ANSI/ESD S20.20-2021
Sửa đổi ANSI/ESD S20.20-2014
THẬN TRỌNG
THẬN Ỗ
ĐỂ ý
Các tiêu chuẩn và ấn phẩm của Hiệp hội xả tĩnh điện (ESDA) được thiết kế để phục vụ lợi ích công cộng bằng cách loại bỏ sự
hiểu lầm giữa nhà sản xuất và ngư ởi mua, tạo điều kiện cho khả năng thay thế lẫn nhau và cải tiến sản phẩm , đồng thời hỗ
trợ người mua lựa chọn và có được sảnphẩm phù hợp với nhu cầu cụ thể của mình. Sự tồn tại của các tiêu chuẩn và ấn phẩm
đó sẽ không ngăn cản bất kỳ thành viên hoặc không phải là thành viên nào của Hiệp hội sản xuất hoặc bán các sản phẩm
không phù hợp với các tiêu chuẩn và ấn phẩm đó. Thực tế là một tiêu chuẩn hoặc ấnphẩm do Hiệp hội xuất bản cũng không
ngăn cản việc sử dụng tự nguyện của những ngư ởi không phải là thành viên của Hiệp hội cho dù tài liệu đó được
sử dụng trong nư ốc hay quốc tế. Các tiêu chuẩn và ấn phẩm đề xuất được ESDA thông qua theo chính sách
Bằng sáng chế của ANSI
Giải thích các tiêu chuẩn ESDA: Việc giải thíchcáctiêuchuẩn trong phạm vi nó có thể liên quan đến một sản phẩm hoặc nhà
sản xuất cụ thể là vấn đề thích hợp đối với từng công ty có liên quan và không thể được thực hiện bởi bất kỳ người nào đại
diện cho ESDA . Chủ tịch Tiêu chuẩn ESDA có thể đư a ra nhận xét giới hạn ở việc giải thích hoặc làm rõ ng ôn ngữ kỹ thuật
hoặc điều khoản trong tiêu chuẩn, nhưng bởi không liên quan đến ứng dụng của nó đối với các sản phẩm và nhà sản xuất cụ
thể. Không ngưởi nào khác được phép thay nặt ESDA nhận xét về bất kỳ Tiêu chuẩn ESDA nào
TUYẾN BỐ TỪ CHÔI
BẢO HÀNH
NỘI DUNG TRONG CÁC TIÊU CHUẨN VÀ CÁC Ấn phẩm của ESDA DƯỢC CUNG CẤP "NGUYÊN TRẠNG" VÀ ESDA
KHÔNG TUYÊN BỖ HOẶC BẢO ĐÂM, RÕ RÀNG HAY NGỤ Ý, DƯỚI BẤT KỲ HÌNH THỨC HÀO LIÊN QUAN ĐẾN NHŨNG
NỘI DUNG ĐÓ. ESDA TỪ CHỐI TẤT CẢ CÁC ĐẠI DIỆN VÀ BẢO ĐÂM , BAO GỒM KHÔNG GIỚI HẠN, BẢO ĐÂM VỀ KHẢ
NĂNG BÁN ĐƯỢC, SỰ PHÙ HỢP CHO MỘT MỤC ĐÍCH HOẶC SỬ DỤNG CỤ THỂ, QUYỀN SỞ HỮU VÀ SỰ KHÔNG VI
PHẠM.
CÁC TIÊU CHUẨN VÀ CÁC ẤN PHẨM ESDA ĐƯỢC XEM LÀ ĐÚNG KỸ THUẬT VÀO THỜI ĐIỂM CHÚNG ĐƯỢC PHÊ DUYỆT
ĐỂ XUẤT BẢN CHÚNG KHÔNG PHẢI LÀ SỰ THAY THẾ CHO PHÁN XÉT CỦA NGƯỜI BÁN SẲN PHẨM HOẶC NGƯỜI DÙNG
SẢN PHẨM LIÊN QUAN ĐẾN BẮT KỲ SÂN PHẨM CỤ THỂ NÀO ĐƯỢC THẢO LUẬN VÀ ESDA KHÔNG CAM KẾT ĐÂM BẢO
HIỆU SUẤT CỦA SẴN PHẨM CỦA BẤT CỨ NHÀ SÂN XUẤT CÁ NHÂN NÀO THEO CÁC TIÊU CHUẨN HOẶC CÔNG BỒ ĐÓ.
VÌ VẬY, ESDA TUYỆT ĐỐI TUYỆTĐỐI BẮT KỲ TRÁCH NHIỆN HồO UẤ ĐỐI VỚI CÁC THIỆT HẠI PHÁT SINH TỪ VIỆC SỬ
DỤNG, ỨNG DỤNG HOẶC TIM CẬY CỦA NGƯỜI KHÁC VÀO THÔNG TIN CÓ TRONG CÁC TIÊU CHUẨN HOẶC ẤN BẢN
NÀY
GIỚI HẠN TRÊN
CẢ ESDA, CŨNG THÀNH VIÊN, VIÊN CHỨC, NHÂN VIÊN HOẶC ĐẠI DIỆN KHÁC SẼ KHÔNG CHỊU
TRÁCH NHIỆM PHÁP LÝ VỀ THIỆT HẠI PHÁT SINH TỪ, HOẶC LIÊN QUAN ĐẾN VIỆC SỬ DỤNG
HOẶC LẠM DỤNG CÁC TIÊU CHUẨN HOẶCCÁC ẤN PHẨM ESDA, NGAY CẢ TRÁCH NHIỆM PHÁP
LÝ CỦA ESDA KHI ĐƯỢC TƯ VẤN VỀ KHẢ NĂNG CỦA CHÚNG. ĐÂY LÀ GIỚI HẠN TOÀN DIỆN
TRÁCH NHIỆM PHÁP LÝ ÁP DỤNG CHO TẤT CẢ THIỆT HẠI DƯỚI BẤT KỲ HÌNH THỨC NÀO, SAO
GỒN NHƯNG KHÔNG GIỚI HẠN, MÁT DỮ LIỆU, THU NHẬP HOẶC LỢI NHUẬN, HẤT HOẶC
THIỆT HAI TÀI SẲN VÀ KHIẾU NẠI CỦA BÊN THỨ BA
Xuất bản bởi
Hiệp hội xả tĩnh điện
218 Phố Tòa Tây
Rome, NY 13440
Bản quyền ® 2921 của E0S/ESD Association, Inc.
Đã đăng ký Bản quyền
Không phần nào của ấn phẩm này có thể được sao chép dư ới bất kỳ hình thức nào, trong hệ thống truy xuất điện tử hoặc cách khác, mà
không có sự cho phép trư ớc bằng văn bản của nhà xuất bản.
1n tại Hoa Kỳ
1SBN: 1-58537-332-X
ANSI/ESD S20.20-2021
(Lời nói đầu này không phải là một phần của Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD ANSI/ESD 5209.20.2021)
LỜI NÓI ĐẦU
Tiêu chuẩn này bao gồm các yêu cầu cần thiết để thiết lập, triển khai và duy trì chương trình kiểm soát phóng
tĩnh điện (ESD) cho các hoạt động sản xuất, xử lý, lắp ráp, lắp đặt, vận chuyển, đóng gói, dán nhãn, dịch vụ,
thử nghiệm, kiểm tra hoặc xử lý điện hoặcđiện tử các bộ phận, cụm lắp ráp và thiết bị dễ bị hư hỏng do
phóng tĩnh điện lớn hơn hoặc bằng 199 vôn kiểu cơ thể người (HBM) và 298 vôn kiểu thiết bị tích điện
(CDM).
Mức điện áp CDM được sử dụng trong tài liệu này dựa trên việc quản lý các chất cách điện thiết yếu của
quy trình để giảm thiểu điện áp do trường gây ra trên các thiết bị có thể dẫn đến hư hỏng.
Tiêu chuẩn này cũng xác định các yêu cầu đối với dây dẫn cách ly. Tham chiếu đến mô hình máy (MM) được
giữ lại trong tiêu chuẩn này cho mối liên hệ lịch sử với độ bền MM của thiết bị với dây dẫn cách ly.
HBM và CDM mô tả đầy đủ độ ền của thiết bị ESD. Do đó, thử nghiệm MM không còn cần thiết để đủ điều
kiện thiết bị và dữ liệu thử nghiệm có thể không có sẵn.
Tài liệu này đề cập đến các yêu cầu của chương trình kiểm soát ESD để thiết lập chươngtrình xử lý các
mục nhạy cảm với ESD (ESDS) dựa trên kinh nghiệm lịch sử của cả các tổ chức quân sự và thương mại.
Các tài liệu, vật liệu và phương pháp thử nghiệm. Các nguyên tắc kiểm soát ESD cơ bản tạo thành cơ sở
của tài liệu này là:
A. Tất cả các dây dẫn trong mô i trường, bao gồm cả con ngư ời, phải được liên kết hoặc nối điện và gắn
vào mặt đất đã biết hoặc mặt đất giả định (như. trên tàu hoặc máy bay).
