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创 变 智 造 新 未 来
台达 DIASECS
半导体设备标准通讯及控制应用软件
地 址 ： 上海市浦东新区民夏路238号
邮 编 ： 201209
版本 1.0（202303）
电 话 ：（021 ）5863-5678
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ELTA_IA-ISP_DIASECS_C_SC_20230308
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SECS / GEM 简介
目 录
SECS / GEM 是国际半导体设备及材料协会所制定的标准，用来统一设备与工厂控制系统之间的
通讯， 进行设备间异质系统整合。SECS 为通讯的标准，是 SEMI Equipment Communication
Standard 的缩写；GEM 为 Generic Equipment Model 的缩写，在 SEMI 的规格代号是 E30，
意旨通用的模型与制造行为。
DIASECS 是台达在半导体设备通讯标准和控制通用模型的解决方案，除提供 SECS / GEM 协议
标准， 也可通过组态工具的设定和高度自动化的无缝整合，协助客户迅速将 SECS / GEM 标准
导入设备，解决工厂面临的繁复过程、底层设备繁多及信息整合不易等问题，达到智能与
自动化的生产管理。 SECS / GEM 可应用于半导体、印刷电路板、光电面板、太阳能及电子
SECS / GEM 简介
1
DIASECS 全系列产品特性
3
■
产品概述
■
代表性客户
■
特性
■
模拟器
■
DIASECS-GEM 配置工具
元件等多种产业。
近年来，印刷电路板产业 (PCB) 确定以行之有年的 SECS / GEM 为通讯的基底，制订 PCBECI
(Printed Circuit Board Equipment Communication Interfaces; SEMI A3) 作为标准基础协议。
Factory Host / EAP
E4 - SECS-I
E5 - SECS-II
E37 - HSMS
E10 - Equipment Reliability,
Availability, Maintainability, and
Utilization
E116 - Equipment Performance
Tracking
E30 - GEM
E39 - Object Service
E40 - Processing Management
E90 - Substrate Tracking
E94 - Control Job Management
E148 - Time Synchronization and
Definition of the TS-Clock Object
E157 - Module Process Tracking
GEM (E30), 1992
SECS-II (E5), 1982
RS-232
SECS-I
(E4), 1980
TCP / IP
HSMS
(E37), 1994
E84 - Carrier Handoff
E87 - Carrier Management
E82 - Interbay / Intrabay AMHS SEM (IBSEM)
E88 - AMHS Storage SEM (Stocker SEM)
1
2
DIASECS 产品差异比较表
5
DIASECS Driver Library 函式库
6
DIASECS-GEM Library 函式库
7
DIASECS-GEM Runtime 执行系统 /
Box 通讯转换器
8
全系列产品应用场景
9
应用实例
9
■
光电面板厂导入
■
半导体 / 封测厂导入
型号说明
10
订购信息
10
DIASECS 全系列产品特性
DIASECS 全系列产品特性
产品概述
因应不同的使用场景及应用深度，台达的 DIASECS 系列有四种产品可以选择：DIASECS Driver Library、
符合 SEMI 标准 SECS
领先业界的传输速率
DIASECS-GEM Library、DIASECS-GEM Runtime、DIASECS-GEM Box。台达总结多年的使用经验，
•
支持 SEMI E4、E5、E30、E37、
E82、E88 通讯协议
•
•
支持 GEM300 E39、E40、E87、
E90、E94、E116 通讯协议
提供系统建置工具和一体化模拟器，作为使用者在设计、开发、测试的过程所需的辅助工具。客户开发
完成后可进行功能验证与压力测试。
DIASECS Driver
Library 函式库
SECS / GEM
DIASECS-GEM
Library 函式库
DIASECS-GEM
主机
Runtime / Box
SECS-I 或
HSMS
设备
