CỘNG HÒA XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM Độc lập – Tự do – Hạnh phúc ------------------ BẢN NHẬN XÉT LUẬN ÁN TIẾN SĨ (Dành cho 2 ỦY VIÊN PHẢN BIỆN Hội đồng đánh giá luận án Tiến sĩ cấp cơ sở) Đề tài: Nghiên cứu cải thiện đặc tính cảm biến đo khí hoạt động trên cơ sở thay đổi sóng âm bề mặt Ngành: Kỹ thuật Điều khiển và Tự động hóa Mã số: 9520216 Nghiên cứu sinh: Nguyễn Hải Hà Người nhận xét luận án: TS. Nguyễn Thanh Hường Cơ quan công tác: Trường Điện – Điện tử, Đại học Bách Khoa Hà Nội Nhận xét bao gồm các nội dung sau đây: 1. Ý nghĩa khoa học và thực tiễn của đề tài luận án: Cảm biến sóng âm bề mặt là một thế hệ cảm biến có khả năng đo các thông số môi trường (khí, nhiệt độ, độ ẩm...) ở điều kiện môi trường, có khả năng đáp ứng nhanh và có khả năng phát và thu tín hiệu từ xa. Chính vì thế, nó có thể hoạt động trong những điều kiện khắc nghiệt, có khả năng linh động khi lắp đặt, do đó nó có tính ứng dụng cao nếu như có thể hoàn thiện được quy trình chế tạo và đóng gói. Trong luận án này, NCS đã đưa cảm biến sóng âm bề mặt vào ứng dụng xây dựng cảm biển đo khí Hiđrô trên nền vật liệu graphene để phân tán các hạt Pd nhằm hấp thụ khí Hiđrô. Luận án đã lựa chọn hướng tiếp cận mô phỏng dùng phương pháp FEM để tìm bộ thông số thiết kế theo yêu cầu rồi mới hoàn thiện quy trình sản xuất cảm biến khí dựa trên bộ thông số thiết kế. Phương pháp này cho thấy ý nghĩa khoa học của đề tài luận án. 2. Sự hợp lý và độ tin cậy của phương pháp nghiên cứu Luận án có tổng kết các công trình nghiên cứu liên quan trực tiếp, từ đó tiếp thu và cải thiện một số đặc tính cho cảm biến đo khí Hiđrô. Để có thể sử dụng phương pháp sóng âm bề mặt, luận án áp dụng phương pháp mô phỏng phần tử hữu hạn FEM, một phương pháp thông dụng khi nghiên cứu cảm biến sóng âm bề mặt. Ngoài ra, luận án sau khi mô phỏng tìm ra bộ tham số phù hợp cũng đã tiến hành chế tạo và đo đạc thử nghiệm để chứng minh tính đúng đắn của phương pháp. Qua đó cho thấy phương pháp đặt vấn đề và giải quyết đạt độ tin cậy và hợp lý. 3. 3. Sự hợpgiá lýcác và độ phương pháp nghiên cứu:.... Đánh kếttin quảcậy đạtcủa được, nêu những đóng góp mới và giá trị của các đóng góp đó: Thông qua nội dung của luận án, các kết quả đã thể hiện một số đóng góp như sau: - Về mặt khoa học + Đã đề xuất được quy trình chế tạo cho một cảm biến SAW đo khí H2 dạng 2 cổng. Kết quả chế tạo cho ra cảm biến SAW đo khí hoạt động được ở nhiệt độ phòng, khoảng nồng độ 0,25% đến 1,0%; + Đã đề xuất hệ số quy đổi một số tham số của vật liệu nhạy như khối lượng riêng và độ dày lớp nhạy để mô phỏng biến SAW đo khí H2 với hạt nhạy Pd kích cỡ nano phân tán trên bề mặt sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn. - Về mặt thực tiễn + Đề ra được một quy trình chế tạo cảm biến SAW đo khí từ bước thiết kế, tính toán mô phỏng và chế tạo. + Đã kiểm nghiệm đặc tính của cảm biến SAW bằng cách đo một số thông số như phân tích XRD, phân tích đặc tính tinh thể thông qua chụp SEM, TEM và cấu hình tán xạ ngược bằng máy quang phổ Raman cũng như khảo sát một số đáp ứng của cảm biến SAW như tần số, độ nhạy, thời gian đáp ứng và khảo sát ảnh hưởng của điều kiện môi trường (nhiệt độ, độ ẩm) của cảm biến SAW cho ứng dụng đo khí H2. 4. Những ưu điểm và thiếu sót, những điểm cần được bổ sung và sửa chữa: Luận án đã đạt được một số ưu điểm: - Bố cục hợp lý, thể hiện được một số đóng góp mới của luận án như quy trình chế tạo và hệ số chuyển đổi vật liệu – cảm biến - Phần tổng quan đã đưa ra được so sánh về vật liệu ứng dụng cùng công nghệ cảm biến SAW để ứng dụng đo khí H2. Phần này cũng phân tích khá chặt chẽ các ưu điểm và nhược điểm của các vật liệu sử dụng trong các công trình khác. - Luận án thể hiện được khá trọn vẹn một nghiên cứu về một phương pháp đo và chế tạo của cảm biến với ứng dụng rõ ràng và đặc thù là đo khí H2. - Các sản phẩm của luận án cũng đã được công nhận thông qua công bố luận án là 02 bài báo Scopus, trong đó có 01 bài ISI Q2, qua đó thể hiện tính đúng đắn và thuyết phục của đóng góp khoa học của luận án. - Phần kết quả của một số đánh giá trong chương 3 được phân tích kỹ. Bảng 3.1 đưa ra được so sánh với nhiều công trình liên quan. Tuy nhiên, luận