半導體設備與材料安全標準 SEMI 內容 • • • • • • • SEMI S1：視覺危害警告安全指引 SEMI S2：半導體製造設備安全指引 化學加熱槽安全指引 SEMI S3：化學加熱槽安全指引 SEMI S4：氣瓶櫃內氣體鋼瓶之隔離 SEMI S5：流量限制裝置安全指引 SEMI S6：通風安全指引 SEMI S7：半導體製造設備環境、安全與衛生 評估安全指引 • SEMI S8：半導體製造設備人體工學／ S8 半導體製造設備人體 學／ 人因工程安全指引 • SEMI S9：半導體製造設備電機測試方 法 • SEMI S10：風險評估安全指引 • SEMI S11：半導體製造設備微環境安全 衛生指引