Phần đính kèm này tạo ra sự cân bằng đẳng thế giữa tất cả các vật phẩm và nhân sự. Bảo vệ tĩnh điện có
thể được duy trì ở điện thế cao hơn điện thế nối đất "không" nếu tất cả các mục thiết yếu trong môi trường
không thể mất điện tích tĩnh điện bằng cách gắn vào mặt trong hệ thống có cùng điện thế.
B. Xử lý các chất cách điện
Các hệ thống ion hóa cung cấp khả năng trung hòa đ: ện tích trên các chất cách điện thiết yếu của quy
trình này (vật liệu bảng mạch và một số gói thiết bị là ví dụ về các chất cách điện cần thiết). Cần phải
đánh giá nguy cơ ESD do tĩnh điện tạo ra trên các chất cách điện thiết yếu của quy trình tại nơ i làn việc
để đảm bảo rằng các hành động thích hợp được triển khai, tương xứng với rủi ro đối với các hạng mục ESDS
C. Việc vận chuyển các vật phẩm ESDS cần có vỏ bọc bằng vật liệu bảo vệ, mặc dù loại vậtliệu phụ thuộc
vào tình huống và điểm đến. Mặc dù các tài liệu này không được thảo luận trong tài liệu, nhưng điều quan
trọng là phải nhận ra sự khác biệt trong các ứng dụng. Để biết rõ hơn, hãy xem ANSI/ESD S541
Mọi chuyển động tương đối và sự phân tách vật lý của vật liệu hoặc dòng chảy của chất rắn, chất lỏng hoặc
chất khí chứa nhiều hạt có thể tạo ra điện tích tĩnh điện. Các nguồn tĩnh điện phổ biến bao gồm con người,
vật phẩm làn từ vật liệu polyme thông thư ởng và thiết bị xử lý. Thiệt hại do tĩnh điệ có thể xảy ra theo nhiều
cách, bao gồm:
i. Một đối tượng tích điện (bao gồm cả một người) tiếp xúc với một vật phẩm ESDS.
ii. Vật phẩm ESDS tích điện tiếp xúcvới mặt đất hoặc vật thể dẫn điện khác ở một vị trí khác tiềm năng.
iii. Một vật phẩm ESDS tiếp xúc với mặt đất hoặc vật thể dẫn điện khác trong khi tiếp xúc với trường tĩnh
điện.
Ví dụ về các hạ ng mục ESDS bao gồm, nhưng không giới hạn ở, vi mạch, chất bán dẫn rời rạc, điện trở
màng mỏng và bề dày, thiết bị lai, bảng mạch in và tỉnh thể áp điện. Có thể xác định tính nhạy cảm của thiết
bị và vật phẩm bằng các h cho vật phẩm tiếp xúc với các sự kiện ESD mô phỏng.
Mức độ nhạy cảm, được xác định bằng thử nghiệm sử dụng các sự kiện ESD mô phỏng, có thể không nhất
thiết liên quan đến mức độ nhạy cảm trong tình huống thực tế. Tuy nhiên, các mức độ nhạy được sử dụng
để thiết lập cơ sở dữ liệu về độ nhạy nhằm so sánh các thiết bị có số bộ phận tư ởng đương từ các nhà sản
xuất khác nhau. Hai mô hình khác nhau được sử dụng để mô tả đặc tính của các mặt hàng điện tử: HBM và
CDM.
ANSI/ESD S20.20-2021
Để biết thêm thông tin về các yêu cầu trong tiêu chuẩn này, có một báo cáo kỹ thuật, ESD TR20.20
-
Báo cáo kỹ thuật của hiệp hội ESD
Cẩm nang phát triển chương trình kiểm soát phóng tĩnh điện để bảo vệ các bộ phận, cụm và thiết bị điện tử.
Việc tuân thủ tiêu chuẩn này có thể được chứng minh thông qua chứng nhận của bên thứ ba.
Quá trình chứng nhận giống như bất kỳ chứng nhận hệ thống quản lý chất lượng nào như IS0 9001.
Có thể lấy thông tin về quy trình chứng nhận bằng cách liên hệ với cơ quan chứng nhận được phê duyệt của
E0S/ESD Association, Inc.
Để biết danh sách các tổ chức chứng nhận được Hiệp hội E0S/ESD, Inc. phê duyệt,
hãy xem www.esda.org
Tiêu chuẩn 1 này bạn đầu được chỉ định là ANSI/ESD S29.20-1999 và được phê duyệt vào ngày 4 /8 /1999.
ANSI/ESD S 20.29-2007 là bản sửa đổi của ANSI/ESD S20.20-1999 và được phê duyệt vào ngày 11/2/1999.
ANSI/ESD S29.20-2014 là bản sửa đổi của ANSI/ESD S20.20-2007 và được phê duyệt vào ngày 25/3/2016.
ANSI/ESD S20.20-2021 là bản sửa đổi của ANSI/ESD S20.20- 2014 và được phê duyệt vào ngày 28/9/2021
Vào thời điểm ANSI/ESD S29.20-2021 được chuẩn bị, Tiểu ban chương trình kiểm soát ESD 20.20 có các
thành viên sau:
1 Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD (S): Tuyên bố chính xác về một tập hợp các yêu cầu cần được đáp ứng bởi một
vật liệu, sản phẩm, hệ thống hoặc quy trình cũng chỉ định các quytrình để xác định xem từng yêu cầu
có được đáp ứng hay không.
ANSL/ESD S20.20-2021
MỤC LỤC
1.0 MỤC ĐÍCH
2.0 PHẠM VI
3.0 CÁC XUẤT BẢN THAM KHẢO.
4.0 CÁC ĐỊNH NGHĨA
5.0 AN TOÁN CHO NHÂN VIÊN
6.0 CHƯƠNG TRÌNH KIỂM SOÁT ESD
6.1 Yêu Cầu Chương Trình Kiểm Soát Esd
6.2 Người Quản Lý / Điều Phối Chương Trình Kiểm Soát ESD
6.3 Điều Chỉnh
7.0 YÊU CẦU HÀNH CHÍNH CHƯƠNG TRÌNH KIỂM SOÁT ESD.
7.1 Kế Hoạch Chương Trình Kiểm Soát ESD
7.2 Kế Hoạch Đào Tạo
7.3 Kế Hoạch Chất Lượng Sân Phẩm
7.4 Kế Hoạch Xác Minh Sự Tuân Thủ
8.0 KẾ HOẠCH CHƯƠNG TRÌNH KIỂM SOÁT ESD YÊU CẦU KỸ TRUẬT.
8.1 Hệ Thống Nối Đất/ Thiết Kế Thiết Bị
8.2 Nối Đất Cho Nhân Viên
8.3 Khu Vục Được Bảo Vệ ESD (EPAs)
8.31 Chất cách điện
8.3.2 Dây dẫn cách ly
8.4 Đóng Gói
8.4.1 Các yêu cầu về đóng gói của Bộ Quốc phòng Hoa Kỳ, (060)
Phụ lục
Phụ lục A: Additional Process Considerations - Xem xét Quy trình Bồ sung
Phụ lục B - ESD Sensitivity Testing - Kiểm tra độ nhạy ESD.
Phụ lục C - Tailoring - Công tác điều chỉnh
Phụ lục D - Related Documents - Tài liệu liên
Phụ lục E - Statement of Direction - Tuyên bố về sự định hướng
Phụ lục F - Revision History for ANSI/ESD S20.20 – Lịch sử sửa đổi
Bảng biểu
18 Phụ lục F (Thông tin): Lịch sử sửa đổi cho ANSI/ESD S20
1”
những cái bền
Bảng 1: Yêu cầu nối đất/liên kết đẳng thể
5 Bảng 2: Yêu cầu tiếp đất của nhân
sv
LVA
6
Bảng
3:
8 Bảng 4: Yêu cầu về đồng
si
Với 65D cho thiết bị
Các
hạng
mục
Kiểm
soát
ESD
của
18 Bảng S: Tài liệu tham khảo kiển tra độ nhạy cảm
ˆ
ANS1/ESD S20.20-2021
Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD
Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD để phát triển Kiểm soát phóng điện tĩnh điện. Chương trình bảo vệ các bộ
phận, cụm và thiết bị điện và điện tử (Không bao gồm các thiết bị nổ khởi động bằng điện)
1.0 MỤC ĐÍCH
Mục đích của tiêu chuẩn này là cung cấp các yêu cầu hành chính và kỹ thuật để thiết lập, triển khai và
duy trì chương trình kiểm soát ESD (sau đây gọi là "Chương trình").