通讯速率达每秒 300 次以上
信息传输
弹性支持客制化
全方位测试工具
•
通过工具设定，快速达成
SECS-GEM 标准功能
•
•
提供拆 / 组 SECS 封包功能，
可自由实作
提供使用者在设计、开发、
测试过程所需的辅助工具，
可先自主做功能确认
•
•
支持 .NET Framework 4.0 及
.NET Core 3.1 以上
图形界面设定工具，使用者
可快速完成参数配置
•
支持 Window XP、Window 7、
Windows 8 、Windows 10 、
Windows Server 2003 以上、
Linux
模拟器
代表性客户
台达 DIASECS
第一版于 2012 年正式发行于液晶面板业，至今已使用于 30+ 家的客户，5,000+ 安装数，
稳定性及辅助工具的方便性皆得到客户高度认可。
模拟上位系统或设备端
标准化 SECS / GEM 信息
撰写脚本进行功能验证或压力测试
DIASECS-GEM 配置工具
液晶面板
太阳能面板
触控面板
半导体
相关
电子元件
印刷电路板
设备商
系统进入画面
3
下拉式设定功能选单
4
直观式数据设定
DIASECS 产品差异比较表
DIASECS
Driver Library 函式库
DIASECS Driver Library 函式库
DIASECS-GEM
Library 函式库
DIASECS-GEM
Runtime 执行系统
DIASECS-GEM
Box 通讯转换器
型号
应用场域
SEMI 标准
厂端 & 设备端
厂端 & 设备端
SEMI E4, E5, E37
SEMI E4, E5, E37, E30,
E82, E88, E39, E40,
E90, E94, E87, E116
GEM
•
弹性信息拆解与编辑
•
简单的初始化即可进行信息收送，快速转译
•
通讯传输速率达每秒 300 次以上信息传输
•
提供模拟工具，验证开发功能是否符合需求
6
SEMI E4, E5, E37, E30, E82, E88
SECS-I 或 HSMS Protocol
‒
Init()
V
‒
GEM / GEM300 /
PCBECI
Start()
GEM / PCBECI
V
模拟工具
配置工具
快速转译符合 SEMI 的标准信息。
>300 Trxs / sec
通讯能力
编译 / 拆解信息
设备端
上位系统和设备通过 SECS Driver 进行信息格式定义与传输，提供高效能且易于使用的 API，
V
‒
Log 层级
Control Message / Hex / SML
Control Message / Hex / SML /
Transaction Data / Trace Data
编译程序
DLL & ActiveX ; C#, C++
No-Code (组态工具)
接收信息
接收信息
传送信息
PCbase
显示界面 (UI)
‒
V
应用领域
光电面板
半导体、LED、印刷电路板
支持对外接口
‒
Stop()
Dispose()
SECS-II
Messaging
SECS GEM
‒
5
(Event Callback)
SECSMessageReceived()
Call API
Send()
设备
Delta, Mitsubishi, Omron, Siemens, Rockwell,
Beckhoff, ABB
支持 PLC 品牌
PCbase
主机
传送信息
6
DIASECS-GEM Library 函式库
DIASECS-GEM Runtime 执行系统 / Box 通讯转换器
支持 GEM (E30) 及 GEM300 标准，产品会自动转成符合标准 GEM 信息格式，使用者不需特别理解
针对熟悉 PLC 电控，不熟悉 PC-Based 的设备开发商，台达提供 SECS / GEM Gateway 的软硬件，
SECS-GEM 的 SECS-II 信息格式。产品亦提供标准 GEM 功能的 API，会自动转译成易于了解的 API、
经由设定 PLC 点位及各项 ID 的对应，不需要写任何程序，即可完全支持 SECS / GEM。
Event Call Back，以函式库让使用者呼叫使用，仅需更新资料内容 (e.g., SVID) 或相对应事件即可 (e.g.,
•
开箱即用标准化产品
•
使用者只需以设定的方式，即可支持 SECS / GEM ，不需要开发任何程序
•
将 SECS / GEM 标准及处理逻辑自动且无缝整合于函式库中
•
达到全功能对应与双向的设备交握
•
呼叫启动时，除能自主处理已编译的逻辑，也可自动载入预设信息显示画面，大幅缩减约 70%
开发人力，降低系统建置时间
•
提供功能画面呈现
•
提供模拟器进行功能验证及压力测试
•
提供模拟器进行功能验证及压力测试
•
藉由配置工具快速建立点位数据，自动生成 I/O 对应文件
DIASECS-GEM Runtime (执行系统)
SECS / GEM
主机
数据格式模型
功能模型
数据收集