án còn tồn tại một số nhược điểm: - Phần mục tiêu của luận án chưa rõ ràng, không thể chỉ là ”Nghiên cứu cơ chế hoạt động của cảm biến” hay ”thiết kế và chế tạo cảm biến”, cần làm rõ mục tiêu giống như trong tên đề tài luận án là ”cải thiện đặc tính cảm biến”. Thông thường một luận án cần đưa ra một giải pháp để giải quyết một vấn đề hoặc một thách thức nào đó, vậy thách thức của luận án là gì,tại sao phải dùng nguyên lý SAW để giải quyết bài toán cảm biến. 5. - Kết luận các chương nên trình bày thành đoạn văn, tức là mục tiêu của chương là gì và đã giải quyết để đạt mục tiêu đó như thế nào, kết quả ra sao hoặc có thể chỉ cần chỉ ra đóng góp khoa học của chương chứ không cần thống kê là làm được những gì. - Việc kết nối giữa các chương chưa thể hiện được rõ ràng, do đó chưa thấy được tính liền mạch giữa các chương. - Ở chương 2, cần dẫn dắt các đầu mục trong chương 2 để thấy tại sao lại dùng cấu trúc delay line hay tại sao lại dùng dạng 2 cổng. Ngoài ra, mục tiêu thông số cần đạt là gì cho bài toán thiết kế để các bước mô phỏng có ý nghĩa và thuyết phục hơn. - Hình 2.18, 2.22 chưa thấy rõ được phân tích kết quả mô phỏng. Cần phân tích rõ 02 hình này để thấy được ý nghĩa của việc mô phỏng FEM đã đạt được. - Qua khảo sát về ảnh hưởng của nhiệt độ và độ ẩm đến hoạt động của cảm biến, cần đưa ra phân tích và kết luận theo hướng như tựa đề luận án là ”cải thiện đặc tính cảm biến”. Các kết luận của luận án có phù hợp với cách đặt vấn đề ở đầu luận án và có đủ sức thuyết phục hay không? Các kết luận của luận án phù hợp với phần đặt vấn đề ở đầu luận án và có tính thuyết phục. Điều này thể hiện ở các công trình 6. Đánh giá về sự trùng lặp của luận án so với các đồ án, luận văn, luận án hay công trình khoa học đã công bố trong và ngoài nước? Cần khẳng định luận án có trùng lặp hay không trùng lặp? Nếu trùng lặp, đề nghị ghi rõ tên, nhà xuất bản, năm xuất bản của tài liệu đã công bố:... Luận án này không trùng lặp với các luận án, luận văn và các công trình đã công bố trong và ngoài nước. 7. Nhận xét về chất lượng những bài báo khoa học đã được nghiên cứu sinh công bố, khẳng định sự phù hợp về nội dung của chúng với nội dung luận án. Nhận xét về vị thế khoa học của các diễn đàn, nơi các bài báo được công bố có đáp ứng yêu cầu đối với luận án tiến sĩ: Luận án đã công bố được 4 công trình, trong đó có 02 bài báo trong danh mục Scopus (trong đó có 01 bài ISI Q2), 01 bài báo tạp chí trong nước và 01 báo cáo tại hội nghị quốc tế. Các bài báo đều được đăng ở các tạp chí uy tín và nội dung bài báo trực tiếp liên quan đến nội dung luận án nên các công trình này đáp ứng đầy đủ yêu cầu đối với các công bố của một luận án tiến sỹ. 8. Tính trung thực trong việc trích dẫn các công trình đã được nghiên cứu sinh công bố trong và ngoài nước, trích dẫn tài liệu tham khảo: Danh mục tài liệu tham khảo gồm 108 trích dẫn với 03 trích dẫn năm 2022, 02 trích dẫn năm 2021, 03 trích dẫn năm 2020 cho thấy NCS cũng đã tham khảo các nguồn tài liệu mới. Danh mục hầu như là các bài báo tiếng Anh từ các hội nghị và các tạp chí uy tín. Các trích dẫn đều được sử dụng đúng mục đích và thể hiện tính trung thực. 9. Kết luận: a . Cần khẳng định luận án có đáp ứng đầy đủ yêu cầu về nội dung và hình thức đối với một luận án Tiến sĩ để được bảo vệ tại Hội đồng cấp Cơ sở hay không? Luận án đáp ứng đầy đủ các yêu cầu về nội dung và hình thức đối với một luận án Tiến sĩ để được bảo vệ tại Hội đồng cấp Cơ sở. b. Có đồng ý cho NCS được bảo vệ tại hội đồng cấp Cơ sở hay không? Đồng ý cho NCS được bảo vệ tại hội đồng cấp Cơ sở c. Có đồng ý cho NCS TRÌNH luận án ra bảo vệ tại hội đồng cấp Đại học Bách khoa Hà Nội hay không? Luận án có phải sửa chữa không? Đồng ý cho NCS TRÌNH luận án ra bảo vệ tại hội đồng cấp Đại học Bách khoa Hà Nội. Luận án cần sửa chữa theo góp ý của nghị quyết của Hội đồng cấp Cơ sở. Xác nhận của cơ quan người nhận xét Ký, ghi rõ họ tên, đóng dấu cơ quan Hà Nội, ngày 27 tháng 05 năm 2023 Người nhận xét Ghi chú : Bản nhận xét luận án viết theo đúng mẫu, in 1 mặt, có xác nhận của cơ quan người nhận xét (đối với người nhận xét là cán bộ ngoài trường ĐHBK HN) và gửi 1 bản về Phòng 202 - C1, ĐHBK HN TS. Nguyễn Thanh Hường