2.0 PHẠM VI
Tài liệu này áp dụng cho các tổ chức sản xuất, xử lý, lắp ráp, cài đặt, đóng gói, dán nhãn, dịch vụ, thử
nghiệm, kiểm tra, vận chuyển hoặc xử lý các bộ phận điện hoặcđiện tử, các cụm và thiết bị dễ bị hư
hỏng do phóng điện tĩnh điện lớn hơn hoặc bằng 199 mô hình cơ thể ngư ời vôn (HBM) và mô hình
thiết bị tích điện 200 vôn (CDM). Ngoài ra, việc bảo vệ khỏi các dây dẫn cách ly được xử lý bằng cách
giới hạn điện áp trên các dây dẫn cách ly xuống dưới 35 vôn.
Các quy trình bao gồm cách ạ ng mục nhạy cảm với điện áp chịu thử thấp hơn có thể yêu cầu các
phần tử điều
khiể n bổ sung hoặc các giới hạn được điều chỉnh. Các quy trình được thiết kế để xử lý các vật phẩm
có
điện áp chịu đựng ESD thấp hơn vẫn có thể yêu cầu tuân thủ tiêu chuẩn này. Tài liệu này không áp
dụng cho
các thiết bị nổ khởi động bằng điện, chất lỏng dễ cháy hoặc bột.
LƯU Ý: Mức điện áp CDM được sử dụng trong tài liệu này dựa trên kinh nghiệm trong
ngành khi quản lý chất cách
đến hư hỏng
điện thiết yếu của quy trình để giảm thiểu điện áp cảm ứng trên các thiết bị có thị
3.9 CÁC ẤN PHẨM THAM
KHẢO
Trừ khi có quy định khác, các tài liệu sau đây về lần phát hành, sửa đổi hoặc sửađổi mới nhất tạo thành một
phần của tiêu chuẩn này trong phạm vi được chỉ định ở đây: ESD
ADVI.Ø, Bảng thuật ngữ thuậtngữ 2 ANSI/ESD S1.1 của Hiệp
2 ESD, Dây đeo cổ tay ANSI 7
hội
hội ESD, Dây đeo cổ tay ANSI 7
ESD STM2.1, Hàng may mặc - Đặc tính điện trở 2 ANSI/ESD STM3.1, Ion
hóa 2 ANSI/ESD SP3.3, Xác minh định
kỳ máy ion hóa không khí 2 ANSI/ESD STM4.1, Bề mặt làm việc
- Đo điện trở 2 ANSI/ESD S6.1 , Nối đất (2)
ANSI/ESD STM7.1, Hệ thống sàn - Đặc tính điện trở 2 ANSI/ESD S8.1, Ký hiệu -
Nhận biết về ESD 2 ANSI/ESD STM9.1, Giày dép - Đặc
tính điện trở 2 ANSI/ESD SP9.2, Bộ tiếp đất - Đặc tínhđiệntrở2
ANSI/ ESD STM11.11, Đo điện trở bề mặt của vật liệu phẳng tản nhiệt 2 ANSI/
ESD STM11.12, Đo điện trở thể tích của vật liệu phẳng tản nhiệt 2 ANSI/ESD STM11.13, Đođiệntrở hai điểm 2
ANSI/ESD STM11. 31, Túi ANSI/ESD STM12 .1, (l ngồi - Đo điện trở 2ANSI/ESD S13.1, Dụng cụ cầm tay hàn điện/
Tháo chì 2 ESD TR53, Xác minh sự tuân thủ của vật liệu và thiết bị.
bảo vệ ESD 2
2
2 Hiệp hội E0S/ESD, Inc. 218 West Court Street, Rome, NY 13449, Đt: 315339-6937; www.esda.org
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
ANSI/ESD STM97.1, Giày dép/Hệ thống sản - Đo điện trở kết hợp với một người 2
ANSI/ESD STH97. 2, Giày dép/Hệ thống sàn - Đo điện áp kết hợp với nột người 2
ANSI/ESD S541, Vật liệu đóng gói 2
MIL-STD-2073-1, Thực hành Tiêu chuẩn của Bộ Quốc phòng đối với Bao bì Quân sự
14.0 ĐỊNH NGHĨA
Các thuật ngữ được sử dụng trong phần nội dung của tải liệu này phù hợp với các định nghĩa có trong ESD ADV1.8, Bảng chú
giải thuật ngữ của Hiệp hội ESD, có sẵn để tải xuống miễn phí tại www.esda.org. Đối với mục đích của tiêu chuẩn này, áp
dụng các định nghĩa sau: dây dẫn. Một vật liệu đo được điểm tới điểm nhỏ hơn 1,9 x 19 4 ohms
Các mục kiểm soát ESD. Tất cả các vật dụng, vật liệu, thiết bị, công cụ và thiếtbị được sử dụng
trong EPA để kiểm soát tĩnh điện. (Xem thêm các yếu tố kỹ thuật
của ESD). chất cách điện. Bất kỳ vật liệu nào đo được lớn hơn hoặc bằng 1, x 19 11 ohms theo ANSI/
ESD STM11.11, ANSI/ESD STM11.12 hoặc ANSI/ESD STM11.13. dây
dẫn bị cô lập. Một dây dẫn đo được lớn hơn hoặc bằng 1, 9 x 19 9 ohms từ điểm tiếp xúc (nơi vật
phẩm ESDS sẽ được tiếp xúc) xuống đất. mục ESDS không được bảo
vệ . Bất kỳ mặt hàng ESDS nào không có bao bì hoặc lớp phủ bảo vệ ESD. bề mặt làm việc. Bất
kỳ bề mặt nào mà bất kỳ loại công việc hoặc quá trình xử lý nào được thực hiện trên một vật phẩm
E5DS không được bảo vệ.
5.8 AN TOÀN NHÂN SỰ
QUY TRÌNH VÀ THIẾT BỊ ĐƯỢC MÔ TẢ TRONG TÀI LIỆU NÀY CỔ THỂ KHIẾN NHÂN VIÊN TIẾP XÚC VỚI CÁC ĐIỀU KIỆN ĐIỆN NGUY HIỂM
NGƯỜI DÙNG TÀI LIỆU NÀY CHỊU TRÁCH NHIỆM LỰA CHỌN THIẾT BỊ TUÂN THỦ LUẬT HIỆM HÀNH, CÁC BỘ MÃ QUY ĐỊNH VÀ CẢ CHÍNH SÁCH
NGOẠI GIAO VÀ NỘI BỘ. NGƯỜI DÙNG ĐƯỢC LƯU Ý RẰNG TÀI LIỆU NÀY KHÔNG THỂ THAY THẾ HOẶC BẤT KỲ YÊU CẦU NÀO VỀ AN TOÀN CÁ
NHÂN.
LỗI NGẤT ĐẤT NGẤT HẠCH (GFCI) VÀ CÁC BẢO VỆ AN TOÀN KHÁC NÊN ĐƯỢC XEM XÉT Ở BẤT KỲ NHÂN VIÊN CÓ THỂ TIẾP XÚC VỚI NGUỒN
ĐIỆN
NÊN THỰC HÀNH CÁC THỰCHÀNH GIẢM THIỂU NGUY HIỂM VỀ ĐIỆN VÀ PHẢI TUÂN THEO CÁC HƯỚNG DẪN NỐI ĐẤT ĐÚNG CÁCH CHO THIẾT BỊ
CÁC 90 LƯỜNG ĐIỆN TRỜ CỔ ĐƯỢC THÔNG QUA VIỆC SỬ DỤNG CÁC PHƯ ƠNG PHÁP THỬ NGHIỆM NÀY SẼ KHÔNG ĐƯỢC DÙNG ĐỀ XÁC ĐỊNH SỰ AN TOÀN TƯ ƠNG
ĐỐI CỦA NHỮNG NGƯỜI TIẾP XÚC VỚI ĐIỆN ÁP AC HOẶC ĐC CAO
CHƯ ƠNG TRÌNH ĐIỀU KHIỂN ESD 6.
6.1 Yêu cầu của Chư ở ng trình Kiểm soát ESD Chưởng
trình sẽ bao gồm cả yêu cầu quản trị và kỹ thuật như được mô tả ở đây. Chư ơ ng trìnhsẽ ghi lại (các) mức độ nhạy ESD
của thiết bị thấp nhất có thể xử lý được. Tổ chức phải thiết lập, lập thành văn bản, thực hiện, duy trì và xác mình sự
tuân thủ của Chư ơ ng trình theo các yêu cầu của tài liệu này
3 https://quicksearch.d1a.mi1/
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20. 20-2021
6.2 Ngưởi quản lý hoặc điều phối viên chương trình kiểm soát ESD
Tổ chức sẽ chỉ định ngưởi quản lý hoặc điều phối viên chương trình kiểm soát ESD để xác minh tính tuân thủ của Chưởng
trình theo các yêu cầu của tài liệu này.
