Advance Semiconductor and Device 設 課 學 稱: 電 子 學 (一 ) 授 課 老 師: 林 韋 丞 博 士 授 課 學 期: 2 0 2 3 / 第 一學期 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 1 OPC •Optimization of the mask pattern shape (optical proximity correction, OPC) •Optimization of the angles of light illuminating the mask (off-axis illumination, OAI) •Adding phase information to the mask (phase-shift masks, PSM) •Control of the polarization of the illumination from Field Guide to Optical Lithography 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 2 Optical Lithography 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 3 Finite-size lens effect In a real system, the cutoff spatial frequency is often limited by the size of the lens which is quantitatively described by a numerical aperture (NA). 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 4 CMOS gate length trend SOURCES: STANFORD NANOELECTRONICS LAB, IEEE INTERNATIONAL ROADMAP FOR DEVICES AND SYSTEMS 太赫茲晶片設計實驗室 2020 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 5 Contact/Metal pitch trend SOURCES: STANFORD NANOELECTRONICS LAB, IEEE INTERNATIONAL ROADMAP FOR DEVICES AND SYSTEMS 太赫茲晶片設計實驗室 2020 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 6 MOSFET Structure MOSFET StructuresTechnical Report No. UCB/EECS-2016-189 http://www2.eecs.berkeley.edu/Pubs/TechRpts/2016/EECS-2016-189.html 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 7 Pattern Technologies 太赫茲晶片設計實驗室 MOSFET StructuresTechnical Report No. UCB/EECS-2016-189 http://www2.eecs.berkeley.edu/Pubs/TechRpts/2016/EECS-2016-189.html 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 8 SOI and GAA structures MOSFET StructuresTechnical Report No. UCB/EECS-2016-189 http://www2.eecs.berkeley.edu/Pubs/TechRpts/2016/EECS-2016-189.html 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 9 SOI and GAA structures 太赫茲晶片設計實驗室 MOSFET StructuresTechnical Report No. UCB/EECS-2016-189 http://www2.eecs.berkeley.edu/Pubs/TechRpts/2016/EECS-2016-189.html 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 10 N/PMOS Characterization MOSFET StructuresTechnical Report No. UCB/EECS-2016-189 http://www2.eecs.berkeley.edu/Pubs/TechRpts/2016/EECS-2016-189.html 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 11 SPICE Modeling MOSFET StructuresTechnical Report No. UCB/EECS-2016-189 http://www2.eecs.berkeley.edu/Pubs/TechRpts/2016/EECS-2016-189.html 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 12 Multi-gate FinFET 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 13 Multi Gate FinFET 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 14 Multi Gate Performance 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 15 Ion performance 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 16 Capacitance performance 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 17 Gm performance 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 18 Summary of Structures 太赫茲晶片設計實驗室 長庚大學電機工程學系 太赫茲晶片設計實驗室 19