控 状
通 制 态
模
讯
对 型
时
设备常数
动态事件报告
函式库
信息编译器
驱动程序
驱动程序
处
理
监
控
操
作
DIASECS-GEM Library (函式库)
GEM 数据格式模型
Equipment
Template
主机
通
讯
使
用
者
界
面
控
制
对
时
状
态
模
型
Spooling
函式库
数据收集
设备常数
I/O
监
处
控
理
操
作
动态事件报告
DIASECS Driver Library (函式庫)
通用 PLC 驱动程序
功能模型
Log
CEID)。函式库不仅易于使用且可弹性化客制开发，满足各式客户需求。
通用 PLC 驱动程序
SECS-II 信息编译器
SECS-I 驱动程序
HSMS 驱动程序
No Codes Required
(内置)
DIASECS-GEM Box 概念
内置
DIASECS-GEM Box
Serial / Ethernet
SECS / GEM
客户自行开发
PLC
7
SECS / GEM
通讯转换器
8
使
用
者
界
面
SECS-I / HSMS
主机
全系列产品应用场景
应用实例
半导体 / 封测厂导入
应
用
系
统
DIAMES
& EDA, FDC, APC, SPC, SCADA …
制造执行系统
•
Ethernet (Data Base)
信
息
整
合
DIASECS Driver Library
DIASECS-GEM Library
(Host Side)
DIA EAP
设备自动化
控制系统
半导体制程设备、搬送设备均有
SECS / GEM 上报需求
解决方案
设备自动化控制系统
Ethernet (SECS)
DIASECS-GEM
DIASECS Driver Library
DIASECS-GEM Library
Runtime
(EQP Side)
PC Base
他牌PLC
应用实例
•
DIASECS-GEM Library
•
DIASECS-GEM Runtime / Box
达成效益
工业以太网交换器
设
备
项目背景
•
导入门槛低
•
配置工具容易、快速上手
•
大幅降低开发投入资源
•
依设备端与终端客户需求提供合适的产品
DIASECS-GEM
Box
型号说明
PLC
产品名称
DIAComm
Industrial Protocol Driver
光电面板厂导入
项目背景
•
面板制程大多自定义设备标准与行为，
实作 SECS 信息相关逻辑
•
需要整合设备上报的一致性，
综合通讯格式
DIASECS Driver Library
达成效益
•
统整需求，达成全厂一致要求
•
符合 SECS 标准
•
弹性客制信息内容格式
协议种类
SECS
SGEM
次产品
DRV: DRV / Library
H10: IPC E200
RUN: Runtime
授权类型
1: KeyPro 授权
2: File License
次协议种类
0: Driver / GEM
1: GEM300
订购信息
解决方案
•
DIAC - SECS - DRV - 1 1 0
DIAC-SECS-DRV-110
DIASECS Driver Library License (C#, C++; Dongle)
半导体设备通信标准协议驱动程序 v1.0 (KeyPro 授权，无提供代码)
DIAC-SECS-DRV-210
DIASECS Driver Library License (C#, C++; License Only)
半导体设备通信标准协议驱动程序 v1.0 (单机档案授权，无提供代码)
DIAC-SGEM-DRV-110
DIASECS-GEM Library License (GEM200; C#, C++; Dongle)
GEM200 通用设备行为建模驱动程序 v1.0 (Keypro 授权，无提供代码)
DIAC-SGEM-DRV-111
DIASECS-GEM Library License (GEM300; C#, C++; Dongle)
GEM300 通用设备行为建模驱动程序 v1.0 (Keypro 授权，无提供代码)
DIAC-SGEM-RUN-110
DIASECS-GEM Runtime (Third Party PLC; Dongle)
GEM200 执行环境 v1.0 (Keypro 授权，无提供代码)
DIAC-SGEM-H10-210
DIASECS-GEM Box (Third Party PLC; IPC)
GEM200 执行主机 v1.0 (含 E200 主机，单机档案授权，无提供代码)
关于产品有支持的 Compliance Statement、Stream Function 以及 PLC 厂牌型号，请洽询业务窗口。
9
10
范例：
如需购买 5 组 SECS 授权，
以 Dongle 交付
DIAC-SECS-DRV-110 KeyPro x1
DIAC-SECS-DRV-210 File License x4