6.3 Điều chỉnh
Tài liệu này, hoặc các phần của nó, có thể không áp dụng cho tất cả các chương trình kiểm soát ESD. Bất kỳ sai lệch
hoặc loại trừ yêu cầu nào của tài liệu này đều được coi là phù hợp. Các yêu cầu phù hợp sẽ được tóm tất trong kế hoạch
chương trình kiểm soát ESD và bao gồm sự biện mình và lý do kỹ thuật cho sự sai lệch hoặc loại trừyêu cầu khỏi kế
hoạch. Xem Phụ lục C để biết thêm thông tin
7. 0 CÁC YÊU CẦU HÀNH CHÍNH CHƯƠNG TRÌNH KIỂM SOÁT ESD 7.1 Kế hoạch Chưởng trình Kiểm
soát ESD Tổ chức phải chuẩn bị một kế
hoạch chương trình kiểm soát ESD giải quyết từng yêu cầu của Chương trình. Những yêu cầu đó bao gồm: - Đào tạo - Đánh
giá chất lượng sản phẩm + Xác minh tuân thủ - Hệ thống nối đất/liên kết
đẳng thế - Nối
đất nhân sự - Các yêu cầu về
khu vực được bảo vệ bằng ESD
(EPA) - Đóng gói - Đánh dấu Kế hoạch chương trình kiểm
soát ESD là tài liệu chính để
triển khai và xác minh Chương trình. Mục tiêu là một
Chươ ng trình
tích hợp và
được triển khai đầy đủ phù hợp với các yêu cầu của hệ thống chất lượng nội bộ. Kế hoạch chưởng trình kiểm soát ESD sẽ
xác định các lĩnh vực trong Tổ chức là một phần của chưở ng trình kiểm soát ESD tổng thể.
7.2 Kế hoạch đào tạo
Một kế hoạch đào tạo sẽ được thiết lập để đảm bảo tất cả nhân viên xử lý hoặc tiếp xúc với bất kỳ vật phẩm ESDS nào đều
được đào tạo ban đầu và định kỳ về nhận thức và phòng ngừa ESD. Đào tạo ban đầu sẽ được cung cấp trước khi nhân viên
xử lý các mặt hàng ESDS. Loại và tần suất đảo tạo ESD cho nhân viên phải được xác định trong kế hoạch đào tạo. Kế hoạch
đào tạo phải bao gồm việc duy trì hồ sơ đào tạo nhân sựvà phải ghi lại nơi lưu trữhồ sơ
Các phưởng pháp đào tạo và việc sử dụng các kỹ thuật cụ thể tùy thuộc vào quyết định của Tổ chức. Kế hoạch đảo tạo phải
bao gồm các phưởng pháp được Tổ chức sửdụng để xác mình mức độ hiểu biết và đào tạo đầy đủ của học viên
7.3 Kế hoạch định tính sản phẩm
Kế hoạch kiểm định chất lượng sản phẩm phải được thiết lập để đảm bảo các hạng mục kiểm soát ESD do Tổ chức lựa chọn
đáp ứng các yêu cầu được xác định trong Bảng 2, 3 và 4 của tiêu chuẩn này. Điều này bao gồm việc sửdụng các phưởng
pháp kiểm tra và giới hạn kiểm tra được xác định trong các bảng này.
Chất lượng sản phẩm sẽ diễn ra trong quá trình lựa chọn ban đầu của mục kiểm soát ESD và trước khi sử dụng lần đầu. Nó
có thể sử dụng bất kỳ phưởng pháp đánh giá chất lượng nào sau đây:
(1) đánh giá đặc điểm kỹ thuật sản phẩm,
(2) đánh giá phòng thí nghiện độc lập hoặc (3) đánh
giá phòng thí nghiệm nội bộ
Không phụ thuộc vào phưởng pháp đánh giá chất lượng của tổ chức, hồ sơ đánh giá chất lượng phải bao gồm phương pháp
thử nghiện được sử dụng, kết quả thử nghiện thu được từ phương pháp đó và các giới hạn thử nghiện. Đồng thời, trình độ
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
8.4 Đóng gói
Một kế hoạch đóng gói sẽ được thiết lập để xác định các yêu cầu đóng gói, cả bên trong và bên ngoài
EPA, theo ANSI/ESD S541 hoặc hợp đồng, đơn đặt hàng, bản vẽ hoặc tài liệu cần thiết khác để đáp ứng
các yêu cầu của khách hàng. Các phư ơng pháp thử nghiệm và giới hạn thửnghiệm cần thiết đối với các
loại bao bì bảo vệ ESD khác nhau được Tổ chức sử dụng theo ANSI/ESD S541 được tóm tắt trong Bảng 4.
Bao bì được coi là 'dùng một lần' phải tuần theo cùng các yêu cầu xác minh chất lượng sản phẩm và
sự tuân thủ được nêu trong Mục 7.3 và 7.4 và phải đáp ứng các yêu cầu về giới hạn thử nghiệm và
phư ơng pháp thử nghiệm tư ơng ứng trong Bảng 4.
Bảng 4. Yêu cầu đóng gói
PHI
Điều khiển
Phú ở ng pháp kiểm tra.
Xác mình tuần thủ
Trình độ sản phẩm
Yêu cầu
Yêu cầu
Mục
Phư ơng pháp,
Hạn mức)
(CO giới hạn
ANSI/ESD STM11.11
ESD TR53
hoặc ANSI/ESD STM11.12 |< 1,9 x 19 4 ôm
hoặc ANSI/ESD STM11.13
BIẾN
Phần
< 1,0 x 19 4 ôm
ANSI/ESD STM11.11
l4
l ANSI/ESD STM11.12 i
hen
ANSI/ESD STM11.13
Phóng điện
hi
(Chỉ túi xách)
Khi các vật phẩm ESDS được đặt trên vật liệu đóng gói và cácvậtphẩmESDS đang được thực hiện trên
chúng, thì vật liệu đóng gói sẽ trở thành bề mặt làm việc. Phải áp dụng các yêu cầu về bềmặtlàm
việc đối với điện trở tiếp đất.
8.4.1 Các yêu cầu về đóng gói của Bộ Quốc phòng Hoa Kỳ (DoD) Các tổ chức thuộc Bộ
Quốc phòng (DoD) hoặc những ngư ởi thực hiện công việc theo hợp đồng của DoD phải tuần thủ MILSTD-2073-1 đối với các yêu cầu về đóng gói trừ khi cácyêucầu hợp đồng khác được áp dụng hoặc được
miễn trừ đối với điều này yêu cầu dựa trên các yêucầu cụ thể của ứng dụng.
8.5 Việc
đánh dấu các vật phẩm, hệ thống hoặc bao bì ESDS phải được thực hiện theo hợp đồng khách hàng, đơn
đặt hàng, bản vẽ hoặc tài liệu khác. Khi hợp đồng, đơn đặthàng,bảnvẽhoặctàiliệukhác không xác
định việc đánh dấu các mục, hệ thống hoặc bao bì ESDS, thì TỔ chức đang phát triển kế hoạch chư ơng
trình kiểm soát ESD nên xem xét nhu cầu đánh dấu . Nếu xác định rằng việc đánhdấu là bắt buộc, nó sẽ
được lập thành văn bản như một phần của kế hoạch chư ơng trình kiểm soát ESD. Nếu xác định rằng
việc đánh dấu là không cần thiết, thì nó khôngcần phải được ghi lại như một phần của kế hoạch
chư ơng trình kiểm soát ESD.
LƯU Ý: Xem ANSI/ESD S8.1 để biết các ký hiệu có thể được sử dụng
ANSI/ESD
19
Machine Translated by Google
ANS1/ESD S20.20-2021
(Phụ lục này không thuộc Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD ANSL/ESD S20.20-2021)
PHỤ LỤC A (THÔNG TIN) - XEM XÉT QUY TRÌNH BỂ SUNG Các phần sau đây cung cấp tài liệu hư ớng
soát bổ sung. Ngư ởi dùng cần
dẫn và phác thảo có sẵn để giúp người dùng đánh giá các sản phẩm và thiết bị kiểm
phát triể n các tiêu chí xác minh sự chấp nhận và tuân thủ của họ vì ngành vẫn chư axác định các giới hạn bắt buộc
đối với các mặt hàng này.
