深度最高达56M。数 字通道的per-pin 结构是93000 硬件构架的重要特点，即每个数字通道具有自己 的测试处理器（test processor），驱动器（driver），比较器（comparator）和 参数测量单元（PMU：parameter measure unit），使每个数字通道都具有了强大 的数字，SCAN 和memory 的测试功能。目前在93000 上测试数字功能模块的芯片 有各种类型，比如chipset（芯片组），CPU（中央处理器），DSP（数字信号处理 器），图形加速器，嵌入式内存，各种接口电路芯片，等等。 在模拟信号测试部分，93000 提供了三种不同类型的测试模块：AWG（任意 波形发生器）， Digitizer（数字转换器）和Sampler（波形采样器），以及TIA （时隙分析仪）。任意波形发生器是用来产生各种形式的模拟信号，比如说弦波、 方波、多频叠加波，作为测试芯片时所需的输入波形。数字转换器和波形采样器 则是采样芯片所输出的模拟信号，以便我们分析结果。而时隙分析仪可以检测输 出信号在时域(timedomain)方面的特性，例如频率，duty cycle（占空比），jitter （抖动）等等。93000提供了多种取样速率和多种分辨率的模拟测试模块，针对 各种混合信号芯片。 在射频测试部分，93000能够提供12个射频端口，并可升级到最高48个射频 端口。射频系统能达到6GHz信号源,8GHz接收，40MHz带宽。该系统能够覆盖各种 射频芯片的测试要求。 Verigy 93000 SOC 系统的硬件构架 在93000 的硬件构架中，最重要的是测试头部分。93000 具有超小头、小头 和大头。以小头为例，整个测试头被分为4 组，每组有对应的时钟板（clock board），控制板（control board），DC/DC 转换板，DPS 板（power supply board）， 以及最多8 片的数字通道板或者模拟模块。测试头上面是测试芯片界面 （ DUTinterface）。芯片或者晶圆将通过测试芯片界面与测试头相连。机械臂系 统（manipulator）使测试头可以灵活的上下左右移动及旋转。 冷却单元也同样是93000 SOC 的一大特点。以往的测试机台更多的是采用风 冷却。93000 采用的水冷却与风冷却相比，冷却速度快，噪声低，温度控制更方 便和稳定，冷却效果更均匀，保证了机台操作的稳定性。 同时需要提到，93000 SOC 采用的专用软件SmarTest，在惠普PC工作站Linux 操作平台上运行。SmarTest 将规范的图形界面和C 语言编程结合，不仅令使用 者可以方便的通过图形界面进行操作，同时又为测试程序的开发者留下了足够的 扩展空间。 SOC 测试是芯片测试的发展趋势之一。Verigy 93000 SOC 提供了在高速数 字，模拟，嵌入式内存，SCAN 和RF 方面的全面测试能力。它所具有的灵活可升 级配置在单一测试平台实现了广泛的测试应用。 Verigy 93000超大规模SOC测试系统可以对于包括了IP内核、复杂的数字逻 辑电路、模拟电路、RF射频电路、嵌入式存储器、高速数据总线和通讯接口电路 这样复杂的SOC芯片测试。 Verigy 93000是单一平台的可升级系统测试通道：从32 ~ 1024路通道自由升级 y 测试速度：从 200~800M 数据率根据要求升级，无需更换板卡，硬件 升级至 3.6G y 支持多种测试速度的通道板卡混插 y 模拟测试：各类丰富的模拟测试模块可供选择 y RF 射频测试：可升级到 4 颗器件的并行测试 y 支持高速数字、复杂混合信号、Memory、Flash 等各类应用