1. Bộ xử lý tự động (ANSI/ESD SP19.1, Thiết bị xửlýtựđộng [AHE]). Để chứng minh khả năng kiểm soát ESD trong
thiết bị xử lý tự động, có thể cần đo điện trở tiếp đất của các bộ phận máy và theo dõi hoặc xác minh điện
tích tĩnh điện trên sản phẩm khi sảnphẩmđi qua thiết bị. Điều này có thể cung cấp cả việc xác minh liên tục
các biện pháp đối phó với ESD và phư ơng pháp xác định vị trí các nguồn tạo ra điện tích. Thông lệ tiêu chuẩn
này đề cập đến điện trở tiếp đất của các bộ phận máy và nguồn điện tích trong thiết bị xử lý tự động. Để biết
thêm thông tin về đánh giá thiết bị và quy trình, hãy xem ANS1/ESD SP17.1, Kỹ thuật đánhgiáquy trình.
khi sử dụng của găng tay và bao ngón
2. Găng tay (ANSI/ESD STM15.1, Phư ởng pháp thử tiêu chuẩn để kiểm tra độ
các quy trình thử nghiệm để đo điện trở nội tại
cung
tay). Phương pháp thử nghiệm tiêu chuẩn này nhằm
của găng tay và bao ngón tay cũng như điện trở củagăngtay hoặc baongóntayvà nhân viên như một hệ thống.
kiểm soát
Phương pháp thử nghiệm tiêu chuẩn này áp dụng cho tất cả găng tay và bao ngón tay được sử dụng
ESD. Phương pháp kiểm tra tiêu chuẩn này cung cấp dữ liệu phù hợp với môi trường và ứng dụng cụ thể của
người dùng.
3. Hệ thống băng chuyền thư ởng di chuyển các vật phẩm nhạy cảm với ESD không được bảo vệ từ trạm này sang trạm
khác hoặc qua các giai đoạn quy trình khác nhau như dây chuyền công nghệ gắn trên bề mặt (SMT), máy hàn sóng
và lò nung nóng chảy lại. Hiện tại, không có tiêu chuẩn nào đề cập đến các loại hệ thống băng tải khác nhau.
Một số hệ thống phổ biến hơn là hệthống đai phẳng, hệthốngđai hẹp (thư ởng thấy trên thiết bị SMT), hệ
thố n g con lăn và hệ thống truyền động bằng chổi than. Trong khi cách ệthống đai phẳng đơ n lẻ thư ởng có thể
sử dụng các phư ơng pháp kiểm tra giống như bề mặt làm việc, cách ệ thống khác yêu cầu các kỹ thuật đánh giá
khác nhau.
Sổ tay ESD cho các cá nhân và tổ chức phải
4. Sổ tay ESD (ESD TR2Đ.20). Ủy ban Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD đã sản xuất
ấp
ố
hư ớng
mặt với việc kiểm soát ESD. Nó cung
có thể được sử dụng để phát triển , triển khai và giám
sát chư ơng trình kiểm soát phóng tĩnh điện theo ANSI/ESD S2Đ.29. Sổ tay này áp dụng cho các hoạt động sản
xuất, xử lý, lắp ráp, cài đặt, đóng gói, dán nhãn, bảo dư ống, thử nghiệm, kiểm tra hoặc xửlý theo cách khác
lễ b
bị hư hại do phóng điện tĩnh điện lớn hơn
ái các bộ phận điện hoặc điện tử, cácbộphận lắp ráp và thiết bị
lẫu máy (MM) của nhà máy cũng được giải quyết.
1
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
(Phụ lục này không thuộc Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD ANSL/ESD S20.20-2021)
PHỤ LỤC B (THÔNG TIN) - KIỂM TRA ĐỘ NHẠY CỦA ESD Đánh giá độ nhạy của
thiế là một yếu tố quan trọng của
Táp và thiết bị cũng như các mức bảo vệ
ESD của các bộ phận, cụm
chư ơ ng trình kiểm soát ESD . Một phư ơng pháp phổ biến để thiết lập giới hạn độ nhạy của ESD là sử dụng HBM và
CDM để mô tả các mặt hàng điện tử. Việc lựa chọn các thủ tục hoặc tài liệu kiểm soát ESD cụ thể tùy theo quyết định
của người chuẩn
bị kế hoạch chư ơ ng trình kiểm soát ESD.
cả các
Tài phải
liệu dựa
kỹ thuật
và dữgiá
liệurủiphân
tồnESD
tại cho
thấy các
lỗi của
là docụm
mộtlắp
loạtráp
cácvàthiết
tác động
Nó
trên đánh
ro vàtích
độ lỗi
nhạy
đã thiết
lập của
các ESD
bộ phận,
bị. phức tạp
có liên quan đến nhau. Một số yếu tố ảnh hư ởng đến độ nhạy của ESD bao gồm dòng điện và đư ởngbao năng lượng của
ESD,bịthời
sự kiện
thiếtvàkếCDM.
thiết bị , công nghệ chế tạo và kiểu gói thiết bị. Các thiếtbị nhạy
thiế
nên gian
đượctăng
coi của
là nhạy
cảmESD,
với H8M
cảm với năng lượng thư ởng bị hư hỏng do dòng điện chạy qua phần tử mạch hoặc phầntử bảo vệ gây ra hưhỏng
nhiệt. Các thiết bị nhạy cảm với điện áp thư ởng bị hỏng khi vượt quá điệnáp đánh thủng trên một chất điện môi,
chẳng hạn như oxit cổng. Thử nghiệm độ nhạy ESD của thiết bị, cho dù được thực hiện bằng HBM hay CDM, đều cung
cấp mức độ nhạy ESD để so sánh thiết bị này với thiếtbị khác bằng cách sử dụng các thông số đã xác định. Độ nhạy
ESD của thiết bị ( được xác định bằng vôn), như đượcxácđịnhbằng cách sử dụng bất kỳ kiểu máy đã xácđịnh nào,
có thể không phải là nức điện á phỏng hóc thực tế trong quy trình sản xuất hoặc môi trưởng ngư ởi dùng. Bảng 5
cu ng cấp tài liệu tham khảo về các tiêu chuẩn và phư ơ ng pháp kiểm tra khác nhau để kiểmtra độ nhạy của ESD.
1. Độ nhạy của Mô hình Cơ thể Con người
HBM
Một nguồn gây ra thiệt hại do ESD là cơ thể con người được tí ch điện, như được mô hình hóa theo tiêu ch
Mô hình t hử nghiệm này thể hiện sự phóng điện từ đầu ngón tay của một cá nhân đang đứng được truyền tới điểm t
xúc dẫn điện của thiết bị, ví dụ: dây dẫnđiện hoặc quả bóng có điện thế khác trên ít nhất một điểm tiếp xúcdẫn
điện khác. Nó được mô hình hóa bởi một tụ điện 199-pF phóng qua một bộ phận chuyển mạch và điện trở nối tiếp 1509ohm vào thiết bị được thử nghiệm (DUT).
tra thiết bị ằ ng một trong các phư ơ ng pháp
bị có thể được xác định bằng cách kc
Độ nhạy HBM ESD của thiết
tra thiết bị ằ ng một trong các phư ơ ng pháp
kiểm
tra tham chiếu.
Độ nhạy HBM ESD của thiết
kiểm tra tham chiếu.
2. Kiểu thiết bị tích điện Độ nhạy Nguồn gây
hại cho CDM là sự phóng điện nhanh chóng từ thiết bị tích điện sang vật dẫn điện.
Sự kiện ESD phụ thuộc vào thiết bị, nhưng vị trí của nó so với mặt đất có thể ảnh hư ởng đến mức độ lỗi trong thế
giới thực. Mô hình thử nghiệm này giả định rằng bản thân thiết bị đã được tích điện và hiện tư ợng phóng điện
nhanh xảy ra khi các dây dẫn điện của thiết bị tích điện tiếp xúc với bề mặt dẫnđiện có điện thế thấp hơn. Toàn
bộ sự kiện CDM có thể diễn ra trong vòng chư a đầy 2 giây. Mặc dù thời lượng rất ngắn, nhưng mức dòng điện cóthể
đạt tới vài chục ampe trong quá trình phóng điện. Độ nhạy CDM ESD của thiết bị có thể được xác định bằng cách kiểm
tra thiết bị bằ ng phư ơ ng pháp kiểm tra tham chiếu
3. Kiểu máy (Chỉ thông tin lịch sử)
các dây dẫn điện của thiết bị từ một dâydẫn
MM ban đầu được cho là mô tả sự truyền năng lượng nhanh chóng
không mô phỏng sự.
tích điện bị cô lập với ít nl
kiện phóng điện dự k- n. Sự phóngđiện của dây dẫn tích điện bị cô lập tới các thiết bị không được nối đất cũng có
bị vì nó không cung cấp bất kỳ
thể được đặc trư ng bởi sự kiện CDM. MM không còn cần thiết cho việc đánh giá th:
thông tin bổ sung nào cho dữ liệu HBM và CDM. Tuy nhiên, việc kiểm soát phóng điện từ các dây dẫn tích điện trong
môi trường sản xuất vẫn là một yí
chính tro ng chư ơ ng trình kiểm soát ESD. Để biết thêm thông tin về MM, hãy
xem JEDEC JEP172A: Ngừng Sử dụng Mẫu Máy để Chứng nhận ESD của Th:
12
cả các
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
Bảng 5. Tài liệu tham khảo kiểm tra độ nhạy cảm với ESD cho thiết bị
Mô hình ESD
Các tiêu chuẩn và phư ơ ng pháp ESD để kiểm tra độ nhạy của thiết bị
ANSI/ESDA/JEDEC JS-001
MIL-STD-883-3 Phư ơ ng pháp 3015
MIL-STD-750 Phư ơ ng pháp 1020
MIL-PRF-19500
SỮA-PRF-38534
SỮA-PRF-38535.
ẢNS1ESDA/UPDEC 25-022
MM
Chỉ cho thông tin
13
ESD SP5.2
Machine Translated by Google
ANS1/ESD S20.20-2021
(Phụ lục này không thuộc Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD ANSL/ESD S20.20-2021)
PHỤ LỤC € (THÔNG TIN) - ĐIỀU CHỈNH Điều chỉnh
cho phép ngư ởi dùng ANSI/ESD S29.20 đi chệch hư ng hoặc loại trừ một yêu cầu của tiêu chuẩn nếu ngưởidùng
có thể đưa ra lời giải thích và lý do kỹ thuật cho sự sai lệch hoặc loại trừ đó.
Các tuyên bố điều chỉnh phải được ghi lại nhưng thường được thêm vào kế hoạch c hưởng trình kiểm soát ESD
của tổ chức và bao gồm (các) yêu cầu của ANSI/ESD S29.20 bị loại trừ hoặc sửa đổi cũng như biện minh kỹ thuật
hoặc lý do thay đổi
Việc một tổ chức sử dụng các tuyên bố điều chỉnh để đi chệch hư ớng hoặc loại trừ một yêu cầu khỏi ANSI/ESD
S29.20 trong kế hoạch c hưởng trình kiểm soát ESD thưởng bị hiểu lầm bởi cả tổ chức và những ngư ởi đang cố
gắng xác định việc tuân thủ tiêu chuẩn. Điều này t hưởng phát sinh từ sự hiểu lầm về những gì là hoặc không
ầ
phải là một yêu cầu trong tiêu chuẩn. Trong các ví dụ điều chỉnh được cung cấp bên dư ới, yêucầu bị ảnh
hưởng trong ANSI/ESD S29.20 bao gồm từ 'sẽ' hoặc 'bắt buộc". (xem Phần 6.3) phải baogồm yêu cầu trong tiêu
chuẩn bị ảnh hưởng và lý do kỹ thuật cho việc loại trừ hoặc sai lệch so với yêu cầu.
Ví dụ về Tuyên bố điều chỉnh được chấp nhận và cơ sở lý luận Vídụ 1
Tuyên bố
điều chỉnh: Kế hoạch chư ơ ng trình kiểm soát ESD này không bao gồm việc nhân viên tiếp đất.
Yêu cầu ANSI/ESD S29.20 Bị ảnh hưởng: Mục 8.2, câu đầu tiên: "Tất cả nhân viên phải được nối hoặc nối điện
với hệ thống nối đất/liên kết đẳng thế đã chọn khi xử lý các vật phẩm ESDS."
Cơ sở lý luận kỹ thuật để loại trừ: Tổ chức sử dụng quy trình sản xuất hoàn toàn tự động không có sự tư ởng
tác của con ngư ởi hoặc xử lý các mặt hàng ESDS.
Ví dụ 2
Tuyên bố điều chỉnh: Điểm giới hạn trên so với mặt đất cho các bề mặt làm việc được sử dụng trong EPA phòng
sạch nhỏ hơn 1, x 1 9 19 ôm thay vì 1,x199ôm như yêu cầu để xác minh chất lượng sản phẩm và sự tuân thủ.
Yêu cầu ANSI/ESD S29.20 Bị ảnh hưởng: Bảng 3, xác mỉnh chất lượng và tuân thủ của sản phẩm 'điểm tiếp đất' và
'điểm tiếp đất' giới hạn điện trở tối đa là 1,@ x 19 9 ôm như đã thử nghiệm bằng ANSI/ ESD STM4.1 và ESD TR53 „
tương ứng. Ngoài ra, trong Mục 7.3 (kế hoạch kiểm định chất lượng sản phẩm) và 7.4 (kếhoạch xác minh sự
tuân thủ), các giới hạn kiểm tra bắt buộc được cung cấp trong Bảng 2, 3 và 4 phải được đáp ứng.
Cơ sở lý luận kỹ thuật cho sự sa i lệch: Tổ chức có yêu cầu về độ sạch đối với nhiều phòng sạch nơ i các vật
phẩm ESDS được xử lý. Vật liệu bề mặt làm việc đáp ứng các yêu cầu về độ sạch trong các phòng sạch này có giá
Bằ
trị điện trở (điểm t.
Bằ g các h đảm bảo các bề
đất) vượt quá 1,@ x 19 9 ôm nhưng nhỏ hơn 1,9 x1919 ôm.
mặt làm việc và nhân viên này được nối đất đú ng cách , tổ chức tin rằng tất cả cáchạng mục vànhânviên ESDS
đều có cùng điện thế. Quy trình sản xuất trong phòng sạch nơ i sử dụng các bề mặt làm việc này được kiểm soát
và tỷ lệ năng suất cho các sản phẩm cuối cùng được sản xuất đã được chấp nhận kể từ khi lắp đặt ban đầu.
Ví dụ 3
Tuyên bố điều chỉnh: Hệ thống ion hóa trong phòng gắn trần DC dạng xung được sử dụng trong EPA này sẽ có Điện
áp bù (Đỉnh): -259 vôn < Voffset < 250 vôn.
Yêu cầu ANSI/ESD S29.20 Bị ảnh hưởng: Bảng 3, Đánh giá chất lượng sản phẩm và Xác minh tuân thủ Điện áp bù
ion hóa (Cao điểm): - 35 volt < Voffset <35volt
14
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
Cơ sở lý luận kỹ thuật cho độ lệch: Độ nhạy ESD của tấm wafer trong hoạt động sản xuất mặt trước thấp hơn
đáng kể so với sau khi khuôn được tách ra. Hệ thống ion hóa phòng dựa trên trần nhà được sử dụng trong EPA
được đề cập trong Kế hoạch kiểm soát ESD này. Mục đích của hệ thống này chủ yếu là để kiểm soát ô nhiễm. Nó sẽ
được sử dụng để giảm điện tích trên nhi u chất cách đi n thiết yếu của quy trình thưởng có trong bất kỳ cơ sở
chế tạo wafer nào. Hệ thống ion hóa có phạm vi bao phủ rộng (so với điểm sử dụng) là rất quan trọng trong bất
kỳ cơ sở chế tạo tấm wafer nào để giảm điện trường trên nhiều chất cách điệ n thiết yếu của quy trình. Trong
các hoạt động quan trọng có giới hạn, nơi kỹ thuật hoặc người quản lý chương trình ESD cho rằng độ lệch chặt
chẽ hơn, thông số kỹ thuật tối đa của điện áp bù cực đại của bộ ion hóa cực đại là + 35 Vôn.
Ví dụ về các tuyên bố và lý do điều chỉnh không được chấp nhận hoặc không cần thiết Ví dụ 1
Tuyên bố
điều chỉnh: Chỗ ngồi như một mục kiểm soát ESD là không bắt buộc vì tất cả nhân viên phải đeo dây đeo cổ tay
tiếp đất khi ngồi bên trong EPA.
Yêu cầu ANSI/ESD S29.20 Bị ảnh hưởng: Mục 8.2 (nối đất của nhân viên), đoạn thứ hai: "Khi nhân viên ngồi tại
các trạm làm việc bảo vệ ESD, họ phải được kết nối với hệ thống nối đất/liên kết đẳng thế đã chọn thông qua hệ
thống dây đeo cổ tay.
Tại sao Tuyên bố điều chỉnh này là không cần thiết? Tiêu chuẩn không yêu cầu chỗ ngồi bảo vệ ESD. Chỗ ngồi bảo
vệ ESD là một trong nhiều hạng mục kiểm soát ESD 'tùy chọn' dành cho EPA được cung cấp trong Bảng 3 của tiêu
chuẩn. Yêu cầu thực tế là nhân viên ngồi phải được kết nối với dây đeo cổ tay được nối đất và điều này không
phụ thuộc vào việc liệu ghế bảo vệ ESD có được sử dụng hay không.
ví dụ 2
Tuyên bố điều chỉnh: Không được phép sử dụng chất cách điện không cần thiết bên trong EPA của tổ chức ở các
khu vực được chỉ định
Yêu cầu ANSI/ESD S29.20 Bị ảnh hưởng: Mục 8.3.1 (chất cách điện), đoạn đầu tiên, câu thứ hai: "Tất cả các chất
cách điện không cần thiết phải được tách biệt khỏi bất kỳ vật phẩm ESDS nào ít nhất 300 mm".
Tại sao Tuyên bố điều chỉnh này là không cần thiết? Bằng cách không cho phép các chất cách điện không cần thiết
bên trong EPA, đáp ứng yêu cầu ANSI/ESD S29.20 để đảm bảo tất cả các chất cách điện không cần thiết được tách
Ta khỏi các vật phẩm ESDS 399 mm. Kết quả là, không có tuyên bố điều chỉnh được yêu cầu.
Ví dụ 3
Tuyên bố điều chỉnh: Giới hạn điểm dưới so với mặt đất cho các bề mặt làm việc được sử dụng trong EPA lớn hơn
1,8x 19 5ômthay vì Øômnhư yêu cầu
Yêu cầu ANSI/ESD S2Ø.20 Bị ảnh hưởng: Bảng 3, xác minh chất lượng và tuân thủ của sản phẩm 'điểm tiếp đất' và
'điểm tiếp đất' giới hạn điện trở tối thiểu là @ ohm như được thử nghiệm bằng cách sử dụng ANSI/ESD STM4.1 và
ESD TR53, tương ứng. Ngoài ra, trong Mục 7.3 (kế hoạch kiểm định chất lượng sản phẩm) và 7.4 (kế hoạch xác
minh sự tuân thủ), phải đáp ứng các giới hạn kiểm tra bắt buộc được cung cấp trong Bảng 3.
trong giới hạn của ANSI/
Tại sao Tuyên bố điều chỉnh này là không cần thiết? Giới hạn dưới được thiết lập
ESD S29.20. Vì nó nằm trong giới hạn nên không cần phải điều chỉnh. Giới hạn dưới này sẽ là yêu cầu của cơ sở
nà y .
15
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
(Phụ lục này không thuộc Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD ANSL/ESD S20.20-2021)
PHỤ LỤC D (THÔNG TIN) - CÁC TÀI LIỆU LIÊN QUAN Các tài
liệu sau đây được liệt kề để tham khảo thêm. Một số tài liệu có thể bị hủy bỏ
Tuy nhiên, danh sách này cung cấp tài liệu tham khảo được xem xét trong quá trình chuẩn bị tiêu
chuẩn này.
Quân đội / Chính phủ Hoa Kỳ
MIL-STD-3019, Tiêu chuẩn Phương pháp Thử nghiệm
Liên bang MIL-PRF-81705, Vật liệu rào chắn, Linh hoạt, Bảo vệ chống phóng tĩnh điện, Khả năng
hàn nhiệt MIL-PRF-38534, Đặc điểm kỹ thuật hiệu suất: Vi mạch lai, Thông số kỹthuật chung
MIL-PRF- 38535, Đặc điểm kỹ thuật hiệu suấ : Sản xuất mạch tích hợp (vi mạch), Đặcđiểmkỹthuật
chung MIL-STD-883-3
Phư ơ ng pháp 3015, Tiêu chuẩn phư ơngpháp thử nghiệm cho vi mạch MILSTD-759-1 Phương pháp 1920, Phươngpháp thử nghiệm cho thiết bị bán
dẫn MIL-PRF-19599, Thiết bị bán dẫn, Đặc điểm kỹ thuật chung MILSTD-1686, Chư ơ ng trình kiểm soát phóng tĩnh điện để bảo vệ các bộ phận, cụm và thiết bị điệnvà
bị nổ do điện kích hoạt) - Tiêu chuẩn này đã bị hủy bỏ
điện tử (Không bao gồm các th:
MIL-HDBK-263, Cẩm nang kiểm soát phóng tĩnh điện để bảo vệ các bộ phận, cụm và thiết bị điệnvàđiện
tử (Không bao gồm các thiết bị nổ do điện kích hoạt) - Sổ tay này đã bị hủy bỏ.
MIL - M-38510, Đặc điểm kỹ thuật chung cho vi mạch quân sự - Tiêu chuẩn này không hoạt động.
MIL- DTL-82646, Màng nhựa, Dẫn điện, Có thể hàn nhiệt, Linh hoạt MIL-
dấu lô hàng và lưu trữ MIL-STD-1285, Đánh dấu đồ
điện và Các bộ phận điện tử KSC-MMA-1985-79, Phương pháp
thử nghiệm tiêu chuẩn để đánh giá quá trình tạo và phân rã điện áp ma sát MIL-HDBK-103, Danh sách
các
bản vẽ vi mạch tiêu chuẩn Bảng thông tin bổ sung dành
cho QML-19599 điện tử
Tiêu chuẩn ngành ANSI/
IEEE -STD-142, Sách xanh của IEEE (Thực hành được khuyến nghị củaIEEE để nối đất cho các hệ thống
điện công nghiệp và thư ơ ng mại)
ANSI/ ESD SP5.@, Tiêu chuẩn thực hành của hiệp hội ESD để kiểm tra độ nhạy phóng điện tĩnh điện - Báo
cáo các mức chịu đựng ESD trên bảng dữ liệu ANSI/ESDA/JEDEC
JS - 001, Tiêu chuẩn chung ESDA/JEDEC về kiểm tra độ nhạy phóng điện tĩnh điện- Mô hình cơ thể ngư ời
(HBM) - Cấp độ thành phần ANSI/ESDA/JEDEC JS-902, Tiêu
chuẩn chung ESDA/JEDEC về Kiểm tra độ nhạy phóng điện tĩnh điện - Mẫu thiết bị đã sạc (CDM) - Cấp độ
thiết bị ESD SP5.2, Thực hành tiêu chuẩn của Hiệp hội ESD
về Kiểm tra độ nhạy phóng điện tĩnh điện - Kiểu máy (MM ) - Cấp độ thành phần ANSI/ESD SP19.1, Tiêu
chuẩn thực hành của hiệp hội ESD để bảo vệ
các hạng mục dễ bị phóng tĩnh điện - Thiết bị xử lý tự động (AHE)
ANSI/ ESD STM15.1, Phương pháp thử nghiệm tiêu chuẩn của Hiệp hội ESD để bảo vệ các vật phẩm dễ bị
phóng điện tĩnh điện - Phương pháp đo điện trở của găng tay và bao ngón tay
16
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
ANSI/ ESD SP17.1, Thực hành tiêu chuẩn ESD để bảo vệ các hạng mục nhạy cảm với phóng điện tĩnh điện Kỹ thuật đánh giá quy trình , và Thiết bị JESD625, Yêu
cầu đồ: với Xử lý các Thiết bị Nhạy cảm với Phóng điện Tĩnh điện (ESDS) IPC/JEDEC J-STD-033, Xử lý,
Đóng gói, Vận chuyển và Sử dụng Phản xạ Độ ẩm và Xử lý các Thiết bị Nhạy cảm
TR3.0-02-05, Lựa chọn và chấp nhận máy ion hóa không khí
ESDSIL, Trung tâm phân tích độ tin cậy (RAC) Danh sách các mục nhạy
cảm với ESD JESD471, Biểu tượng và nhãn cho các thiết bị nhạy
cảm với tĩnh điện IEC 61340 -5-1, Bảo vệ thiết bị điện tử khỏi hiện tượng tĩnhđiện- Yêu cầu chung
VZAP, Dữ liệu
độ nhạy phóng điện tĩnh điện ISO 9091, Hệ thống
quản lý chất lượng - Yêu cầu
17
Machine Translated by Google
ANS1/ESD S20.20-2021
(Phụ lục này không thuộc Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD ANSL/ESD S20.20-2021)
PHỤ LỤC E (THÔNG TIN) - TUYÊN BỐ HƯỚNG DẪN Những phần này có thể
được đưa vào các phiên bản sau này của ANSI/ESD S29.20. Các phần được đặt ở đây chỉ để cung cấp thông tin và
không cần phải thực hiện.
E.1 Kế hoạch ngưỡng thành phần Điều
quan trọng là phải biết mô hình cơ thể con ngưởi và phân loại mô hình thiết bị được tích điện là gì đối với
bất kỳ mục ESDS nào sẽ được đưa vào quy trình. Một kế hoạch nên được thiết lập để xác định, trước khi sử
dụng lần đầu, ngưng mục ESDS nằm trong phạm vi của tiêu chuẩn này.
Các phưởng pháp thử nghiệm được khuyến nghị để thiết lập các mức HBM và CDM lần lượt là ANSI/ESDA/JEDEC
JS-901 và ANSI/ESDA/JEDEC JS-992. Lý tưởng nhất là các ngưðng HBM và CDM sẽ có sẵn và được báo cáo trong các
biểu dữ liệu thành phần. Ví dụ: ANSI/ESD SP5.0 chứa một mẫu để báo cáo dữ liệu ESD.
LƯU Ý: Những điều sau đây sẽ là bằng chứng khách quan có thể chấp nhận được bằng cách đưacâu hỏi sau vào
thỏa thuận hợp đồng: "Có bất kỳ thành phần nào trong hợp đồng này nằm ngoài phạm vi của ANSI/ESD S29.20 (< 190
volt HBM; < 209 volt CDM) không?". Ngoài ra, một câu hỏi tương tự có thể được đưa vào đánh giá mức độ sẵn
sàng sản xuất, đánh giá thiết kế, đánh giá bảng dữ liệu thành phần hoặc bất kỳ quy trình được lập thành văn bản
nào khác để thu thập thông tin thành phần
E.2 Đánh giá quá trình
Phiên bản hiện tại của tiêu chuẩn không yêu cầu bất kỳ dữ liệu nào để hỗ trợ tuyên bố xử lý các thiết bị có độ
nhạy 190 volt HBM và 209 volt CDM. Trong phiên bản tương lai của tiêu chuẩn này, mục tiêu là yêu cầu dữ liệu
để hỗ trợ các tuyên bố về HBM và CDM. Hiện tại không có tiêu chuẩn hoặc phưởng pháp kiểm tra tiêu chuẩn nào
có thể cung cấp dữ liệu để hỗ trợ cho các tuyên bố. Một nhóm làm việc trong Hiệp hội ESD đang làm việc để cung
cấp các phưởng pháp thử nghiện để "đo" quy trình. Khi các phương pháp kiểm tra này có sẵn, có thể có một
được thêm vào các bản sửa đổi trong tương lai của tiêu chuẩn này để cung cấp dữ liệu liên quan đến
khả năng xử lý của quy trình ESD đã cài đặt
Các phép đo có thể bao gồm, nhưng không giới hạn ở: *
Điện áp trên các thiết bị trong quy trình +
Điện áp trên các bảng mạch in khi di chuyển qua quy trình * Các phép đo dòng xả Để
biết thêm thông tin, vui lòng xem ANSI/ESD
SP17. 1, Thực hành Tiêu chuẩn ESD để bảo vệ các vật phẩm nhạy cảm với phóng tĩnh điện - Kỹ thuật đánh giá quy
t rình.
18
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
(Phụ lục này không thuộc Tiêu chuẩn Hiệp hội ESD ANSL/ESD S20.20-2021)
PHỤ LỤC F (THÔNG TIN) - LỊCH SỬ SỬA ĐỔI CHO ANSI/ESD S20.20 F.1 Phiên bản 2014
Lời nói đầu : Đã thêm độ nhạy cảm của CDM và MM vào lời nóiđầuvà một phần về Chứng nhận Cơ sở
2.0 Phạm vi: Đã thêm 299 vôn CDM và 35 vôn trên các dây dẫn tích điện cách ly mà tiêu chuẩn này áp dụng
6.1 Yêu cầu của Chư ở ng trình Kiểm soát ESD: Câu thứ hai đã được sửa đổi thành "Chư ởngtrình sẽ ghi lại (các) mức độ
nhạy cảm với ESD của thiết bị thấp nhất có thể được xử lý" từ "Mức độ nhạycảmnhấtcủa các mục đượcxử lý, theo Chương
trình, sẽ là được lập thành văn bản."
7.1 Kế hoạch chư ở ng trình kiểm soát ESD: Chất lượng sản phẩm đã được thêm vào như một yếu tố bất buộc
7.3 Đánh giá sản phẩm: Phần đã được thêm vào.
7.4 Kế hoạch xác minh tuân thủ: Được đánh số lại từ 7.3, nội dung vẫn giữ nguyên.
8.2 Tiếp đất cho nhân viên: Ghi chú đã bị xó a và văn bản đư ợc đưa ra thành yêu cầu đối với hàng may mặc
Yêu cầu thư ở ng trực đã được thay đổi; Phư ởng pháp 1 và Phưởngpháp2đãđượcthayđổi thành một phư ởngpháp đủ điều
kiện để đứng
8.3 Khu vực được bảo vệ ESD (EPA): Yêu cầu bổ sung đối với chất cách điện thiết yếu của quy trình đã được thêm vào. Trong
phạm vi 1 inch của các vật phẩm ESDS, giới hạn đối với các trưởng đã giảm xuống còn 125 vôn/inch.
Bảng 3: Vòng đời uốn dây của dây đeo cổ tay đã bị loại bỏ. Điện áp bù ion hóa đã được cập nhật cho cách ệ thống phỏng
Yêu cầu sắt hàn đã được thêm vào.
8.4 Đóng gói: Phần này đã được viết lại nhưng các yêu cầu vẫn giữ nguyên.
Phụ lục A: Bàn là hàn đư ợc đư a vào Bảng 3. Hệ thống băng tải đã được thêm vào phần này.
Phụ lục B: Cập nhật tiêu chuẩn HBM thành ANSI/ESDA/JEDEC JS-Ø01 trong Bảng 4.
F.2 Sửa đổi cho Phiên bản 2014
F.2.1 Ngày 15 tháng 12 năn 2021 Phiên bản
Thay đổi chung để cải thiện độ rõ nét
3.9 Tài liệu tham khảo : Đã thêm tài liệuthamkhảo cho MIL-STD-2073-1
4.0 Định ng hĩa : Địnhnghĩa cho cách ạng mục kiểm soát ESD, chất cách điện, dây dẫn , dâydẫncách ly và hạng mục ESDS không
được bảo vệ đã được thên vào và chỉ áp dụng cho tài liệu này
6.3 Điều chỉnh : Từ ngữ được cập nhật để điều chỉnh cho rõ ràng. Một tham chiếu đến một phụ lục mới với các ví dụ đã được
thên vào.
7.3 Đánh giá sản phẩm: Một số thay đổi đã được thực hiện đối với các yêu cầu. Việc xác định chất lượng cho các mục kiểm
soát ESD vẫn còn tại chỗ có thể được thực hiện ở RH thấp nhất trên trang web. Điều này không áp dụng trên nhiều trangweb.
hoặc tải liệu rời khỏi trang web. Hồ sơ năng lực hiện được yêu cầu bao gồm các báo cáo kỹ thuật hỗ trợ. Đã thêm giải
thích rằng hệ thống sàn/giày dép không thể sử dụng dữ liệu xác minh tuân thủ để đủ điều kiện. Các phép đo điện áp cơ thể
cũng phải được thực hiện.
7.4 Kế hoạch xác minh tuân thủ: Lưu ý thêm rằng hiệu chuẩn không có nghĩa là thiết bị có thể thực hiện các phép đo.
8.1 Hệ thống nối đất/liên kết đẳng thế: Một tuyên bố rằng không cần phải xác minh sự tuân thủ của hệ thốngnối đất. Không
có thay đổi trong các yêu cầu
8.3.1 Chất cách đ iện: Phần này đã được cập nhật với phép đo thực địa về nơ i vật phẩm ESDS được xử lý. Phép đo ban đầu
được giữ lại và có thể được sử dụng.
8.3.2 Dây dẫn cách ly: Việc đư a vôn kế tĩnh điện không tiếp xúc và đồng hồ đo trưởng tĩnhđiện vào cùng với ghi chú về
các vấn đề đo lường
Bảng 3: Đã xóa ANSI/ESD STM4.2 làm tiêu chuẩn cho bề mặt làm việc. Đã thêm các yêu cầu điểm-điểm đối với quần áo kiểm soát
tĩnh có thể nối đất và hệ thống quần áo kiểm soát tĩnhcóthểnốiđất
19
Machine Translated by Google
ANSI/ESD S20.20-2021
8. 4 Đóng gói: Đã thêm Bảng 4 cho các yêu cầu đóng gói, trong đó tóm tắt cácyêucầu ANSI/ESD S541.
8.4.1 Yêu cầu đóng gói của Bộ Quốc phòng Hoa Kỳ ( DoD ): Phần mới đã được thêm vào theo yêu cầu từ DoD để hỗ
trợ việc thu hồi Mi1-STD 1686.
Phụ lục C Cắt may : Phụlục mới đã được thêm vào với các ví dụ về may đo.
Phụ lục E Tuyên bố Định hướng: Phụlục mới thảo luận về các bổ sung có thể có cho ANSI/ESD S20.20. Đây là
nhữ ng tuyên bố tại thời điểm này và có thể hoặc không thể trở thành yêu cầu trong tư ơ ng lai.
F.2.2 Phiên bản ngày 6 tháng 1 năm 2922 (Thay đổi biên tập)
8.2 Tiếp đất nhân sự: Thay đổi ở đoạn cuối. Các yêu cầu đối với hệ thống may mặc kiểm soát tĩnh đã được làm
Tõ như ng không thay đổi.
Bảng 2: Đã chuyển yêu cầu hệ thống quần áo kiểm soát tĩnh có thể nối đất từ Bảng 3 sang Bảng2 và giới hạn
yêu cầu về chất lượng sản phẩm đã được thay đổi thành giá trị điện trở của hệ thống.
Bảng 2: Đã cập nhật giá trị giới hạn bắt buộc để bao gồm "Điện trở hệ thống” để đảm bảo rằng phép đo được
thực hiện với một ngư ời.
20